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微悬臂谐振传感器闭环接口和嵌入式频率电路被引量：5: 1; 作者甘小华刘民 +2 位作者于海涛许鹏程李昕欣《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第6期350-356,共7页; 设计了谐振式微悬臂梁传感器闭环接口和嵌入式频率读出电路。首先,谐振式微悬臂梁传感器和接口电路组成闭环自激振荡系统。为了提高该闭环系统的频率稳定性和频率跟踪性能,引入具有无相差频率跟踪的锁相环电路,并设计放大移相电路以满... 展开更多; 关键词谐振式微悬臂梁传感器接口电路锁相环嵌入式频率电路频率跟踪; 在线阅读下载PDF 职称材料

谐振微悬臂梁传感器的工作原理及其在生化检测中的研究进展: 2; 作者田宽闫堉琦 +3 位作者孙雨安廉中义陈滢许鹏程《电子技术应用》 2023年第3期11-20,共10页; 谐振微悬臂梁是一种可以将质量变化转换为频率信号的微质量型传感器,因其分辨率高、灵敏度高、成本低、易于集成和小型化等优点而备受关注。谐振微悬臂梁现已被广泛应用于流量控制、生物医学痕量检测、气态和液态分子分析等领域。近年来... 展开更多; 关键词谐振式传感器微悬臂梁微机电系统谐振频率环境监测生物医学; 在线阅读下载PDF 职称材料

微悬臂梁传感器用于测量酵母菌弹性模量被引量：4: 3; 作者徐文奎黄海波李相鹏《微纳电子技术》北大核心 2016年第1期25-30,59,共7页; 在微尺度方面,力反馈能实现有效和可靠的操作,陈述了基于压阻式微悬臂梁传感器在微操作方面对酵母菌弹性模量的定量测量。采用惠斯通电桥采集微悬臂梁传感器信号,通过信号调理电路模块可以实现高分辨率的微力测量。在传感器力标定上,依... 展开更多; 关键词压阻式微悬臂梁传感器力反馈弹性模量酵母菌纳牛分辨率; 在线阅读下载PDF 职称材料

热激励微悬臂梁谐振器品质因数研究被引量：6: 4; 作者韩建强朱长纯 +1 位作者刘君华张鲲《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期377-380,共4页; 基于对影响微悬臂梁谐振器品质因数的内摩擦、支座损耗、氧化层（或镀层）损耗和分子阻尼、空气阻尼和压膜阻尼等阻尼机制的理论分析，计算出不计成型槽阻尼时微梁在高真空、分子阻尼或粘性空气中谐振的品质因数，提出较小的成型槽宽度... 展开更多; 关键词热激励微悬臂梁谐振器品质因素传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

电热激励微悬臂梁谐振器输出电压影响因素研究被引量：2: 5; 作者韩建强朱长纯 +1 位作者刘君华魏培永《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期504-507,519,共5页; 制作了电热激励硅 /二氧化硅双层微悬臂梁谐振器。对影响谐振器输出电压的因素研究结果表明 :减小梁宽度、硅层厚度、环境气压和温度 ,可增大微悬臂梁谐振器输出电压 ;输出电压随激励功率增加而增大 ;谐振器输出电压与谐振器根部压敏电... 展开更多; 关键词电热激励微悬臂梁谐振器输出电压压敏电桥硅微机械谐振式传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

光纤光栅谐振传感器的理论与实验分析被引量：2: 6; 作者张伟刚开桂云 +3 位作者盛秋琴冯德军刘志国董孝义《广西工学院学报》 CAS 2000年第4期21-25,共5页; 利用微悬臂梁对光纤 Bragg光栅的振动传感特性进行了实验研究 ,其频率传感范围达到 2 .5 KHz,并给出了实验拟合曲线。研究表明 :光纤 Bragg光栅反射波长漂移的扫描平均值Δλ对微悬臂梁的谐振频率; 关键词光纤光栅振动传感微悬臂梁谐振传感器实验; 在线阅读下载PDF 职称材料

谐振式力传感器敏感结构的研究被引量：1: 7; 作者路峻岭田文杰 +3 位作者王长江张伟夏颂张福学《压电与声光》 CSCD 北大核心 2002年第2期149-151,159,共4页; 利用材料力学及弹性力学法 ,对石英晶体谐振式力传感器的悬臂梁结构进行了研究 ,得出了双梁单岛及三梁单岛悬臂梁结构的力转移系数 ,在与实验结果进行了比较后证明。; 关键词谐振式力传感器敏感结构石英谐振器悬臂梁结构力转移系数; 在线阅读下载PDF 职称材料

