一种谐振型声表面波传感器 被引量：4

1

作者 蔡萍 马伟方 施文康 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2000年第7期4-5,共2页

文中阐述了一种谐振型声表面波传感器的结构和工作原理 ,介绍其测试机理和数据处理方法。通过实验证明了其在理论和技术上的可行性。

关键词 声表面波 谐振 传感器 测试装置 数据处理

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声表面波谐振器型无源无线温度传感器 被引量：12

2

作者 李平 文玉梅 黄尚廉 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期403-405,共3页

介绍了一种新型的单端口声表面波谐振器构成的无源无线温度传感器。分析了间歇正弦信号无线激励的单端口声表面波谐振器的响应特性。该响应为幅度衰减的振荡信号 ,振荡的中心频率为声表面波器件固有频率。设计并构造了高效、快速、较远... 介绍了一种新型的单端口声表面波谐振器构成的无源无线温度传感器。分析了间歇正弦信号无线激励的单端口声表面波谐振器的响应特性。该响应为幅度衰减的振荡信号 ,振荡的中心频率为声表面波器件固有频率。设计并构造了高效、快速、较远距离自动无线遥测温度的实验系统 。 展开更多

关键词 声表面波 无源无线传感器 遥感测量 温度传感器 谐振器

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基于声表面波谐振器和延迟线的编码型无源无线阵列传感器 被引量：1

3

作者 李平 文玉梅 +2 位作者 王军峰 刘双临 黄尚廉 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2003年第2期15-16,共2页

提出了一种新型延迟编码式谐振声表面波无源无线传感系统。该传感单元由单端口谐振器和延迟线组成 ,激励信号采用间歇正弦脉冲串信号。响应为一变化的振荡波形 ,该信号的频率与声表面波器件固有频率相等。该传感阵列系统利用不同延迟线... 提出了一种新型延迟编码式谐振声表面波无源无线传感系统。该传感单元由单端口谐振器和延迟线组成 ,激励信号采用间歇正弦脉冲串信号。响应为一变化的振荡波形 ,该信号的频率与声表面波器件固有频率相等。该传感阵列系统利用不同延迟线构成编码器不仅有谐振式无源无线传感器距离远的优点 ,而且 ,还具有延迟型大规模编码的优势。该方法提高了传感系统遥感测量的距离、灵敏度和信噪比 。 展开更多

关键词 声表面波谐振器 无源无线编码传感器阵列 延迟线

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谐振器型声表面波加速度传感器的研究

4

作者 王生江 董永贵 +1 位作者 李源 冯冠平 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1998年第5期4-6,10,共4页

利用压电石英晶体设计并制作了一种谐振器型声表面波加速度传感器，并对其性能进行了测试和分析。试验结果表明，采用声表面波谐振器制作成的谐振器型声表面波加速度传感器具有灵敏度高、线性度好的特点，测量精度及短期稳定性等指标均... 利用压电石英晶体设计并制作了一种谐振器型声表面波加速度传感器，并对其性能进行了测试和分析。试验结果表明，采用声表面波谐振器制作成的谐振器型声表面波加速度传感器具有灵敏度高、线性度好的特点，测量精度及短期稳定性等指标均已达到战术级惯性仪器对加速度计的要求，具有很好的发展前景。 展开更多

关键词 石英晶体 声表面波 加速度计 传感器 谐振器

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新型声表面波谐振式压力传感器的研制

5

作者 范东远 陈明 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1998年第1期7-10,22,共5页

本文介绍了一种新型的声表面波谐振式压力传感器，压力敏感元件为声表面波谐振器，并组成差动电路形式进行温度补偿。敏感膜片采用全石英一体化封装技术，消除了传统粘贴式封装结构所带来的迟滞、重复性等误差，极大的提高了压力测量的... 本文介绍了一种新型的声表面波谐振式压力传感器，压力敏感元件为声表面波谐振器，并组成差动电路形式进行温度补偿。敏感膜片采用全石英一体化封装技术，消除了传统粘贴式封装结构所带来的迟滞、重复性等误差，极大的提高了压力测量的精度。由于声表面波器件采用半导体工艺制作，易于批量生产，降低了成本，具有极大的实际应用价值和意义。文中介绍了该传感器的工作原理，并给出了具体的性能指标。 展开更多

