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谐振式低速气体流速微传感器的理论建模: 1; 作者陈健陈德勇王军波《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期804-806,共3页; 首次提出一种基于昆虫风速感受器的微型谐振式传感器,用以测量低速气体流动。基于有限元分析提出气体雷诺数与其绕流无限长平板时的粘滞系数的数值关系,给出无限长平板的尺寸对于上述关系的影响。基于上述关系,推导这种微传感器在测量... 展开更多; 关键词微机械电子系统谐振式气体流量传感器粘滞系数有限元模拟; 在线阅读下载PDF 职称材料

p+Si/Au热电堆式气体流量传感器一维模型及其应用被引量：3: 2; 作者王珊珊王家畴李昕欣《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第2期161-166,共6页; 为了优化热电堆式气体流量传感器的结构参数使其灵敏度达到最佳,建立了一个一维数学模型,此模型能够快速反映当器件关键尺寸变化时传感器输出电压的变化,有限元仿真软件结果证实了此一维模型的有效性。并利用此模型对一系列器件关键参... 展开更多; 关键词热电堆式气体流量传感器 1-D数学模型单面硅微机械加工 p+Si/Au 热电堆; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种基于MEMS技术的新型谐振式微流量传感器被引量：1: 3; 作者郭然陈德勇王军波《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第12期1-3,9,共4页; 提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平板(2000μm×5000μm)以及连接平板和框架的2根40μm厚的支撑梁组成。谐振器采用低应力富硅氮化硅Si... 展开更多; 关键词谐振式微流量传感器电磁激励低应力富硅氮化硅SiN 有限元耦合场仿真微机电系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

压力位差式气体层流流量传感器开发被引量：4: 4; 作者董双双黄浩钦 +3 位作者彭衡芾张东飞陈曹浪张洪军《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2021年第10期130-136,共7页; 基于压力位差式气体层流流量技术,进行了新型层流流量传感器的设计和测试工作。传感器由本体和集成盖板两部分组成,壳体采用一体化加工,毛细管组固定于壳体的两个流道中,取压盖板使用内部嵌入式管路联通的方式代替外部取压管,毛细管组... 展开更多; 关键词气体流量测量小流量层流流量传感器压力位差式模块化; 在线阅读下载PDF 职称材料