谐振式微型光学陀螺锁频精度分析被引量：8: 8; 作者鲍慧强毛慧 +1 位作者马慧莲金仲和《浙江大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期94-98,135,共6页; 在谐振式微型光学陀螺(R-MOG)系统中,为了减小由I控制器取代一阶惯性反馈环节,建立反馈控制模型,对比分析PI控制器和一阶惯性反馈环节2种反馈方式对锁于光学器件受温度、应力等外界环境因素影响产生的各种噪声,提高环路锁频精度,在反馈... 展开更多; 关键词光学传感器谐振式微型光学陀螺锁频技术 PI控制器互易性噪声; 在线阅读下载PDF 职称材料

原位AFM自感应PRC力传感器读数漂移的有源漂移抑制法: 9; 作者唐飞扬谷森 +3 位作者陈俊胡志平孟庆林汝长海《半导体技术》 CAS 北大核心 2020年第3期229-235,共7页; 为解决面向扫描电子显微镜(SEM)的原位原子力显微镜(AFM)工作时SEM的聚焦电子束引起原位AFM自感应压阻式微悬臂梁(PRC)力传感器读数持续漂移的难题,首先建立原位AFM自感应PRC力传感器的p沟道结型场效应晶体管(JFET)读数漂移模型,分析SE... 展开更多; 关键词有源漂移抑制法原位原子力显微镜(AFM) 扫描电子显微镜(SEM) 自感应压阻式微悬臂梁(PRC)力传感器聚焦电子束 p沟道结型场效应晶体管(JFET)模型; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微悬臂谐振传感器闭环接口和嵌入式频率电路被引量：5: 1; 作者甘小华刘民于海涛许鹏程李昕欣; 机构中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室; 出处《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第6期350-356,共7页; 基金国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2006AA04Z365) 国家重点基础研究发展规划(973计划)资助项目(2006CB300405) 中国科学院知识创新工程重要方向项目(KGCX2-YW-111-1); 文摘设计了谐振式微悬臂梁传感器闭环接口和嵌入式频率读出电路。首先,谐振式微悬臂梁传感器和接口电路组成闭环自激振荡系统。为了提高该闭环系统的频率稳定性和频率跟踪性能,引入具有无相差频率跟踪的锁相环电路,并设计放大移相电路以满足闭环自激振荡条件。该闭环系统的频率稳定性可达±0.1Hz,并且能够实时跟踪悬臂梁谐振频率的变化。此外,单独设计了嵌入式的频率读出电路,用于检测并显示悬臂梁的谐振频率。将悬臂梁传感器、接口电路和频率读出电路集成在一起,做出了小巧便携式样机,用该样机可成功探测到体积分数低至约几个10-9量级的DMMP气体。; 关键词谐振式微悬臂梁传感器接口电路锁相环嵌入式频率电路频率跟踪; Keywords resonant micro-cantilever sensor interface circuit phase-locked loop(PLL) embedded frequency circuit frequency tracking; 分类号 TP216 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN74 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名谐振微悬臂梁传感器的工作原理及其在生化检测中的研究进展: 2; 作者田宽闫堉琦孙雨安廉中义陈滢许鹏程; 机构郑州轻工业大学材料与化学工程学院中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室; 出处《电子技术应用》 2023年第3期11-20,共10页; 基金国家重点研发计划(2020YFB2008603) 国家自然科学基金(61974155)。; 文摘谐振微悬臂梁是一种可以将质量变化转换为频率信号的微质量型传感器,因其分辨率高、灵敏度高、成本低、易于集成和小型化等优点而备受关注。谐振微悬臂梁现已被广泛应用于流量控制、生物医学痕量检测、气态和液态分子分析等领域。近年来,随着微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)技术的快速发展,针对谐振式微悬臂梁传感器的研究与应用越来越多,对近年来谐振式微悬臂梁传感器在环境检测、生物医学等领域的具体应用进行了综述,并对未来的发展方向做出了展望。; 关键词谐振式传感器微悬臂梁微机电系统谐振频率环境监测生物医学; Keywords resonant sensor micro-cantilever MEMS resonant frequency environmental monitoring biomedical science; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微悬臂梁传感器用于测量酵母菌弹性模量被引量：4: 3; 作者徐文奎黄海波李相鹏; 机构苏州大学机电工程学院机器人与微系统研究中心苏州大学机电工程学院苏州纳米科学技术协同创新中心; 出处《微纳电子技术》北大核心 2016年第1期25-30,59,共7页; 基金国家自然科学基金青年基金资助项目(61203208) 国家自然科学基金资助项目(61327802); 文摘在微尺度方面,力反馈能实现有效和可靠的操作,陈述了基于压阻式微悬臂梁传感器在微操作方面对酵母菌弹性模量的定量测量。采用惠斯通电桥采集微悬臂梁传感器信号,通过信号调理电路模块可以实现高分辨率的微力测量。