关键词 声表面波谐振器 传感器 压力传感器

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球拍型悬臂梁光纤Fabry-Perot腔声传感器的研究

6

作者 殷泽轩 《光通信技术》 北大核心 2025年第4期19-24,共6页

为提高光纤法布里-珀罗(F-P)腔声传感器的灵敏度,设计了一种球拍型悬臂梁光纤F-P腔声传感器。首先,基于COMSOL仿真软件对悬臂梁进行模态分析和尺寸优化;其次,采用激光加工技术制备了304不锈钢材质的球拍型悬臂梁光纤F-P腔声传感器,并通... 为提高光纤法布里-珀罗(F-P)腔声传感器的灵敏度,设计了一种球拍型悬臂梁光纤F-P腔声传感器。首先,基于COMSOL仿真软件对悬臂梁进行模态分析和尺寸优化;其次,采用激光加工技术制备了304不锈钢材质的球拍型悬臂梁光纤F-P腔声传感器,并通过显微测量验证了加工精度;最后,搭建声学测试系统,在20~3000 Hz频率范围内对传感器的性能进行测试。实验结果表明:该传感器的谐振频率为1750 Hz,在400~3000 Hz范围内灵敏度均高于350 mV/Pa;在1400 Hz工作频率下,0.01~0.17 Pa声压范围内的灵敏度达到3619.57 mV/Pa,线性度为0.9998,信噪比(SNR)为49.1 dB,最小可检测声压(MDP)为15.03μPa/Hz1/2。 展开更多

关键词 法布里-珀罗腔 声传感器 球拍型悬臂梁 谐振频率 最小可检测声压

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基于新型声表面波单端对谐振器的生物传感器 被引量：3

7

作者 齐晓琳 刘建生 +1 位作者 何世堂 梁勇 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第2期159-162,共4页

该文设计并制作了一种基于新型声表面波(SAW)单端对谐振器的金黄色葡萄球菌生物传感器,该传感器采用了叉指电极中间内置敏感区域的谐振器结构。首先基于微扰理论分析了SAW生物传感器的响应机理。然后结合耦合模理论分析,得到了该谐振器... 该文设计并制作了一种基于新型声表面波(SAW)单端对谐振器的金黄色葡萄球菌生物传感器,该传感器采用了叉指电极中间内置敏感区域的谐振器结构。首先基于微扰理论分析了SAW生物传感器的响应机理。然后结合耦合模理论分析,得到了该谐振器的频率响应曲线。通过网络分析仪测量,实际制作的SAW谐振器的频率响应与仿真结果一致,且具有高品质因数的优点。实验中采用该结构对金黄色葡萄球菌进行初步检测,结果表明检测结果线性度较好,为下一步实现SAW传感器特异性实时检测金黄色葡萄球菌奠定了基础。 展开更多

关键词 声表面波传感器 单端对谐振器 敏感区域 高品质因数 金黄色葡萄球菌

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一种高精度声表面波扭矩传感器 被引量：1

8

作者 周硕 高孜航 +2 位作者 肖强 王为标 范彦平 《压电与声光》 北大核心 2024年第6期865-870,877,共7页

扭矩测量是衡量动力系统输出功率是否满足运行指标的重要手段,是动力设备运行状态和故障预警的关键信息来源。声表面波(SAW)传感器无源无线的特点有利于旋转工况下的转轴扭矩测量,避免了有源扭矩传感器在扭矩测量中能量和信号难以传输... 扭矩测量是衡量动力系统输出功率是否满足运行指标的重要手段,是动力设备运行状态和故障预警的关键信息来源。声表面波(SAW)传感器无源无线的特点有利于旋转工况下的转轴扭矩测量,避免了有源扭矩传感器在扭矩测量中能量和信号难以传输的问题。为实现高精度的声表面波扭矩传感,从压电基底材料选择、高品质因数(Q)值谐振器设计以及高精度SAW传感器回波信号频率解调算法三方面考虑,设计了一种高精度声表面波扭矩传感器。对所设计的声表面波扭矩传感器进行测试,结果表明,扭矩传感器的加载非线性误差为0.183%,卸载非线性误差为0.160%,加载重复性为0.260%,卸载重复性为0.103%,迟滞为0.299%,实现了一种高精度的无源扭矩传感。 展开更多

