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基于多读数头位移传感器误差自修正的研究
1
作者
王先全
赵婷婷
+2 位作者
文成杨
王恋
王培懿
《工具技术》
北大核心
2017年第11期121-126,共6页
目前栅式位移传感器主要有光栅、容栅、球栅、感应同步器、旋转变压器、时栅等,提高其精度一般通过增加栅线密度和读数头数量来实现,或者依靠高精度母仪来检测和修正误差,但是这种方式对传感器的加工和安装要求高,或者传感器精度长时间...
目前栅式位移传感器主要有光栅、容栅、球栅、感应同步器、旋转变压器、时栅等,提高其精度一般通过增加栅线密度和读数头数量来实现,或者依靠高精度母仪来检测和修正误差,但是这种方式对传感器的加工和安装要求高,或者传感器精度长时间保持性差。本文针对上述问题,提出了基于等差相位构建正交信号、实现多读数头测量、误差特征参数自辨识和误差自修正的新方法,该方法不增加加工和安装难度,定子和转子的槽数接近,多读数头有机集成在同一个定子,使读数头的一致性好。实验结果表明:基于等差相位构建多读数头误差成分少,通过多读数头误差特征参数自辨识和误差自修正后,传感器的误差可达到±1.9″。
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关键词
正
交信号
多读数头
位移传感器
误差自修正
等差相位
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职称材料
相移干涉测量中相移误差的自修正
被引量：
14
2
作者
赵智亮
夏伯才
+2 位作者
陈立华
张志华
郑万国
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第5期1116-1121,共6页
分析了相移干涉测量过程中相移误差产生的原因,研究了基于迭代最小二乘算法的相移误差修正法,实现了任意两幅干涉图间相对移相量的计算和自适应校正。基于光、机、电、算四系统,实现任意步长的3幅以上干涉图像的采集,用迭代最小二乘法...
分析了相移干涉测量过程中相移误差产生的原因,研究了基于迭代最小二乘算法的相移误差修正法,实现了任意两幅干涉图间相对移相量的计算和自适应校正。基于光、机、电、算四系统,实现任意步长的3幅以上干涉图像的采集,用迭代最小二乘法计算任意两幅干涉图间的相对移相量,然后将其闭环反馈至硬件相移系统,自动修正相移步长为给定量的特征相移值,从而完成干涉仪相移误差的自修正。构建了相移误差自校正系统,通过实际干涉测量验证了算法的正确性和相移误差自修正系统的可行性。结果表明,自适应修正后相移量相对误差<5%,面形RMS测量重复性<λ/1 000,实现了高精度、高效率的相移误差自适应修正。
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关键词
相移干涉测量
相移量计算
相移
误差
误差自修正
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职称材料
题名
基于多读数头位移传感器误差自修正的研究
1
作者
王先全
赵婷婷
文成杨
王恋
王培懿
机构
重庆理工大学
时栅传感及先进检测技术重庆重点实验室
出处
《工具技术》
北大核心
2017年第11期121-126,共6页
基金
国家自然科学基金(51275551)
重庆理工大学研究生创新基金(YCX2016216)
文摘
目前栅式位移传感器主要有光栅、容栅、球栅、感应同步器、旋转变压器、时栅等,提高其精度一般通过增加栅线密度和读数头数量来实现,或者依靠高精度母仪来检测和修正误差,但是这种方式对传感器的加工和安装要求高,或者传感器精度长时间保持性差。本文针对上述问题,提出了基于等差相位构建正交信号、实现多读数头测量、误差特征参数自辨识和误差自修正的新方法,该方法不增加加工和安装难度,定子和转子的槽数接近,多读数头有机集成在同一个定子,使读数头的一致性好。实验结果表明:基于等差相位构建多读数头误差成分少,通过多读数头误差特征参数自辨识和误差自修正后,传感器的误差可达到±1.9″。
关键词
正
交信号
多读数头
位移传感器
误差自修正
等差相位
Keywords
orthogonal signal
multi-measuring head
displacement sensor
error correction
equal difference phase
分类号
TG806 [金属学及工艺—公差测量技术]
TH712 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
相移干涉测量中相移误差的自修正
被引量：
14
2
作者
赵智亮
夏伯才
陈立华
张志华
郑万国
机构
成都精密光学工程研究中心
成都太科光电技术有限责任公司
中国工程物理研究院工学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第5期1116-1121,共6页
基金
科技型中小企业技术创新基金支持项目(No.10C26225123005)
文摘
分析了相移干涉测量过程中相移误差产生的原因,研究了基于迭代最小二乘算法的相移误差修正法,实现了任意两幅干涉图间相对移相量的计算和自适应校正。基于光、机、电、算四系统,实现任意步长的3幅以上干涉图像的采集,用迭代最小二乘法计算任意两幅干涉图间的相对移相量,然后将其闭环反馈至硬件相移系统,自动修正相移步长为给定量的特征相移值,从而完成干涉仪相移误差的自修正。构建了相移误差自校正系统,通过实际干涉测量验证了算法的正确性和相移误差自修正系统的可行性。结果表明,自适应修正后相移量相对误差<5%,面形RMS测量重复性<λ/1 000,实现了高精度、高效率的相移误差自适应修正。
关键词
相移干涉测量
相移量计算
相移
误差
误差自修正
Keywords
phase shifting interferometry
phase step calculation
phase shift error
error self-correction
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于多读数头位移传感器误差自修正的研究
王先全
赵婷婷
文成杨
王恋
王培懿
《工具技术》
北大核心
2017
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
相移干涉测量中相移误差的自修正
赵智亮
夏伯才
陈立华
张志华
郑万国
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
14
在线阅读
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职称材料
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