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谐振式微传感器低功耗专用信号源研究被引量：1: 1; 作者樊尚春骆东君邢维巍《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期227-232,共6页; 为满足谐振式微传感器对信号源低功耗、低失真的要求,本文提出了一种对现有DDS(直接数字合成)技术进行改进的方案,将现有的零阶保持逼近改进成为折线逼近来减小失真,并通过详细的公式推导给出了改进后波形失真度THD(总谐波失真)的计算... 展开更多; 关键词谐振式微传感器低功耗信号源 DDS 折线逼近锯齿波发生器 THD; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于三梁结构的电热驱动谐振式微加速度传感器研究(英文) 被引量：2: 2; 作者陈健陈德勇王军波《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期516-518,共3页; 为了提高电热激励/压阻拾振谐振式微加速度传感器的品质因数和消除交叉灵敏度,提出一种基于三梁结构的新设计.依据有限元模拟得到的固有振型来选择三梁结构参数,以减少能量耗散,提高品质因数.分析本设计消除交叉灵敏度的机制和独特的三... 展开更多; 关键词微机械电子系统电热驱动谐振式微加速度传感器三梁结构交叉灵敏度有限元模拟; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种新颖的微杆杠结构的理论建模及其在谐振式微加速度传感器中的应用(英文) 被引量：1: 3; 作者陈健陈德勇王军波《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第2期274-278,共5页; 为了提高谐振式微加速度传感器的灵敏度,提出一种新颖的微杠杆结构。分析该结构的工作原理,推导该结构的理论模型,得到这种微杆杠放大倍数的解析表达式.在这个理论模型的基础上,为了进一步提高微杆杠的放大倍数,对其参数进行优化,分析... 展开更多; 关键词微机械电子系统微杠杆结构谐振式微加速度传感器有限元模拟; 在线阅读下载PDF 职称材料

谐振式微加速度传感器的有限元分析(英文): 4; 作者陈健陈德勇《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期96-100,共5页; 有限元分析用来评估一种新颖的谐振微加速度传感器,仔细分析新结构的几个主要振动模态,优化结构参数,证实这种硅基谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1 000 Hz/gn.而且在有限元分析的基础上对实际制造的非完全匹配的双端固定音叉的特点... 展开更多; 关键词微机械电子系统谐振式微加速度传感器有限元模拟非完全匹配的双端固定音叉; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于LabVIEW的谐振式微悬臂梁传感器智能激励与检测系统被引量：6: 5; 作者任艳波于海涛 +2 位作者赵伟刘民李昕欣《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2015年第12期11-14,共4页; 为了解决使用模拟锁相环设计传感器接口电路带来的精度低、测量过程繁琐等问题,采用软件锁相环设计了基于LabVIEW的谐振式微悬臂梁传感器智能激励与检测系统。将开环检测与闭环检测相结合,通过开环扫频获取待测传感器的参数信息,并通过... 展开更多; 关键词谐振式微悬臂梁传感器接口电路 LABVIEW 自适应软件锁相环扫频锁相跟踪; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于FPGA的谐振悬臂梁传感器智能接口电路被引量：5: 6; 作者柴光飞刘民 +3 位作者于海涛许鹏程徐铁刚李昕欣《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2013年第3期7-10,共4页; 设计了基于FPGA的谐振式微悬臂梁传感器接口电路,将接口电路与谐振式微悬臂梁传感器组成闭环自激振荡系统。为满足接口电路智能化与输出频率稳定性的要求,设计了带有自动扫频功能的锁相环,以此锁相环为核心并结合外围放大、滤波、移相... 展开更多; 关键词谐振式微悬臂梁传感器接口电路 FPGA 锁相环自动扫频频率跟踪; 在线阅读下载PDF 职称材料

扩散硅谐振式压力传感器同频干扰的建模与消除被引量：3: 7; 作者赵晋敏李守荣 +3 位作者王军波陈德勇刘磊史晓晶《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期362-365,共4页; 为简化谐振式微机械压力传感器的制备工艺,提出了一种采用扩散硅作为谐振梁的压力传感器,并采用电磁激励实现传感器的闭环控制。实验中发现:由于采用扩散硅材料,传感器受到较为严重的同频干扰影响,因此,消除传感器的同频干扰成为需要解... 展开更多; 关键词扩散硅谐振式微机械压力传感器同频干扰非对称激励电磁激励和检测; 在线阅读下载PDF 职称材料

谐振式MEMS磁传感器数字锁相放大器设计被引量：6: 8; 作者任泽龙刘松 +2 位作者梁亨茂李宝清熊斌《传感器与微系统》 CSCD 2019年第4期86-88,92,共4页; 介绍了一种用于谐振式微机电系统(MEMS)磁传感器输出信号检测的数字锁相放大器。通过分析MEMS磁传感器的工作原理和输出信号特征,并根据相干解调原理,设计了数字锁相放大器,其中包括信号通道、参考通道和数字式相干解调器的设计。在数... 展开更多; 关键词谐振式微机电系统(MEMS)磁传感器相干解调数字锁相放大器正交解调; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名谐振式微传感器低功耗专用信号源研究被引量：1: 1; 作者樊尚春骆东君邢维巍; 机构北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期227-232,共6页; 基金国家自然科学基金微机械谐振子激励检测方法及阻尼控制研究(60804062) 国家自然科学基金谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪器(60927005); 文摘为满足谐振式微传感器对信号源低功耗、低失真的要求,本文提出了一种对现有DDS(直接数字合成)技术进行改进的方案,将现有的零阶保持逼近改进成为折线逼近来减小失真,并通过详细的公式推导给出了改进后波形失真度THD(总谐波失真)的计算公式。