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弹光和电光级联的组合相位调制型椭偏测量术
被引量:
9
1
作者
李克武
王黎明
+3 位作者
王志斌
张瑞
薛瑞
陈友华
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期690-697,共8页
利用弹光调制器的偏振调制优势,提出了将弹光调制器和电光调制器级联的组合相位调制型椭偏测量术。该技术采用单光路实现信号探测,通过切换电光调制器的两个工作状态,并结合数字锁相信号处理技术来完成样品反射光的p分量和s分量的幅值...
利用弹光调制器的偏振调制优势,提出了将弹光调制器和电光调制器级联的组合相位调制型椭偏测量术。该技术采用单光路实现信号探测,通过切换电光调制器的两个工作状态,并结合数字锁相信号处理技术来完成样品反射光的p分量和s分量的幅值比Ψ和相位差Δ的全范围高精度测量。对提出的新型椭偏测量原理进行了分析,搭建了相应的实验系统。完成了弹光调制器的调制电压峰峰值和相位调制幅值关系的定标,定标结果优于99.05%,然后还采用系统初始偏移值的方法对实验系统进行了校准。最后,运用该系统对石英玻璃反射样品进行了实验分析,得到的Ψ和Δ的测量精度分别优于0.08°和0.81°。实验结果显示系统校准有效地消除了电光调制器和弹光调制器的剩余双折射引入的测量误差;数据采集和处理时间均在ms量级。提出的测量技术具有宽光谱测量、工作稳定、重复度高、测量速率快、成本相对较低和系统便于工业自动化集成的潜在优势。
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关键词
椭偏仪
相位
调制
型椭偏
测量
术
弹光
调制
电光
调制
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职称材料
色散聚焦分离式彩色共聚焦测量系统研究
被引量:
4
2
作者
余卿
张学典
崔长彩
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第3期100-107,共8页
为了满足先进制造工艺的对检测技术越来越高的要求,对材料表面的测量既有高精度的要求,同时也有快速检测的需求。彩色共聚焦测量技术从原理上避免了轴向扫描过程,与传统的激光共聚焦技术相比,具有明显的测量速度优势,可针对大尺寸的被...
为了满足先进制造工艺的对检测技术越来越高的要求,对材料表面的测量既有高精度的要求,同时也有快速检测的需求。彩色共聚焦测量技术从原理上避免了轴向扫描过程,与传统的激光共聚焦技术相比,具有明显的测量速度优势,可针对大尺寸的被测物表面形貌进行快速化检测。通常情况下,针对不同测量需求的被测对象,需要设计不同的彩色共聚焦系统核心部件-色散物镜,增加了系统的复杂性。针对这一情况,采用色散和聚焦分离的设计方式,通过切换物镜参数的方式,快速有效地实现不同测量需求。所设计的大范围色散元件结合不同聚焦物镜时,能实现对色散范围的调制,并以此为基础搭建了聚焦和色散分离的彩色共聚焦系统。实验结果表明,采用不同参数物镜时,可实现对量程和分辨率的调制;其中,当采用10×(NA=0.3)物镜时,可获得轴向225μm的线性色散,此时测量系统的轴向测量精度优于0.2μm。
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关键词
彩色共聚焦
测量
光学表面形貌检测
测量
范围
调制
测量
精度
调制
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职称材料
有源差分设备的新方法和非线性测量
3
作者
Agilent Technologies
《电子测量技术》
2003年第4期42-42,共1页
1 简介许多无线设备的拓扑结构已经从传统的单端输入和输出转向平衡(或差分)输入驱动。过去的研究结果表明,对无源设备或在线性区域中工作的有源设备,测量平衡设备的各个单端响应、然后以数学方式综合测量结果、获得差分或平衡响应已经...
