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适用于硅微谐振器件测量的光纤位移传感器研究被引量：6: 1; 作者刘月明田维坚 +1 位作者刘君华张少君《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第10期1216-1219,共4页; 对一种适用于硅微机械谐振器件测量的光纤位移传感器进行了研究 ,该光纤位移传感器探头采用了单根光纤探测形式和光纤“X”耦合器结构 ,在微弱光电传感信号处理上采用了“锁相放大器”提取方案 ,可以实现对静态位移和振动位移两种场合... 展开更多; 关键词硅微谐振器件光纤位移传感器光纤“X”耦合器锁相放大器; 在线阅读下载PDF 职称材料

弯扭耦合影响的MEMS扭转谐振器件中的热弹性阻尼被引量：4: 2; 作者台永鹏李普左万里《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2014年第13期35-39,105,共6页; 热弹性阻尼作为一种基本的能量耗散机理,对高质量因数的MEMS谐振器件有着重要的影响。因为纯扭转振动不产生热弹性能量耗散,所以过去很少有文献涉及到扭转器件中热弹性阻尼。但是,静电驱动的扭转谐振器件中通常存在弯扭耦合现象,其中弯... 展开更多; 关键词 MEMS 热弹性阻尼弯扭耦合谐振器件; 在线阅读下载PDF 职称材料

纳米半导体量子器件评述被引量：1: 3; 作者张汉三《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期26-30,共5页; 在概述了半导体纳米微结构中的量子效应之后，简要评述了谐振隧道效应器件，量子线ＦＥＴ，单电子隧穿器件，电子波衍射晶体管，量子线和量子箱激光器。还讨论了对量子微结构的尺寸要求。; 关键词纳米半导体量子线和量子箱激光器量子器件电子波衍射晶体管超晶格量子效应谐振隧道器件库仑阻塞量子尺寸效应谐振隧道效应; 在线阅读下载PDF 职称材料

量子器件与量子信息技术: 4; 作者曾云晏敏王玉永《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期18-21,53,共5页; 从信息社会的发展分析提出了量子器件及量子信息技术产生和发展的必然性,介绍了谐振隧穿器件、单电子器件、电子波导晶体管等纳米电子器件及其特点,对量子激光器和量子信息技术及其性能作了简要介绍,并给出了应用前景。; 关键词量子器件谐振隧穿器件单电子器件电子波导晶体管量子信息技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名适用于硅微谐振器件测量的光纤位移传感器研究被引量：6: 1; 作者刘月明田维坚刘君华张少君; 机构中国科学院西安光学精密机械研究所西安交通大学电气工程学院西安理工大学机械与精密仪器工程学院; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第10期1216-1219,共4页; 基金陕西省教委专项科研计划 ( 0 2JK15 5 ) 中国博士后基金( 2 0 0 2 0 32 2 2 5 ) +1 种基金中国科学院"百人计划"基金国家自然科学基金( 6 9776 0 37)资助项目; 文摘对一种适用于硅微机械谐振器件测量的光纤位移传感器进行了研究 ,该光纤位移传感器探头采用了单根光纤探测形式和光纤“X”耦合器结构 ,在微弱光电传感信号处理上采用了“锁相放大器”提取方案 ,可以实现对静态位移和振动位移两种场合进行测量对该传感器的实测结果表明 :该传感器测量范围为 0～ 10 0 μm ,测量灵敏度 3 95mV/μm ,精度等级优于 1% ,重复性优于0 5 % 为作为应用实例 ,运用该传感系统对一种微悬臂梁硅微谐振器件进行了测量 ,成功提取了硅微谐振器件的微弱谐振信号 ,证实了该传感器可以实现对硅微谐振器件的非接触和无损测量 ,并具有非接触、易调试。; 关键词硅微谐振器件光纤位移传感器光纤“X”耦合器锁相放大器; Keywords Silicon micromechanical resonator Optic-fiber deflection sensor Optic-fiber 'X' coupler Lock-in Amplifier; 分类号 TH825 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名弯扭耦合影响的MEMS扭转谐振器件中的热弹性阻尼被引量：4: 2; 作者台永鹏李普左万里; 机构东南大学机械工程学院; 出处《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2014年第13期35-39,105,共6页; 基金国家自然科学基金项目(51075072); 文摘热弹性阻尼作为一种基本的能量耗散机理,对高质量因数的MEMS谐振器件有着重要的影响。因为纯扭转振动不产生热弹性能量耗散,所以过去很少有文献涉及到扭转器件中热弹性阻尼。但是,静电驱动的扭转谐振器件中通常存在弯扭耦合现象,其中弯曲振动的部分不可避免的产生热弹性阻尼。针对具有弯扭耦合的MEMS扭转谐振器件,给出一种热弹性阻尼解析模型。首先考虑弯扭耦合效应,利用MEMS扭转谐振器件的静态平衡方程和动力学方程,得到线性振动方程,然后根据热传导方程和LR理论推导出热弹性阻尼的解析模型。将解析模型与FEM仿真结果及实验数据比较,证实了理论的可行性并揭示了热弹性阻尼在内部耗散中的重要性。通过对解析模型特性的研究,分析了谐振器件几何尺寸对热弹性阻尼的影响关系。; 关键词 MEMS 热弹性阻尼弯扭耦合谐振器件; Keywords MEMS thermoelastic damping coupling resonator; 分类号 TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学] O414 [理学—理论物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名纳米半导体量子器件评述被引量：1: 3; 作者张汉三; 机构电子部第; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期26-30,共5页; 文摘在概述了半导体纳米微结构中的量子效应之后，简要评述了谐振隧道效应器件，量子线ＦＥＴ，单电子隧穿器件，电子波衍射晶体管，量子线和量子箱激光器。还讨论了对量子微结构的尺寸要求。; 关键词纳米半导体量子线和量子箱激光器量子器件电子波衍射晶体管超晶格量子效应谐振隧道器件库仑阻塞量子尺寸效应谐振隧道效应; 分类号 TN304 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名量子器件与量子信息技术: 4; 作者曾云晏敏王玉永; 机构湖南大学微电子研究所; 出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期18-21,53,共5页; 文摘从信息社会的发展分析提出了量子器件及量子信息技术产生和发展的必然性,介绍了谐振隧穿器件、单电子器件、电子波导晶体管等纳米电子器件及其特点,对量子激光器和量子信息技术及其性能作了简要介绍,并给出了应用前景。; 关键词量子器件谐振隧穿器件单电子器件电子波导晶体管量子信息技术; Keywords quantum device resonant tunneling diodes signal electron devices electron wave-guide transistors quantum information technology.; 分类号 TN301 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	适用于硅微谐振器件测量的光纤位移传感器研究	刘月明田维坚刘君华张少君	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2003	6	在线阅读下载PDF 职称材料
2	弯扭耦合影响的MEMS扭转谐振器件中的热弹性阻尼	台永鹏李普左万里	《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心	2014	4	在线阅读下载PDF 职称材料
3	纳米半导体量子器件评述	张汉三	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	1996	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	量子器件与量子信息技术	曾云晏敏王玉永	《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心	2004	0	在线阅读下载PDF 职称材料