期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
3
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
一种谐振微加速度计频率测量及稳定度分析
1
作者
宋金鑫
刘恒
+2 位作者
吴嘉乐
陈逸楠
孙婉璐
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2024年第6期13-18,44,共7页
针对谐振式微加速度计的高精度频率测量和长时间频率稳定度的快速分析需求问题,文中在总结Allan方差和原始#1理论方差的基础上,介绍了一种快速#1理论方差。实验测试表明:在不同采样间隔下快速#1理论方差的精度和响应速度都优于Allan方...
针对谐振式微加速度计的高精度频率测量和长时间频率稳定度的快速分析需求问题,文中在总结Allan方差和原始#1理论方差的基础上,介绍了一种快速#1理论方差。实验测试表明:在不同采样间隔下快速#1理论方差的精度和响应速度都优于Allan方差和原始#1理论方差,而且采样间隔越小,越能提升谐振频率的稳定度分析。针对研制的谐振式微加速度计选择采样间隔为1 s,快速#1理论方差分析方法能在1 s内完成1 h频率稳定度分析,有利于高精度微机械谐振加速度传感器研制。
展开更多
关键词
谐振式微加速度计
频率稳定度
ALLAN方差
#1理论方差
在线阅读
下载PDF
职称材料
一种基于谐振音叉的新型差动式硅微加速度计设计与分析
被引量：
5
2
作者
樊尚春
孙苗苗
李成
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期20-24,共5页
为提高谐振式加速度计灵敏度、稳定性以及减小加速度计体积,本文提出一种结构新颖的谐振式硅微加速度计。采用一级微杠杆机构对质量块惯性力进行放大,通过一对差动布置的双端固支音叉谐振器的固有频率变化检测惯性力,从而实现对加速度...
为提高谐振式加速度计灵敏度、稳定性以及减小加速度计体积,本文提出一种结构新颖的谐振式硅微加速度计。采用一级微杠杆机构对质量块惯性力进行放大,通过一对差动布置的双端固支音叉谐振器的固有频率变化检测惯性力,从而实现对加速度的测量。该加速度计可采用体硅加工工艺,给出了总体工艺流程。采用解析和有限元分析方法对加速度计敏感元件进行了分析,有限元分析结果与解析分析结果相吻合,有限元分析可得加速度计灵敏度为57.4 Hz/gn。分析结果表明该加速度计结构具有高灵敏度、高温度稳定性和小体积等优点。
展开更多
关键词
谐振式微加速度计
双端固支音叉
谐振
器
微杠杆结构
有限元仿真
在线阅读
下载PDF
职称材料
谐振式硅微机械加速度计研究进展
被引量：
7
3
作者
李晶
樊尚春
+1 位作者
李成
余朝发
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2011年第12期4-7,共4页
谐振式硅微机械加速度计作为一种新型的对加速度进行测量的传感器,是通过检测加速度施加前后谐振敏感元件谐振频率变化实现对加速度检测的。该传感器具有频率信号输出、稳定性好、灵敏度高、精度高等优点,己成为微传感器的重要发展方向...
谐振式硅微机械加速度计作为一种新型的对加速度进行测量的传感器,是通过检测加速度施加前后谐振敏感元件谐振频率变化实现对加速度检测的。该传感器具有频率信号输出、稳定性好、灵敏度高、精度高等优点,己成为微传感器的重要发展方向之一。汇总了该传感器的国内外相关研究现状,并对加工工艺进行了总结,讨论了谐振式硅微加速度计设计中的关键技术因素,并给出了未来的发展方向。
展开更多
关键词
谐振
式微
机械
加
速度计
谐振
敏感元件
谐振
频率
灵敏度
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
一种谐振微加速度计频率测量及稳定度分析
1
作者
宋金鑫
刘恒
吴嘉乐
陈逸楠
孙婉璐
机构
南京信息工程大学电子与信息工程学院
澳门城市大学数据科学学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2024年第6期13-18,44,共7页
基金
国家重点研发计划项目(2019YFC1804704)
江苏省研究生实践创新计划项目(SJCX23_0375)。
文摘
针对谐振式微加速度计的高精度频率测量和长时间频率稳定度的快速分析需求问题,文中在总结Allan方差和原始#1理论方差的基础上,介绍了一种快速#1理论方差。实验测试表明:在不同采样间隔下快速#1理论方差的精度和响应速度都优于Allan方差和原始#1理论方差,而且采样间隔越小,越能提升谐振频率的稳定度分析。针对研制的谐振式微加速度计选择采样间隔为1 s,快速#1理论方差分析方法能在1 s内完成1 h频率稳定度分析,有利于高精度微机械谐振加速度传感器研制。
关键词
谐振式微加速度计
频率稳定度
ALLAN方差
#1理论方差
Keywords
resonant microaccelerometer
frequency stability
Allan variance
#1 theoretical variance
分类号
TH71 [机械工程—测试计量技术及仪器]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
一种基于谐振音叉的新型差动式硅微加速度计设计与分析
被引量：
5
2
作者
樊尚春
孙苗苗
李成
机构
北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期20-24,共5页
基金
国家自然科学基金项目(60927005)
文摘
为提高谐振式加速度计灵敏度、稳定性以及减小加速度计体积,本文提出一种结构新颖的谐振式硅微加速度计。采用一级微杠杆机构对质量块惯性力进行放大,通过一对差动布置的双端固支音叉谐振器的固有频率变化检测惯性力,从而实现对加速度的测量。该加速度计可采用体硅加工工艺,给出了总体工艺流程。采用解析和有限元分析方法对加速度计敏感元件进行了分析,有限元分析结果与解析分析结果相吻合,有限元分析可得加速度计灵敏度为57.4 Hz/gn。分析结果表明该加速度计结构具有高灵敏度、高温度稳定性和小体积等优点。
关键词
谐振式微加速度计
双端固支音叉
谐振
器
微杠杆结构
有限元仿真
Keywords
resonant micro-accelerometer
double-ended-tuning-fork resonator
micromechanical leveragemechanism
finite element analysis
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
谐振式硅微机械加速度计研究进展
被引量：
7
3
作者
李晶
樊尚春
李成
余朝发
机构
中北大学信息与通信工程学院
北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
武汉军械士官学校枪炮系
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2011年第12期4-7,共4页
文摘
谐振式硅微机械加速度计作为一种新型的对加速度进行测量的传感器,是通过检测加速度施加前后谐振敏感元件谐振频率变化实现对加速度检测的。该传感器具有频率信号输出、稳定性好、灵敏度高、精度高等优点,己成为微传感器的重要发展方向之一。汇总了该传感器的国内外相关研究现状,并对加工工艺进行了总结,讨论了谐振式硅微加速度计设计中的关键技术因素,并给出了未来的发展方向。
关键词
谐振
式微
机械
加
速度计
谐振
敏感元件
谐振
频率
灵敏度
Keywords
resonant MEMS accelerometer
resonant sensitive element
resonant frequency
sensitivity
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种谐振微加速度计频率测量及稳定度分析
宋金鑫
刘恒
吴嘉乐
陈逸楠
孙婉璐
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2024
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
一种基于谐振音叉的新型差动式硅微加速度计设计与分析
樊尚春
孙苗苗
李成
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
谐振式硅微机械加速度计研究进展
李晶
樊尚春
李成
余朝发
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2011
7
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