1 简介许多无线设备的拓扑结构已经从传统的单端输入和输出转向平衡(或差分)输入驱动。过去的研究结果表明,对无源设备或在线性区域中工作的有源设备,测量平衡设备的各个单端响应、然后以数学方式综合测量结果、获得差分或平衡响应已经足够了。这里的线性区域是指信号足够小,这样设备操作不会随着信号电平变化而变化。但是,许多有源设备的行为并没有采用这种模式。例如,放大器可能会改变大信号和小信号之间的偏置电流。对这些设备,必需通过显示正确幅度和相位关系的实时信号驱动设备。必须在DUT的输入端口(+和-)上显示这些幅度相同、相位差为180度的驱动信号,以得到真正的差分信号。过去的研究结果表明,使用差模驱动和共模驱动(真实模式驱动)可能会给线性系统带来较低的不确定性,因为校准残余信号会堆叠在一起。对测试设备应用,可以使用混合系统生成这些信号,但可能很难从到电路连接的混合端口上控制和平衡这些信号。而在测试设备应用中,可能并不能充分地控制互连,来保持希望的平衡。对线性电路,这种不平衡是可以校正的。
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关键词
有源差分设备
非线性
测量
拓扑结构
差分源驱动
调制测量
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职称材料
资源三号卫星在轨MTF测量与图像复原
被引量:
4
4
作者
汪畅
顾行发
+3 位作者
余涛
谢勇
谢燕华
李小英
《计算机工程》
CAS
CSCD
2014年第4期237-241,246,共6页
随着高分辨率遥感卫星发射数量的增多,高分辨率遥感图像数据应用需求也日益增强,而遥感数据的质量直接影响到其数据应用的可靠性和精确性。为此,对高分辨率遥感图像数据进行图像复原是非常有必要的。针对资源三号卫星电荷耦合装置相机...
随着高分辨率遥感卫星发射数量的增多,高分辨率遥感图像数据应用需求也日益增强,而遥感数据的质量直接影响到其数据应用的可靠性和精确性。为此,对高分辨率遥感图像数据进行图像复原是非常有必要的。针对资源三号卫星电荷耦合装置相机遥感图像高空间分辨率的特点,分析在仅有图像信息的情况下系统调制传递函数(MTF)的在轨测量方法,验证双边缘法的可行性。探讨双边缘线状地物选取方法,同时推导证明二维MTF矩阵的构建方法,并借助二维MTF矩阵对原图像进行修正反转滤波实现图像复原。试验结果表明,复原后的图像质量明显提高。
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关键词
调制
传递函数
测量
双边缘法
图像复原
电荷耦合装置
资源三号卫星
修正反转滤波器
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职称材料
基于可见光图像和机器学习的金具温升识别方法
被引量:
7
5
作者
杜文娇
叶齐政
+1 位作者
袁哲
李辰盟
《高压电器》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第10期221-229,共9页
基于光辐射的测温技术一般工作在热辐射较强的红外波段,基于光反射的测温技术虽然可以工作在可见光波段,但目前使用条件只限于暗环境下正入射单波长的光源,而电力设备工作在日光下难以使用该技术。文中通过数字图像处理技术和机器学习方...
基于光辐射的测温技术一般工作在热辐射较强的红外波段,基于光反射的测温技术虽然可以工作在可见光波段,但目前使用条件只限于暗环境下正入射单波长的光源,而电力设备工作在日光下难以使用该技术。文中通过数字图像处理技术和机器学习方法,将热调制光反射技术扩展到不需要正入射和固定光源的情况,利用日光实现常温电力金具表面温升识别。在日光下利用3种手机拍照建立了110 kV输电线路一种金具不同日光环境(每个温度下日光照度有3种)的图像库4 500幅,3种不同金具(每个温度下日光照度一种)的图像库每种金具1 500幅,提取每张照片的三基色灰度频率分布(RGB-GLH)为特征量,分别通过支持向量机、决策树法、梯度提升法和K近邻法4种机器学习方法,建立了表面温度的识别模型。交叉验证结果表明K近邻法最优,平均绝对误差适合识别一般金具故障的温升。文中还从材料电磁特性出发,根据电磁波反射规律探讨了日光下热调制光反射温升识别技术的原理,以及利用机器学习方法处理大数据矩阵的依据。
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关键词
热
调制
反射光温度
测量
温升、状态识别
可见光图像
机器学习方法
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职称材料
题名
弹光和电光级联的组合相位调制型椭偏测量术
被引量:
9
1
作者
李克武
王黎明
王志斌
张瑞
薛瑞
陈友华
机构
中北大学信息与通信工程学院
山西省光电信息与仪器工程技术研究中心
中北大学电子测试技术重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期690-697,共8页
基金
国家国际科技合作专项(No.2013DFR10150)
国家自然科学基金资助项目(No.61127015
+2 种基金
No.61471325
No.61505179