在传感器力标定上,依靠激光多普勒干涉仪准确得出传感器探针变形量,校准探针能给出微悬臂梁作用力的大小,两者呈现较好的线性关系,分辨率达到纳牛级。基于此测力装置,实现了对酵母菌弹性模量的测量,测得酵母菌弹性模量为(2.9±2.2)MPa,表明该压阻式悬臂梁传感器能对微米级尺度的细胞进行力学测量。该传感器具有良好的稳定性、准确性、高精度和低成本等优点。; 关键词压阻式微悬臂梁传感器力反馈弹性模量酵母菌纳牛分辨率; Keywords piezoresistive micro-cantilever sensor force feedback Young＇s Modulus yeast cell nanonewton resolution; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TH703 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名热激励微悬臂梁谐振器品质因数研究被引量：6: 4; 作者韩建强朱长纯刘君华张鲲; 机构西安交通大学电子与信息工程学院; 出处《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期377-380,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(60003616 50077016) +1 种基金教育部开放基金; 文摘基于对影响微悬臂梁谐振器品质因数的内摩擦、支座损耗、氧化层（或镀层）损耗和分子阻尼、空气阻尼和压膜阻尼等阻尼机制的理论分析，计算出不计成型槽阻尼时微梁在高真空、分子阻尼或粘性空气中谐振的品质因数，提出较小的成型槽宽度可降低在粘性空气中谐振的微悬臂梁谐振器的品质因数．制作了成型槽宽度不等的电热激励-压敏电阻检测硅-二氧化硅双层结构微悬臂梁谐振器，测试了其在粘性空气中的品质因数．实验数据表明：对成型槽宽度大于梁宽度的微悬臂梁谐振器，测量值与计算值符合较好，反之具有较大误差．; 关键词热激励微悬臂梁谐振器品质因素传感器; Keywords micromechanical cantilever resonator quality factor thermal excitation; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电热激励微悬臂梁谐振器输出电压影响因素研究被引量：2: 5; 作者韩建强朱长纯刘君华魏培永; 机构西安交通大学电信学院; 出处《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期504-507,519,共5页; 基金国家自然科学基金 (60 0 3 60 16 50 0 770 16) 教育部开放基金 (CETD0 0 -10 )资助; 文摘制作了电热激励硅 /二氧化硅双层微悬臂梁谐振器。对影响谐振器输出电压的因素研究结果表明 :减小梁宽度、硅层厚度、环境气压和温度 ,可增大微悬臂梁谐振器输出电压 ;输出电压随激励功率增加而增大 ;谐振器输出电压与谐振器根部压敏电桥电源电压成正比。; 关键词电热激励微悬臂梁谐振器输出电压压敏电桥硅微机械谐振式传感器; Keywords electrothermal excitati on micromechanical cantilever resonato r; 分类号 TN751.2 [电子电信—电路与系统] TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名光纤光栅谐振传感器的理论与实验分析被引量：2: 6; 作者张伟刚开桂云盛秋琴冯德军刘志国董孝义; 机构南开大学现代光学研究所广西工学院南开大学物理学院; 出处《广西工学院学报》 CAS 2000年第4期21-25,共5页; 基金国家自然科学基金重点项目(69637050) 教育部光电信息技术科学研究实验室资助项目天津市自然科学基金资助项目; 文摘利用微悬臂梁对光纤 Bragg光栅的振动传感特性进行了实验研究 ,其频率传感范围达到 2 .5 KHz,并给出了实验拟合曲线。研究表明 :光纤 Bragg光栅反射波长漂移的扫描平均值Δλ对微悬臂梁的谐振频率; 关键词光纤光栅振动传感微悬臂梁谐振传感器实验; Keywords fiber grating vibration sensing micro cantilever beam; 分类号 TP212.14 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN253 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名谐振式力传感器敏感结构的研究被引量：1: 7; 作者路峻岭田文杰王长江张伟夏颂张福学; 机构清华大学物理系北京信息工程学院传感技术研究中心; 出处《压电与声光》 CSCD 北大核心 2002年第2期149-151,159,共4页; 基金国防科技预研基金项目 (0 0 J9.1.9.DZ0 3 0 1); 文摘利用材料力学及弹性力学法 ,对石英晶体谐振式力传感器的悬臂梁结构进行了研究 ,得出了双梁单岛及三梁单岛悬臂梁结构的力转移系数 ,在与实验结果进行了比较后证明。