最后给出了MATLAB仿真结果和电路实现结果来验证方案可行性。结果表明在同等失真度下本方案大大减小了对系统频率的要求,为减小信号源功耗提供了理论依据。; 关键词谐振式微传感器低功耗信号源 DDS 折线逼近锯齿波发生器 THD; Keywords micromachined resonant sensor low-power signal generator DDS polyline approximation saw-tooth wave generator THD; 分类号 TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN741 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于三梁结构的电热驱动谐振式微加速度传感器研究(英文) 被引量：2: 2; 作者陈健陈德勇王军波; 机构中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期516-518,共3页; 文摘为了提高电热激励/压阻拾振谐振式微加速度传感器的品质因数和消除交叉灵敏度,提出一种基于三梁结构的新设计.依据有限元模拟得到的固有振型来选择三梁结构参数,以减少能量耗散,提高品质因数.分析本设计消除交叉灵敏度的机制和独特的三梁结构的激振方式并对其进行有限元模拟.模拟结果证实这种谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1000Hz/g.; 关键词微机械电子系统电热驱动谐振式微加速度传感器三梁结构交叉灵敏度有限元模拟; Keywords MEMS thermally driven resonant microaccelerometer triple-beam structure cross-sensitivity; 分类号 TN30 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种新颖的微杆杠结构的理论建模及其在谐振式微加速度传感器中的应用(英文) 被引量：1: 3; 作者陈健陈德勇王军波; 机构中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第2期274-278,共5页; 文摘为了提高谐振式微加速度传感器的灵敏度,提出一种新颖的微杠杆结构。分析该结构的工作原理,推导该结构的理论模型,得到这种微杆杠放大倍数的解析表达式.在这个理论模型的基础上,为了进一步提高微杆杠的放大倍数,对其参数进行优化,分析微杆杠结构中各参数对于放大倍数的影响,优化后该结构的放大倍数高达200.基于这种微杠杆结构设计两种分别为静电驱动/电容检测和电热驱动/压阻拾振的谐振式微加速度传感器,分别介绍这两种传感器的工作原理及其特点,并对这两种结构进行有限元模拟.模拟结果证实这两种微加速度传感器的灵敏度均高于1000Hz/gn,进而验证这种新提出的微杠杆结构的有效性.; 关键词微机械电子系统微杠杆结构谐振式微加速度传感器有限元模拟; Keywords MEMS microleverage structure resonant microaccelerometer FEA simulation; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名谐振式微加速度传感器的有限元分析(英文): 4; 作者陈健陈德勇; 机构中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期96-100,共5页; 文摘有限元分析用来评估一种新颖的谐振微加速度传感器,仔细分析新结构的几个主要振动模态,优化结构参数,证实这种硅基谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1 000 Hz/gn.而且在有限元分析的基础上对实际制造的非完全匹配的双端固定音叉的特点和对于测量的不良影响进行分析.; 关键词微机械电子系统谐振式微加速度传感器有限元模拟非完全匹配的双端固定音叉; Keywords MEMS resonant microaccelerometer FEA simulation, not perfectly matched DETF; 分类号 TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于LabVIEW的谐振式微悬臂梁传感器智能激励与检测系统被引量：6: 5; 作者任艳波于海涛赵伟刘民李昕欣; 机构中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2015年第12期11-14,共4页; 基金国家自然科学基金项目(91323304 31200056); 文摘为了解决使用模拟锁相环设计传感器接口电路带来的精度低、测量过程繁琐等问题,采用软件锁相环设计了基于LabVIEW的谐振式微悬臂梁传感器智能激励与检测系统。将开环检测与闭环检测相结合,通过开环扫频获取待测传感器的参数信息,并通过在软件部分设计的锁相跟踪算法,使锁相更具针对性,锁相过程更快更准。采用该系统制作了便携式气体传感器样机,并对二氧化碳气体进行了实测,验证了该系统具有快速的频率跟踪能力和良好的频率稳定性。; 关键词谐振式微悬臂梁传感器接口电路 LABVIEW 自适应软件锁相环扫频锁相跟踪; Keywords resonant micro-cantilever sensor interface circuit LabVIEW software phase locked loop automatic frequency scan-ning frequency locking and tracking; 分类号 TP212.6 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于FPGA的谐振悬臂梁传感器智能接口电路被引量：5: 6; 作者柴光飞刘民于海涛许鹏程徐铁刚李昕欣; 机构中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院研究生院; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2013年第3期7-10,共4页; 基金国家973项目(2011CB309503) 国家自然科学基金项目(91023046 61021064); 文摘设计了基于FPGA的谐振式微悬臂梁传感器接口电路,将接口电路与谐振式微悬臂梁传感器组成闭环自激振荡系统。