山西省青年科技研究基金资助项目(No.2014021012)
文摘
利用弹光调制器的偏振调制优势,提出了将弹光调制器和电光调制器级联的组合相位调制型椭偏测量术。该技术采用单光路实现信号探测,通过切换电光调制器的两个工作状态,并结合数字锁相信号处理技术来完成样品反射光的p分量和s分量的幅值比Ψ和相位差Δ的全范围高精度测量。对提出的新型椭偏测量原理进行了分析,搭建了相应的实验系统。完成了弹光调制器的调制电压峰峰值和相位调制幅值关系的定标,定标结果优于99.05%,然后还采用系统初始偏移值的方法对实验系统进行了校准。最后,运用该系统对石英玻璃反射样品进行了实验分析,得到的Ψ和Δ的测量精度分别优于0.08°和0.81°。实验结果显示系统校准有效地消除了电光调制器和弹光调制器的剩余双折射引入的测量误差;数据采集和处理时间均在ms量级。提出的测量技术具有宽光谱测量、工作稳定、重复度高、测量速率快、成本相对较低和系统便于工业自动化集成的潜在优势。
关键词
椭偏仪
相位
调制
型椭偏
测量
术
弹光
调制
电光
调制
Keywords
ellipsometer
phase-modulated ellipsometry
photo-elastic modulation
electro-optic modulation
分类号
O436.3 [机械工程—光学工程]
TH744.2 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
色散聚焦分离式彩色共聚焦测量系统研究
被引量:
4
2
作者
余卿
张学典
崔长彩
机构
华侨大学机电及自动化学院
上海理工大学光电信息与计算机工程学院现代光学系统重点实验室
华侨大学制造工程研究院
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第3期100-107,共8页
基金
国家自然科学基金青年项目(51505162)
福建省科技计划项目-对外合作项目(2015I0004)
华侨大学中青年教师科研提升计划(ZQN-PY304)项目资助
文摘
为了满足先进制造工艺的对检测技术越来越高的要求,对材料表面的测量既有高精度的要求,同时也有快速检测的需求。彩色共聚焦测量技术从原理上避免了轴向扫描过程,与传统的激光共聚焦技术相比,具有明显的测量速度优势,可针对大尺寸的被测物表面形貌进行快速化检测。通常情况下,针对不同测量需求的被测对象,需要设计不同的彩色共聚焦系统核心部件-色散物镜,增加了系统的复杂性。针对这一情况,采用色散和聚焦分离的设计方式,通过切换物镜参数的方式,快速有效地实现不同测量需求。所设计的大范围色散元件结合不同聚焦物镜时,能实现对色散范围的调制,并以此为基础搭建了聚焦和色散分离的彩色共聚焦系统。实验结果表明,采用不同参数物镜时,可实现对量程和分辨率的调制;其中,当采用10×(NA=0.3)物镜时,可获得轴向225μm的线性色散,此时测量系统的轴向测量精度优于0.2μm。
关键词
彩色共聚焦
测量
光学表面形貌检测
测量
范围
调制
测量
精度
调制
Keywords
chromatie confocal measurement
optical surface topography measurement
measurement range modulation
measurement accuracy modulation
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
有源差分设备的新方法和非线性测量
3
作者
Agilent Technologies
出处
《电子测量技术》
2003年第4期42-42,共1页
文摘
1 简介许多无线设备的拓扑结构已经从传统的单端输入和输出转向平衡(或差分)输入驱动。过去的研究结果表明,对无源设备或在线性区域中工作的有源设备,测量平衡设备的各个单端响应、然后以数学方式综合测量结果、获得差分或平衡响应已经足够了。这里的线性区域是指信号足够小,这样设备操作不会随着信号电平变化而变化。但是,许多有源设备的行为并没有采用这种模式。例如,放大器可能会改变大信号和小信号之间的偏置电流。对这些设备,必需通过显示正确幅度和相位关系的实时信号驱动设备。必须在DUT的输入端口(+和-)上显示这些幅度相同、相位差为180度的驱动信号,以得到真正的差分信号。过去的研究结果表明,使用差模驱动和共模驱动(真实模式驱动)可能会给线性系统带来较低的不确定性,因为校准残余信号会堆叠在一起。对测试设备应用,可以使用混合系统生成这些信号,但可能很难从到电路连接的混合端口上控制和平衡这些信号。而在测试设备应用中,可能并不能充分地控制互连,来保持希望的平衡。对线性电路,这种不平衡是可以校正的。
关键词
有源差分设备
非线性
测量
拓扑结构
差分源驱动
调制测量
分类号
TM93 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
资源三号卫星在轨MTF测量与图像复原
被引量:
4
4
作者
汪畅
顾行发
余涛
谢勇
谢燕华
李小英
机构
中国科学院遥感应用研究所
出处
《计算机工程》
CAS
CSCD
2014年第4期237-241,246,共6页
基金
国家部委基金资助项目
卫星测绘应用中心招标项目“资源三号影像处理与应用分系统”(YZH0820034)
