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热激励谐振式硅微结构压力传感器被引量：8: 1; 作者樊尚春《科学技术与工程》 2004年第5期426-429,共4页; 针对一种以矩形硅膜片为一次敏感元件、硅梁谐振子为二次敏感元件采用电阻热激励、压敏电阻拾振的谐振式压力微传感器 ,简述了其工作机理 ;从谐振式硅微传感器整体优化设计、闭环系统优化设计、微弱信号检测、敏感元件工艺实践。; 关键词热激励谐振式硅微结构压力传感器谐振式传感器优化设计闭环系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪被引量：1: 2; 作者李庆丰邢维巍樊尚春《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期244-245,251,共3页; 提出了一种谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪器,用于微机械谐振式传感器各关键环节的测试、分析与评估。主要解决测试对象特性模型、微弱信号处理、测试数据分析评估等问题,并将有关理论和技术集成为一台模块化的、具一定开放性的测... 展开更多; 关键词谐振式硅微结构传感器测试仪器智能仪器微弱信号处理; 在线阅读下载PDF 职称材料

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