; 关键词谐振式力传感器敏感结构石英谐振器悬臂梁结构力转移系数; Keywords quartz resonator cantilever structure force transmission coefficient; 分类号 TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名谐振式微型光学陀螺锁频精度分析被引量：8: 8; 作者鲍慧强毛慧马慧莲金仲和; 机构浙江大学信息与电子工程学系; 出处《浙江大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期94-98,135,共6页; 基金高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20060335064); 文摘在谐振式微型光学陀螺(R-MOG)系统中,为了减小由I控制器取代一阶惯性反馈环节,建立反馈控制模型,对比分析PI控制器和一阶惯性反馈环节2种反馈方式对锁于光学器件受温度、应力等外界环境因素影响产生的各种噪声,提高环路锁频精度,在反馈回路中引入P频精度的影响.利用PI控制器设置的反馈回路能够消除环路的阶跃响应稳态误差,从而降低温度等外界因素引起的环形腔互易性噪声的影响,提高环路锁频精度.进一步优化PI控制器参数,将优化设计的PI控制器应用于R-MOG系统,得到锁定环路阈值精度为30Hz,对应环长为7.9cm的微型环形腔可检测转动角速度为0.15°/s,并在该芯片构成的系统上观察到20°/s的陀螺响应.; 关键词光学传感器谐振式微型光学陀螺锁频技术 PI控制器互易性噪声; Keywords optical sensor resonator micro optic gyro frequency lock-in technique PI controller reciprocal noises; 分类号 TN815 [电子电信—信息与通信工程] TN911.74 [电子电信—通信与信息系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名原位AFM自感应PRC力传感器读数漂移的有源漂移抑制法: 9; 作者唐飞扬谷森陈俊胡志平孟庆林汝长海; 机构苏州大学机器人与微系统研究中心多伦多大学机械与工业工程学院江苏省先进机器人技术重点实验室; 出处《半导体技术》 CAS 北大核心 2020年第3期229-235,共7页; 基金国家自然科学基金资助项目(61774107)。; 文摘为解决面向扫描电子显微镜(SEM)的原位原子力显微镜(AFM)工作时SEM的聚焦电子束引起原位AFM自感应压阻式微悬臂梁(PRC)力传感器读数持续漂移的难题,首先建立原位AFM自感应PRC力传感器的p沟道结型场效应晶体管(JFET)读数漂移模型,分析SEM聚焦电子束对自感应PRC产生干扰的原因;然后提出了基于原位AFM自感应PRC力传感器p沟道JFET模型的有源漂移抑制法,即先对自感应PRC的栅极进行导电连接,再通过控制施加在自感应PRC栅极上的补偿电压消除SEM聚焦电子束对自感应PRC的干扰。实验结果表明,当补偿电压从未施加上升至40 V时,原位AFM自感应PRC力传感器读数的漂移率从约13 nm/min下降到1 nm/min左右,同时对自感应PRC及其信号调理电路均无损伤。该方法能有效消除SEM聚焦电子束对原位AFM自感应PRC力传感器的影响。; 关键词有源漂移抑制法原位原子力显微镜(AFM) 扫描电子显微镜(SEM) 自感应压阻式微悬臂梁(PRC)力传感器聚焦电子束 p沟道结型场效应晶体管(JFET)模型; Keywords active drift reduction method in-situ atomic force microscope(AFM) scanning electron microscope(SEM) self-sensing piezoresistive cantilever(PRC)force sensor focused electron beam p-channel junction field-effect transistor(JFET)model; 分类号 TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN386.6 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	微悬臂谐振传感器闭环接口和嵌入式频率电路	甘小华刘民于海涛许鹏程李昕欣	《微纳电子技术》 CAS 北大核心	2010	5	在线阅读下载PDF 职称材料
2	谐振微悬臂梁传感器的工作原理及其在生化检测中的研究进展	田宽闫堉琦孙雨安廉中义陈滢许鹏程	《电子技术应用》	2023	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	微悬臂梁传感器用于测量酵母菌弹性模量	徐文奎黄海波李相鹏	《微纳电子技术》北大核心	2016	4	在线阅读下载PDF 职称材料
4	热激励微悬臂梁谐振器品质因数研究	韩建强朱长纯刘君华张鲲	《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2002	6	在线阅读下载PDF 职称材料
5	电热激励微悬臂梁谐振器输出电压影响因素研究	韩建强朱长纯刘君华魏培永	《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心	2003	2	在线阅读下载PDF 职称材料
6	光纤光栅谐振传感器的理论与实验分析	张伟刚开桂云盛秋琴冯德军刘志国董孝义	《广西工学院学报》 CAS	2000	2	在线阅读下载PDF 职称材料
7	谐振式力传感器敏感结构的研究	路峻岭田文杰王长江张伟夏颂张福学	《压电与声光》 CSCD 北大核心	2002	1	在线阅读下载PDF 职称材料
8	谐振式微型光学陀螺锁频精度分析	鲍慧强毛慧马慧莲金仲和	《浙江大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心	2010	8	在线阅读下载PDF 职称材料
9	原位AFM自感应PRC力传感器读数漂移的有源漂移抑制法	唐飞扬谷森陈俊胡志平孟庆林汝长海	《半导体技术》 CAS 北大核心	2020	0	在线阅读下载PDF 职称材料