关键词 声表面波 扭矩传感器 谐振器设计 有限元 频率解调算法

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基于穴番-A敏感膜的新型声表面波瓦斯传感器 被引量：2

9

作者 王文 胡浩亮 +2 位作者 何世堂 潘勇 张彩红 《郑州大学学报（工学版）》 CAS 北大核心 2016年第6期6-9,23,共5页

针对现有瓦斯检测与报警技术难以实现瓦斯气体现场检测与报警的现状，利用笼形超分子材料穴番-A在常温下对甲烷分子包封特性，研制了一种以穴番-A作为敏感膜材料的声表面波瓦斯传感器．传感器由具有高频率稳定度的300MHz双通道差分式谐... 针对现有瓦斯检测与报警技术难以实现瓦斯气体现场检测与报警的现状，利用笼形超分子材料穴番-A在常温下对甲烷分子包封特性，研制了一种以穴番-A作为敏感膜材料的声表面波瓦斯传感器．传感器由具有高频率稳定度的300MHz双通道差分式谐振器型振荡器以及涂覆于传感通道器件表面的穴番-A敏感膜构成．通过两步合成法制备的穴番．A以点涂法镀膜于传感器件表面．试验结果显示，所研制的新型声表面波瓦斯传感器表现出快速响应（〈10s）、高灵敏度（184Hz／％）、较低检测下限（理论可达0．05％）以及宽动态范围内（0-5％）良好的线性特性等特点，在煤矿井下瓦斯监测与报警中极具应用潜力． 展开更多

关键词 声表面波 瓦斯传感器 穴番-A 谐振型振荡器

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声表面波传感器中单端谐振器的匹配电路仿真 被引量：3

10

作者 江城 倪世宏 常迁榛 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第1期6-8,共3页

声表面波(SAW)传感器主要通过SAW延迟线及谐振器对各种物理量进行敏感。由于谐振器有很高的品质因数(Q),SAW谐振器特别适合无线无源测量。为了能有效地对无线信号进行应答,必须建立相应的匹配电路。基于SAW单端谐振器的等效电路,对单端... 声表面波(SAW)传感器主要通过SAW延迟线及谐振器对各种物理量进行敏感。由于谐振器有很高的品质因数(Q),SAW谐振器特别适合无线无源测量。为了能有效地对无线信号进行应答,必须建立相应的匹配电路。基于SAW单端谐振器的等效电路,对单端谐振器的匹配电路进行仿真,并分析了匹配电路元件对谐振器频率特性的影响。仿真结果表明,在匹配电路中,电容对谐振频率的影响显著。 展开更多

关键词 声表面波传感器 单端谐振器 匹配电路 仿真

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一种超磁致伸缩材料和声表面波谐振器构成的复合磁传感器 被引量：2

11

作者 郑敏 文玉梅 李平 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1747-1751,共5页

设计了一种新的超磁致伸缩材料和声表面波谐振器构成的复合磁传感器.该传感器将超磁致伸缩材料在磁场中产生的应力应变传递到声表面波谐振器上,改变其谐振频率,通过对谐振频率的检测进行磁场测量.该传感器可以用于静态和动态磁场测量,... 设计了一种新的超磁致伸缩材料和声表面波谐振器构成的复合磁传感器.该传感器将超磁致伸缩材料在磁场中产生的应力应变传递到声表面波谐振器上,改变其谐振频率,通过对谐振频率的检测进行磁场测量.该传感器可以用于静态和动态磁场测量,并且可用作无源、无线磁传感器.主要分析了该结构用于静态磁场测量的原理,给出了实验结果.传感器谐振频率的变化对于静态磁场变化的灵敏度可达132 Hz/Oe,谐振频率测量分辨率在1 Hz时,磁场测量分辨率可达10-7T数量级. 展开更多