文摘
随着高分辨率遥感卫星发射数量的增多,高分辨率遥感图像数据应用需求也日益增强,而遥感数据的质量直接影响到其数据应用的可靠性和精确性。为此,对高分辨率遥感图像数据进行图像复原是非常有必要的。针对资源三号卫星电荷耦合装置相机遥感图像高空间分辨率的特点,分析在仅有图像信息的情况下系统调制传递函数(MTF)的在轨测量方法,验证双边缘法的可行性。探讨双边缘线状地物选取方法,同时推导证明二维MTF矩阵的构建方法,并借助二维MTF矩阵对原图像进行修正反转滤波实现图像复原。试验结果表明,复原后的图像质量明显提高。
关键词
调制
传递函数
测量
双边缘法
图像复原
电荷耦合装置
资源三号卫星
修正反转滤波器
Keywords
Modulation Transfer Function(MTF) measurement
double edge method
image restoration
Charge-coupled Device(CCD)
ZY-3 satellite
Modified Inverse Filter(MIF)
分类号
TP751 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
基于可见光图像和机器学习的金具温升识别方法
被引量:
7
5
作者
杜文娇
叶齐政
袁哲
李辰盟
机构
广东电网有限责任公司江门供电局
华中科技大学电气与电子工程学院
出处
《高压电器》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第10期221-229,共9页
基金
国家自然科学基金项目(51577081)
广东电网有限责任公司科研项目(030700KK52180140)。
文摘
基于光辐射的测温技术一般工作在热辐射较强的红外波段,基于光反射的测温技术虽然可以工作在可见光波段,但目前使用条件只限于暗环境下正入射单波长的光源,而电力设备工作在日光下难以使用该技术。文中通过数字图像处理技术和机器学习方法,将热调制光反射技术扩展到不需要正入射和固定光源的情况,利用日光实现常温电力金具表面温升识别。在日光下利用3种手机拍照建立了110 kV输电线路一种金具不同日光环境(每个温度下日光照度有3种)的图像库4 500幅,3种不同金具(每个温度下日光照度一种)的图像库每种金具1 500幅,提取每张照片的三基色灰度频率分布(RGB-GLH)为特征量,分别通过支持向量机、决策树法、梯度提升法和K近邻法4种机器学习方法,建立了表面温度的识别模型。交叉验证结果表明K近邻法最优,平均绝对误差适合识别一般金具故障的温升。文中还从材料电磁特性出发,根据电磁波反射规律探讨了日光下热调制光反射温升识别技术的原理,以及利用机器学习方法处理大数据矩阵的依据。
关键词
热
调制
反射光温度
测量
温升、状态识别
可见光图像
机器学习方法
Keywords
temperature measurement of thermally modulated reflected light
temperature rise and state identification
visible image
machine learning method
分类号
TP391.41 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
TP181 [自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
TM507 [电气工程—电器]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
弹光和电光级联的组合相位调制型椭偏测量术
李克武
王黎明
王志斌
张瑞
薛瑞
陈友华
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
9
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职称材料
2
色散聚焦分离式彩色共聚焦测量系统研究
余卿
张学典
崔长彩
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
4
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职称材料
3
有源差分设备的新方法和非线性测量
Agilent Technologies
《电子测量技术》
2003
0
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职称材料
4
资源三号卫星在轨MTF测量与图像复原
汪畅
顾行发
余涛
谢勇
谢燕华
李小英
《计算机工程》
CAS
CSCD
2014
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
5
基于可见光图像和机器学习的金具温升识别方法
杜文娇
叶齐政
袁哲
李辰盟
《高压电器》
CAS
CSCD
北大核心
2022
7
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职称材料
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