椭球谐振腔式MPCVD装置高功率下大面积金刚石膜的沉积被引量：6: 5; 作者于盛旺范朋伟 +2 位作者李义锋刘艳青唐伟忠《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期1145-1149,共5页; 使用自行研制的椭球谐振腔式MPCVD装置,以H2-CH4为气源,在输入功率为9 kW,沉积压力为1.7×104 Pa和不同的气体流量条件下制备了金刚石膜。利用扫描电镜、激光拉曼谱对金刚石膜的表面和断口形貌、金刚石膜的品质等进行了表征。实验... 展开更多; 关键词椭球谐振腔式MPCVD装置金刚石膜高功率气体流量生长速率; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名谐振式低速气体流速微传感器的理论建模: 1; 作者陈健陈德勇王军波; 机构中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期804-806,共3页; 基金国家自然科学基金(60674112)资助项目; 文摘首次提出一种基于昆虫风速感受器的微型谐振式传感器,用以测量低速气体流动。基于有限元分析提出气体雷诺数与其绕流无限长平板时的粘滞系数的数值关系,给出无限长平板的尺寸对于上述关系的影响。基于上述关系,推导这种微传感器在测量低雷诺数气体流动时的理论模型,得到气体流速与谐振子固有频率偏移的关系。使用有限元分析来评估这种设计,其结果表明,当气体的雷诺数低于1时,这种传感器的输入与输出成线性关系,其灵敏度达到1．6 Hz/(cm·s^(-1))。; 关键词微机械电子系统谐振式气体流量传感器粘滞系数有限元模拟; Keywords MEMS resonant gas flow sensor drag coefficient FEA simulation; 分类号 TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名p+Si/Au热电堆式气体流量传感器一维模型及其应用被引量：3: 2; 作者王珊珊王家畴李昕欣; 机构中国科学院上海微系统与信息技术研究所中国科学院大学; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第2期161-166,共6页; 基金国家自然科学基金项目(61674160,61834007)。; 文摘为了优化热电堆式气体流量传感器的结构参数使其灵敏度达到最佳,建立了一个一维数学模型,此模型能够快速反映当器件关键尺寸变化时传感器输出电压的变化,有限元仿真软件结果证实了此一维模型的有效性。并利用此模型对一系列器件关键参数进行仿真分析,结合工艺参数得到了一个最优化的器件尺寸。根据这一尺寸制造了一个p+Si/Au热电堆式气体流量传感器以进一步验证一维模型。测试得到的传感器归一化灵敏度为481 [mV/(m/s)]/W。此参数比之前的工作高出数倍。此外,测试所得的输出电压曲线与一维模型仿真的曲线一致性也较好,进一步证明了这一一维模型的正确性。; 关键词热电堆式气体流量传感器 1-D数学模型单面硅微机械加工 p+Si/Au 热电堆; Keywords thermopile-based gas flow sensor 1-D model single-side silicon bulk-micromachining p+Si/Au thermopile; 分类号 TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种基于MEMS技术的新型谐振式微流量传感器被引量：1: 3; 作者郭然陈德勇王军波; 机构传感器国家重点实验室; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第12期1-3,9,共4页; 基金国家自然科学基金项目(60674112); 文摘提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平板(2000μm×5000μm)以及连接平板和框架的2根40μm厚的支撑梁组成。谐振器采用低应力富硅氮化硅SiN制作,可以方便地使用湿法腐蚀释放谐振器,从而简化工艺流程,提高成品率。文中分析了理论模型、有限元仿真(FEA)、工艺制造和测试结果。测试结果显示,传感器在1 SLM(标准L/min)流量下,频率漂移为500 Hz,分辨率达到5/1000。但在输出(谐振器频率漂移)和输入(气体流量)间存在二次曲线关系。; 关键词谐振式微流量传感器电磁激励低应力富硅氮化硅SiN 有限元耦合场仿真微机电系统; Keywords resonant micro flow sensor electromagnetic excitation fluid-structure couple-field FEA MEMS; 分类号 TH814 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名压力位差式气体层流流量传感器开发被引量：4: 4; 作者董双双黄浩钦彭衡芾张东飞陈曹浪张洪军; 机构中国计量大学计量测试工程学院苏州市计量测试院; 出处《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2021年第10期130-136,共7页; 基金国家自然科学基金青年项目(12002335) 浙江省自然科学基金探索项目(LQ20E060006) 浙江省教育厅科研项目(Y202045292)资助。; 文摘基于压力位差式气体层流流量技术,进行了新型层流流量传感器的设计和测试工作。传感器由本体和集成盖板两部分组成,壳体采用一体化加工,毛细管组固定于壳体的两个流道中,取压盖板使用内部嵌入式管路联通的方式代替外部取压管,毛细管组、滤网、管路连接件等均采用模块化设计,差压、绝压和温度传感器集成在取压盖板上。分析了传感器工作原理,给出了修正公式,基于活塞式气体流量标准装置进行了空气和氮气两种介质的实验测试,最大流量约为50 L/min。测试结果显示,两种气体的流量测量误差均小于±0.8%,量程比达到250倍。预计这种传感器可以在微小气体流量准确测量领域获得应用。; 关键词气体流量测量小流量层流流量传感器压力位差式模块化; Keywords gas flow measurement small flow laminar flow transducer pressure potential difference type modularity; 分类号 TB937 [机械工程—测试计量技术及仪器] TN06 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名椭球谐振腔式MPCVD装置高功率下大面积金刚石膜的沉积被引量：6: 5; 作者于盛旺范朋伟李义锋刘艳青唐伟忠; 机构北京科技大学材料科学与工程学院; 出处《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期1145-1149,共5页; 基金国家自然科学基金(10675017); 文摘使用自行研制的椭球谐振腔式MPCVD装置,以H2-CH4为气源,在输入功率为9 kW,沉积压力为1.7×104 Pa和不同的气体流量条件下制备了金刚石膜。利用扫描电镜、激光拉曼谱对金刚石膜的表面和断口形貌、金刚石膜的品质等进行了表征。实验结果表明,利用椭球谐振腔式MPCVD装置能够在较高的功率下进行大面积金刚石膜的沉积;在高功率条件下,较高质量的金刚石膜的沉积速率可以达到4～5μm.h-1的水平,而气体的流量则会显著影响金刚石膜的品质及其沉积速率。; 关键词椭球谐振腔式MPCVD装置金刚石膜高功率气体流量生长速率; Keywords ellipsoidal MPCVD reactor diamond films high power gas flow rate growth rate; 分类号 O484 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	谐振式低速气体流速微传感器的理论建模	陈健陈德勇王军波	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2007	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	p+Si/Au热电堆式气体流量传感器一维模型及其应用	王珊珊王家畴李昕欣	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2020	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	一种基于MEMS技术的新型谐振式微流量传感器	郭然陈德勇王军波	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2009	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	压力位差式气体层流流量传感器开发	董双双黄浩钦彭衡芾张东飞陈曹浪张洪军	《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心	2021	4	在线阅读下载PDF 职称材料
5	椭球谐振腔式MPCVD装置高功率下大面积金刚石膜的沉积	于盛旺范朋伟李义锋刘艳青唐伟忠	《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2011	6	在线阅读下载PDF 职称材料