关键词 超磁致伸缩材料 声表面波 谐振器 磁传感器

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谐振式声表面波加速度传感器特性研究 被引量：2

12

作者 王生江 董永贵 冯冠平 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1999年第3期164-168,共5页

利用压电石英晶体设计并制作了一种谐振器型声表面波加速度传感器，并对其性能进行了测试和分析，特别是针对谐振式传感器的特点进行了动态性能的研究。有针对性地设计了频压转换电路，组建了动态测试系统，对该系统的适用性进行了分析... 利用压电石英晶体设计并制作了一种谐振器型声表面波加速度传感器，并对其性能进行了测试和分析，特别是针对谐振式传感器的特点进行了动态性能的研究。有针对性地设计了频压转换电路，组建了动态测试系统，对该系统的适用性进行了分析和实验测试，结果表明该系统适合于待测试加速度传感器的动态性能测试，利用该系统对传感器的动态性能进行了实际测试。测试结果和进一步的理论分析表明，声表面波加速度传感器具有很高的灵敏度，其动态响应主要决定于机械结构，而与敏感机理关系不大。 展开更多

关键词 声表面波 加速度计 传感器 谐振器

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基于声表面波双端谐振器的气体传感器 被引量：2

13

作者 戴恩光 冯冠平 +1 位作者 何振华 崔大付 《传感技术学报》 CAS CSCD 1997年第1期7-12,共6页

首先研究了双端声表面波谐振器的一些特点,然后从传感技术角度,给出了一种不用延迟线而采用谐振器(SAWR)对有机气体检测的新方法。

关键词 气体传感器 谐振器 延迟线 声表面波器件

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Y型声表面波质量传感器 被引量：2

14

作者 章安良 朱大中 《传感技术学报》 CAS CSCD 2003年第4期457-460,414,共5页

报道了在 12 8°Y切割X传播方向的LiNbO3基片上设计并研制的中心频率为 12 2MHz的Y型双声路质量传感器 ,它具有一个参考声路臂和一个测量声路臂 ,每声路中有一个采用光刻工艺精确定位的质量沉积区。本文阐述了质量沉积效应的原理、... 报道了在 12 8°Y切割X传播方向的LiNbO3基片上设计并研制的中心频率为 12 2MHz的Y型双声路质量传感器 ,它具有一个参考声路臂和一个测量声路臂 ,每声路中有一个采用光刻工艺精确定位的质量沉积区。本文阐述了质量沉积效应的原理、器件的设计方法。采用振荡的方式对器件的性能进行测试。测试结果表明 :该器件的两声路频谱对称性良好 ,并且有良好的相对温度系数 ,仅为 12Hz/℃左右。器件的质量沉积效应灵敏度约为 3 6GHz·cm2 /g 。 展开更多

关键词 声表面波传感器 Y型双声路质量传感器 质量沉积效应 温度系数

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声表面波谐振式力学量传感器的发展与现状 被引量：2

15

作者 陈明 王玮 《传感器技术》 CSCD 2000年第5期1-3,共3页

扼要回顾了国内外在声表面波力学量传感器方面一些重要的成就 ,阐述了声表面波力学量传感器的特点、基本工作原理 ,简单推导了该传感器输入 -输出关系 ,并对声表面波其他传感器作了介绍。

关键词 声表面波 力学量传感器 谐振式

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阻抗型无线无源声表面波传感器的研究

16

作者 房丽丽 章传芳 +1 位作者 刘子薇 唐浚峰 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期1-4,共4页

介绍了一种新型的阻抗负载型无线无源传感器,该传感器由声表面波器件与作为负载的外接传感器构成,采用声表面波器件进行信号传输。在工作时,外接传感器阻抗值的变化使声表面波器件反射回波特性也得到改变,通过检测该回波特性的变化,实... 介绍了一种新型的阻抗负载型无线无源传感器,该传感器由声表面波器件与作为负载的外接传感器构成,采用声表面波器件进行信号传输。在工作时,外接传感器阻抗值的变化使声表面波器件反射回波特性也得到改变,通过检测该回波特性的变化,实现无线无源传感。基于耦合模模型的分析方法,得出了其级联P矩阵形式。针对电阻型和电容型两种不同类型的负载,分别对传感器进行了仿真分析和实际测试。试验结果表明,当电容型传感器作为负载时,可以以相位作为探测基准。 展开更多

