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机床线性轴多自由度运动误差在线测量方法
被引量:
1
1
作者
蔡引娣
高英豪
+1 位作者
王路辉
范光照
《航空制造技术》
CSCD
北大核心
2022年第5期55-62,共8页
激光多自由度误差测量方法常被用于测量机床运动误差。半导体激光器由于体积小、成本低等优点,常被作为激光多自由度误差测量系统的光源。但是,大气扰动和测量系统的变形将导致半导体激光器的出射光束产生漂移,影响测量系统的稳定性。同...
激光多自由度误差测量方法常被用于测量机床运动误差。半导体激光器由于体积小、成本低等优点,常被作为激光多自由度误差测量系统的光源。但是,大气扰动和测量系统的变形将导致半导体激光器的出射光束产生漂移,影响测量系统的稳定性。同时,由于半导体激光器的发光特点,其光斑常为椭圆形,从而制约了以半导体激光器为光源的激光多自由度误差测量系统的测量精度。因此,提出了基于双反射镜的光束漂移自动抑制方法,对半导体激光的光束漂移进行实时测量和补偿;同时提出了光束整形方法,在不加入其他光学元件的同时,修正半导体激光器的光斑形貌。在此基础上,设计并搭建了半导体激光多自由度运动误差测量系统。通过试验可得,测量系统水平直线度误差信号、竖直直线度误差信号、偏摆角误差信号和俯仰角误差信号的稳定性由光束漂移抑制前的6.9μm、6.7μm、5.4arcsec和4.6arcsec提高到光束漂移抑制后的5.5μm、2.5μm、1.3arcsec和1.7arcsec;直线度误差测量精度优于1.9μm,角度误差测量精度优于1.6arcsec。
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关键词
运动
误差
多
自由度
误差
半导体激光器
光束漂移
光斑形变
在线阅读
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职称材料
六自由度测试系统
被引量:
6
2
作者
孙长库
周富强
+1 位作者
刘越
叶声华
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第4期362-365,共4页
本文所描述的测试系统基于激光全息分光技术和激光干涉测长技术,同时测定目标物体六个自由度的偏差。采用激光漂移补偿技术建立了稳定的激光束基准,采用磁光调制技术减小光强不稳定等因素对滚转角测量精度的影响,实现了多自由度较高...
本文所描述的测试系统基于激光全息分光技术和激光干涉测长技术,同时测定目标物体六个自由度的偏差。采用激光漂移补偿技术建立了稳定的激光束基准,采用磁光调制技术减小光强不稳定等因素对滚转角测量精度的影响,实现了多自由度较高精度的准直。实验表明,在激光光源距靶标1m时,该系统σ重复性误差:线位移小于4μm,角位移小于4″,整个系统结构简单,测量效率高。
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关键词
六
自由度
误差
全息透镜
磁光调制
干涉测长
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职称材料
激光多自由度测量方法综述
被引量:
6
3
作者
冯其波
徐暘
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2000年第6期311-333,共23页
介绍了现有激光多自由度测量系统 ,分析了其优缺点 ,讨论了其发展趋势。
关键词
激光干涉测量技术
六
自由度
几何量
误差
数控机床
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职称材料
以最小显著差数为依据确定试验规模的方法
被引量:
1
4
作者
王平
霍启光
《北京农学院学报》
1998年第2期49-54,共6页
本文介绍了以最小显著差数为依据确定试验规模的方法,每个处理内试验动物的头数由以下公式计算:
关键词
最小显著差数
饲养
动物试验规模
误差自由度
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职称材料
题名
机床线性轴多自由度运动误差在线测量方法
被引量:
1
1
作者
蔡引娣
高英豪
王路辉
范光照
机构
大连理工大学
出处
《航空制造技术》
CSCD
北大核心
2022年第5期55-62,共8页
基金
国家自然科学基金(51905078)
国家重点研发计划项目“制造基础技术与关键部件”重点专项(2018YFB2001400)。
文摘
激光多自由度误差测量方法常被用于测量机床运动误差。半导体激光器由于体积小、成本低等优点,常被作为激光多自由度误差测量系统的光源。但是,大气扰动和测量系统的变形将导致半导体激光器的出射光束产生漂移,影响测量系统的稳定性。同时,由于半导体激光器的发光特点,其光斑常为椭圆形,从而制约了以半导体激光器为光源的激光多自由度误差测量系统的测量精度。因此,提出了基于双反射镜的光束漂移自动抑制方法,对半导体激光的光束漂移进行实时测量和补偿;同时提出了光束整形方法,在不加入其他光学元件的同时,修正半导体激光器的光斑形貌。在此基础上,设计并搭建了半导体激光多自由度运动误差测量系统。通过试验可得,测量系统水平直线度误差信号、竖直直线度误差信号、偏摆角误差信号和俯仰角误差信号的稳定性由光束漂移抑制前的6.9μm、6.7μm、5.4arcsec和4.6arcsec提高到光束漂移抑制后的5.5μm、2.5μm、1.3arcsec和1.7arcsec;直线度误差测量精度优于1.9μm,角度误差测量精度优于1.6arcsec。
关键词
运动
误差
多
自由度
误差
半导体激光器
光束漂移
光斑形变
Keywords
Motion error
Multi-degree-of-freedom errors
Laser diode
Beam drift
Beam shaping
分类号
TG806 [金属学及工艺—公差测量技术]
TG659 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
六自由度测试系统
被引量:
6
2
作者
孙长库
周富强
刘越
叶声华
机构
天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第4期362-365,共4页
文摘
本文所描述的测试系统基于激光全息分光技术和激光干涉测长技术,同时测定目标物体六个自由度的偏差。采用激光漂移补偿技术建立了稳定的激光束基准,采用磁光调制技术减小光强不稳定等因素对滚转角测量精度的影响,实现了多自由度较高精度的准直。实验表明,在激光光源距靶标1m时,该系统σ重复性误差:线位移小于4μm,角位移小于4″,整个系统结构简单,测量效率高。
关键词
六
自由度
误差
全息透镜
磁光调制
干涉测长
Keywords
Six degree of freedom errors,Hololens,Magneto optic modulation,Interferometer guage measuring.
分类号
TH741.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
激光多自由度测量方法综述
被引量:
6
3
作者
冯其波
徐暘
机构
北方交通大学理学院
出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2000年第6期311-333,共23页
文摘
介绍了现有激光多自由度测量系统 ,分析了其优缺点 ,讨论了其发展趋势。
关键词
激光干涉测量技术
六
自由度
几何量
误差
数控机床
Keywords
laser interferometry
six degree of freedom geometric error
CNC machines
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
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职称材料
题名
以最小显著差数为依据确定试验规模的方法
被引量:
1
4
作者
王平
霍启光
机构
北京农学院动物科学系
中国农科院饲料所
出处
《北京农学院学报》
1998年第2期49-54,共6页
基金
"八五"国家攻关科技项目
文摘
本文介绍了以最小显著差数为依据确定试验规模的方法,每个处理内试验动物的头数由以下公式计算:
关键词
最小显著差数
饲养
动物试验规模
误差自由度
分类号
S815 [农业科学—畜牧学]
在线阅读
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
机床线性轴多自由度运动误差在线测量方法
蔡引娣
高英豪
王路辉
范光照
《航空制造技术》
CSCD
北大核心
2022
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
六自由度测试系统
孙长库
周富强
刘越
叶声华
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
激光多自由度测量方法综述
冯其波
徐暘
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2000
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
以最小显著差数为依据确定试验规模的方法
王平
霍启光
《北京农学院学报》
1998
1
在线阅读
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职称材料
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