为满足接口电路智能化与输出频率稳定性的要求,设计了带有自动扫频功能的锁相环,以此锁相环为核心并结合外围放大、滤波、移相、整形电路构成的接口电路系统,能够自动扫频寻找谐振点并锁定,扫频精度为0.012 Hz左右,谐振频率的波动范围可达0.01 Hz左右,且锁定范围极广。分别测试了谐振点在100 kHz与500 kHz附近的两组传感器,该系统均能很好地自动扫频寻找谐振点并锁定。; 关键词谐振式微悬臂梁传感器接口电路 FPGA 锁相环自动扫频频率跟踪; Keywords resonant micro-cantilever sensor interface circuit FPGA phase locked loop（PLL） automatic frequency scanning frequency locking and tracking.; 分类号 TP212.6 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名扩散硅谐振式压力传感器同频干扰的建模与消除被引量：3: 7; 作者赵晋敏李守荣王军波陈德勇刘磊史晓晶; 机构华北电力大学电气与电子工程学院中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期362-365,共4页; 基金国家自然科学基金项目资助(60674112、60772018) 国家863计划项目资助(2007AA4Z318); 文摘为简化谐振式微机械压力传感器的制备工艺,提出了一种采用扩散硅作为谐振梁的压力传感器,并采用电磁激励实现传感器的闭环控制。实验中发现:由于采用扩散硅材料,传感器受到较为严重的同频干扰影响,因此,消除传感器的同频干扰成为需要解决的一个主要问题。通过对采用扩散硅作为谐振梁的压力传感器微结构进行分析,建立了传感器主要噪声来源同频干扰的等效电路模型,据此提出一种新的不对称双端激励解决方法。实验结果表明,该方法可有效地降低传感器的同频干扰,传感器的信噪比由1.53提高至35,为传感器闭环激励和检测提供了有效的手段。; 关键词扩散硅谐振式微机械压力传感器同频干扰非对称激励电磁激励和检测; Keywords diffused silicon micro-machined resonant pressure sensor co-channel interference nonsymmetrical excitation inductive excitation and detection; 分类号 TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名谐振式MEMS磁传感器数字锁相放大器设计被引量：6: 8; 作者任泽龙刘松梁亨茂李宝清熊斌; 机构中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室中国科学院大学; 出处《传感器与微系统》 CSCD 2019年第4期86-88,92,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(51577186); 文摘介绍了一种用于谐振式微机电系统(MEMS)磁传感器输出信号检测的数字锁相放大器。通过分析MEMS磁传感器的工作原理和输出信号特征,并根据相干解调原理,设计了数字锁相放大器,其中包括信号通道、参考通道和数字式相干解调器的设计。在数字式相干解调器的设计中,通过正交解调法来消除相位差对磁传感器灵敏度的影响,利用带通采样和降采样来降低硬件要求。将数字锁相放大器应用于磁传感器,顺利实现了对磁传感器输出信号的解调。测试结果具有良好线性度,其非线性度为0. 46%。; 关键词谐振式微机电系统(MEMS)磁传感器相干解调数字锁相放大器正交解调; Keywords resonant micro-electro-mechanical system(MEMS)magnetic sensor coherent demodulation digital lock-in amplifier quadrature demodulation; 分类号 TP212.13 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	谐振式微传感器低功耗专用信号源研究	樊尚春骆东君邢维巍	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2011	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于三梁结构的电热驱动谐振式微加速度传感器研究(英文)	陈健陈德勇王军波	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2007	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	一种新颖的微杆杠结构的理论建模及其在谐振式微加速度传感器中的应用(英文)	陈健陈德勇王军波	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2007	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	谐振式微加速度传感器的有限元分析(英文)	陈健陈德勇	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2007	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	基于LabVIEW的谐振式微悬臂梁传感器智能激励与检测系统	任艳波于海涛赵伟刘民李昕欣	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2015	6	在线阅读下载PDF 职称材料
6	基于FPGA的谐振悬臂梁传感器智能接口电路	柴光飞刘民于海涛许鹏程徐铁刚李昕欣	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2013	5	在线阅读下载PDF 职称材料
7	扩散硅谐振式压力传感器同频干扰的建模与消除	赵晋敏李守荣王军波陈德勇刘磊史晓晶	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2009	3	在线阅读下载PDF 职称材料
8	谐振式MEMS磁传感器数字锁相放大器设计	任泽龙刘松梁亨茂李宝清熊斌	《传感器与微系统》 CSCD	2019	6	在线阅读下载PDF 职称材料