关键词 无源无线 耦合模模型 阻抗负载型 声表面波 传感器

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用于传感器的声表面波谐振器耦合模理论研究

17

作者 戴恩光 冯冠平 《电子测量与仪器学报》 CSCD 1997年第4期9-14,共6页

本文主要研究声表面波耦合模理论在声表面波谐振器中的应用。本文结合声表面波谐振器的特点，对谐振器表面沉积介质薄膜后引起器件结构参数的变化进行了分析，为研究基于SAW谐振器的传感器提供了一种方法。

关键词 SAW 谐振器 耦合模理论 传感器 声表面波

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无源无线声表面波压力传感器研究 被引量：4

18

作者 张朋 常静 +1 位作者 范福玲 杨益 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2015年第5期737-741,共5页

无源无线传感器可对快速移动或旋转等环境下的物体进行参数测量,具有无源无线等优势。为此,采用声表面波(SAW)技术和无线射频技术研究实现了一种结构简单的无源无线声表面压力传感器。基于CC1101无线射频模块实现对SAW压力传感器感知信... 无源无线传感器可对快速移动或旋转等环境下的物体进行参数测量,具有无源无线等优势。为此,采用声表面波(SAW)技术和无线射频技术研究实现了一种结构简单的无源无线声表面压力传感器。基于CC1101无线射频模块实现对SAW压力传感器感知信息的无线接收。推导出CC1101射频收发模块的阻抗匹配网络的传递函数,通过MATLAB和Multism软件进行分析和仿真,确定了匹配网络的元件参数,使射频模块工作频率可调;设计并实现了传感器样机。试验结果表明,该无源无线SAW压力传感器具有精度高,稳定性好的特点,为其工程化提供了依据。 展开更多

关键词 无源无线 声表面波(SAW)谐振器 CC1101 阻抗匹配 压力传感器

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双声路声表面波毒剂传感器的设计 被引量：1

19

作者 陈传治 马晋毅 +1 位作者 左伯莉 江洪敏 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第4期91-93,共3页

对声表面波(SAW)芯片结构类型、参数条件、覆膜方法及制作工艺流程进行了详细研究,设计了一种新型双声路谐振器型SAW毒剂传感器,并以聚表氯醇PECH为敏感膜材料,测试了该传感器对芥子气(HD)的检测性能,结果表明:该传感器具有稳定性好、... 对声表面波(SAW)芯片结构类型、参数条件、覆膜方法及制作工艺流程进行了详细研究,设计了一种新型双声路谐振器型SAW毒剂传感器,并以聚表氯醇PECH为敏感膜材料,测试了该传感器对芥子气(HD)的检测性能,结果表明:该传感器具有稳定性好、灵敏度高、响应快速、适于连续实时检测等特点,为发展毒剂检测器材提供了依据。 展开更多

关键词 声表面波谐振器 双声路 毒剂 气体传感器

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基于谐振型SAW传感器的呼吸检测系统设计 被引量：11

20

作者 王乐 王镝 +3 位作者 於锦 王平 胡燕婕 应可净 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期498-502,共5页

人呼吸中VOCs的种类及含量与人的身体状况有关,对其的检测可用于疾病的诊断。本研究利用谐振型声表面波传感器,开发出一套可用于对人呼吸中VOCs进行检测的系统。本文首先介绍了该系统的组成及原理,并对系统的关键环节进行了测试。在此... 人呼吸中VOCs的种类及含量与人的身体状况有关,对其的检测可用于疾病的诊断。本研究利用谐振型声表面波传感器,开发出一套可用于对人呼吸中VOCs进行检测的系统。本文首先介绍了该系统的组成及原理,并对系统的关键环节进行了测试。在此基础上,系统对多组测试样本进行了实验,实验结果初步表明,本系统可对×10-9(ppb)级的VOCs测试样本进行直接检测,已经具备对人呼吸中VOCs的检测条件。 展开更多

关键词 谐振型声表面波传感器 呼吸检测 可挥发性有机化合物(VOCs)

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