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一种谐振式加速度传感器及其设计
被引量：
5
1
作者
郭占社
樊尚春
庄海涵
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第21期2570-2572,共3页
为解决当前模拟输出式加速度传感器测试精度相对较低的问题,利用谐振式传感器重复性好、分辨率高、稳定性优良的特点,设计了一种谐振式加速度传感器。通过理论计算,得出了线加速度与敏感元件谐振频率之间的关系,并通过有限元软件对其进...
为解决当前模拟输出式加速度传感器测试精度相对较低的问题,利用谐振式传感器重复性好、分辨率高、稳定性优良的特点,设计了一种谐振式加速度传感器。通过理论计算,得出了线加速度与敏感元件谐振频率之间的关系,并通过有限元软件对其进行了仿真计算。计算结果显示,传感器在空载状况下谐振频率的理论计算结果与有限元分析结果分别为722.2Hz与720.87Hz。在1g加速度下两种计算方法得到的谐振频率计算结果分别为727.3Hz与726.28Hz,两种情况的相对误差仅为0.18%与0.14%。对加工完毕的加速度传感器进行了测试,测试结果表明:在谐振状态下,传感器的敏感元件的谐振频率大约为718.2Hz,与理论计算及仿真结果基本接近,证明了设计的正确性。
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关键词
谐振式加速度传感器
有限元
谐振
频率
敏感元件
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职称材料
高灵敏度谐振式微加速度传感器的设计与制作
被引量：
1
2
作者
涂晟
王军波
+1 位作者
商艳龙
陈德勇
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第8期1114-1117,共4页
为提高加速度传感器灵敏度,提出一种新的加速度敏感机制,并基于此原理设计了一种新的微机械谐振式加速度传感器结构。分析了加速度传感器的数学模型及影响灵敏度的关键参数,并以此为依据对传感器结构参数进行优化设计。采用扩散硅层作...
为提高加速度传感器灵敏度,提出一种新的加速度敏感机制,并基于此原理设计了一种新的微机械谐振式加速度传感器结构。分析了加速度传感器的数学模型及影响灵敏度的关键参数,并以此为依据对传感器结构参数进行优化设计。采用扩散硅层作为谐振子,提高器件性能的同时简化了制作工艺,利用KOH溶液湿法腐蚀硅在各晶向上的各向异性,实现了支撑梁、谐振梁、质量块三者不等厚结构的制作。实验测试结果表明,加速度传感器在-1 gn～1 gn范围内的灵敏度为1.989 2 kHz/gn。
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关键词
微电子机械系统
谐振式加速度传感器
电磁激励
高灵敏度
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职称材料
题名
一种谐振式加速度传感器及其设计
被引量：
5
1
作者
郭占社
樊尚春
庄海涵
机构
北京航空航天大学
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第21期2570-2572,共3页
基金
国家863高技术研究发展计划资助项目(2006AA04Z364)
文摘
为解决当前模拟输出式加速度传感器测试精度相对较低的问题,利用谐振式传感器重复性好、分辨率高、稳定性优良的特点,设计了一种谐振式加速度传感器。通过理论计算,得出了线加速度与敏感元件谐振频率之间的关系,并通过有限元软件对其进行了仿真计算。计算结果显示,传感器在空载状况下谐振频率的理论计算结果与有限元分析结果分别为722.2Hz与720.87Hz。在1g加速度下两种计算方法得到的谐振频率计算结果分别为727.3Hz与726.28Hz,两种情况的相对误差仅为0.18%与0.14%。对加工完毕的加速度传感器进行了测试,测试结果表明:在谐振状态下,传感器的敏感元件的谐振频率大约为718.2Hz,与理论计算及仿真结果基本接近,证明了设计的正确性。
关键词
谐振式加速度传感器
有限元
谐振
频率
敏感元件
Keywords
resonant accelerator
finite element method
resonant frequency
sensing unit
分类号
TH117.3 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
高灵敏度谐振式微加速度传感器的设计与制作
被引量：
1
2
作者
涂晟
王军波
商艳龙
陈德勇
机构
中国科学院电子学研究所
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第8期1114-1117,共4页
基金
基于谐振式电磁扭摆的微机械生物传感器研究
文摘
为提高加速度传感器灵敏度,提出一种新的加速度敏感机制,并基于此原理设计了一种新的微机械谐振式加速度传感器结构。分析了加速度传感器的数学模型及影响灵敏度的关键参数,并以此为依据对传感器结构参数进行优化设计。采用扩散硅层作为谐振子,提高器件性能的同时简化了制作工艺,利用KOH溶液湿法腐蚀硅在各晶向上的各向异性,实现了支撑梁、谐振梁、质量块三者不等厚结构的制作。实验测试结果表明,加速度传感器在-1 gn～1 gn范围内的灵敏度为1.989 2 kHz/gn。
关键词
微电子机械系统
谐振式加速度传感器
电磁激励
高灵敏度
Keywords
micro-electronic mechanical systems（MEMS）
resonant accelerometer
electromagnetic excited
high sensitivity
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种谐振式加速度传感器及其设计
郭占社
樊尚春
庄海涵
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
5
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职称材料
2
高灵敏度谐振式微加速度传感器的设计与制作
涂晟
王军波
商艳龙
陈德勇
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011
1
在线阅读
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职称材料
已选择
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参考文献
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