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回转类精密刀具制造用芯轴定位系统及周期误差移相修正研究
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作者 杜其明 骆明涛 杜庆祝 《工具技术》 2009年第12期37-39,共3页
针对齿轮滚刀这类精密回转刀具制造中,对单项误差和总误差影响极大的关键工艺系统—芯轴—顶尖的接触变形进行了分析,生产实际和分析表明回转刀具的有些误差呈周期规律,对周期性误差进行分解,初步探讨了消减低频误差分量的方法。
关键词 滚刀 芯轴-顶尖定位系统 周期误差移相修正
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基于误差函数相位偏移的电场式时栅角位移传感器自标定 被引量:1
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作者 于治成 黎自豪 +2 位作者 蒲红吉 吴昶亮 展丙男 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第18期2803-2813,共11页
比对标定对于传感器测量精度的保持和提升具有重要意义,但其易受现场环境限制,且成本昂贵。电场式时栅精度不断刷新,寻找外部参考基准也变得日益困难。针对这一难题,提出了以圆周封闭原则为基准,利用傅里叶级数的平移定律,将电场式时栅... 比对标定对于传感器测量精度的保持和提升具有重要意义,但其易受现场环境限制,且成本昂贵。电场式时栅精度不断刷新,寻找外部参考基准也变得日益困难。针对这一难题,提出了以圆周封闭原则为基准,利用傅里叶级数的平移定律,将电场式时栅的误差序列值以2π/n角位移值进行移相,利用具有不同移相次数的误差序列值进行频谱分析,互相补偿缺失的谐波分量,最终利用各次谐波分量重构传感器误差函数的自标定方法。并据此设计、搭建了相应的自标定实验平台。实验结果表明,该自标定方法对于电场式时栅角位移传感器中所包含的周期性误差补偿效果显著。对极内,使用该自标定方法与用光栅作为参考基准所获得的标定精度基本相当,两者误差为0.05",对极内误差下降67%;整周范围内,两者误差为0.15",整周误差下降80%。该自标定方法相比于传统的比对标定法在效率、应用范围及标定成本方面均拥有显著优势。 展开更多
关键词 电场式 角位传感器 自标定 误差移相 谐波分量
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斐索型球面干涉仪移相误差的探讨 被引量:5
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作者 黄深旺 陈磊 +1 位作者 陈进榜 朱日宏 《光子学报》 EI CAS CSCD 1996年第10期883-888,共6页
本文对斐索型球面干涉仪的移相原理误差进行了理论推导和计算;应用移相干涉术的三步法和五步法,分析和比较了球面移相误差对波面复原精度的影响,并给出了有关数据和曲线。最后,提出了几种减小球面测量误差的措施。
关键词 误差 波面复原误差 三步法 干涉仪
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空间移相干涉仪的移相误差分析和测试
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作者 左芬 刘兆栋 陈磊 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第S2期76-81,共6页
分析研究了一种基于二维正交光栅分光的空间移相干涉仪的移相性能,指出移相器偏振片组中偏振单元的方位角偏差将直接产生2倍的移相误差,同时干涉图的空间一致性失调也会产生一定的移相误差.在根据原理方案搭建的实验系统中,分别采用测量... 分析研究了一种基于二维正交光栅分光的空间移相干涉仪的移相性能,指出移相器偏振片组中偏振单元的方位角偏差将直接产生2倍的移相误差,同时干涉图的空间一致性失调也会产生一定的移相误差.在根据原理方案搭建的实验系统中,分别采用测量4幅干涉图的对应消光位置法,以及作出干涉图同一行的光强拟合曲线之间的李萨茹图法,来测量出干涉图之间的实际移相量.结果表明,实验系统中经过空间一致性校准的干涉图之间的移相误差在±1.2°以内. 展开更多
关键词 干涉测量 空间 误差
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白光显微干涉三维形貌测量中的移相误差校正方法 被引量:10
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作者 张超 袁群 +3 位作者 张佳乐 冀翼 高志山 闫钧华 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第7期331-338,共8页
白光显微干涉术通过驱动干涉显微物镜垂直扫描移相,采集低相干干涉图序列,定位干涉包络中的零光程差位置,获取待测表面的三维形貌。微观形貌的计算由获取粗略形貌的垂直扫描(VSI)算法和获取精细形貌的移相(PSI)算法两部分组成。通常情况... 白光显微干涉术通过驱动干涉显微物镜垂直扫描移相,采集低相干干涉图序列,定位干涉包络中的零光程差位置,获取待测表面的三维形貌。微观形貌的计算由获取粗略形貌的垂直扫描(VSI)算法和获取精细形貌的移相(PSI)算法两部分组成。通常情况下,设置垂直扫描移相的步长为八分之一中心波长,但移相器误差和干涉显微物镜数值孔径效应等都会使得移相量偏离π/2。文中采用基于对比度变化重心提取的VSI算法,4M幅法和7幅法两种PSI算法,分别讨论了两种类型移相误差对形貌计算的影响。理论和数值分析结果表明,在宽带光作用下,7幅法仍对移相误差不敏感,4M幅法产生的精细相位误差形式恰好与干涉物镜数值孔径效应对条纹展宽的影响相一致,在从精细相位转换为精细形貌时相互抵消。因而,采用基于对比度变化重心提取的VSI算法和4M幅PSI算法计算形貌数据,干涉物镜数值孔径效应造成的移相误差无影响,移相器误差造成的形貌复原误差可以通过预先测量已知高度的标准台阶进行标定去除。应用上述移相误差校正方法测量了高度为460 nm的台阶,形貌测试结果正确且鲁棒。 展开更多
关键词 误差 台阶 形貌测量 白光显微干涉
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相位偏移干涉测量波面的一种新算法 被引量:1
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作者 朱振宇 严家骅 李百源 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期282-286,291,共6页
本文分析了利用相位偏移干涉的相位计算方法对测量结果准确程度的影响 ,提出了一种利用相位偏移干涉原理测量波面的新算法 (四幅改进算法 )。考虑到移相误差是导致相位偏移干涉测量法产生误差的主要因素 ,本文着重讨论相位偏移干涉测量... 本文分析了利用相位偏移干涉的相位计算方法对测量结果准确程度的影响 ,提出了一种利用相位偏移干涉原理测量波面的新算法 (四幅改进算法 )。考虑到移相误差是导致相位偏移干涉测量法产生误差的主要因素 ,本文着重讨论相位偏移干涉测量算法对移相误差的敏感程度。根据对实验测试机构所进行的测量与分析 ,以实际的数据为基础得出在相位偏移干涉测量中新算法的优秀品质。该新算法对移相误差有良好的抑制作用 。 展开更多
关键词 位偏干涉技术 平面测量 误差 四幅改进算法
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PZT移相和CCD非线性对高精度球面面形检测的影响 被引量:2
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作者 刘勇 沈亦兵 彭建华 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期2116-2120,2127,共6页
为了提高球面面形的检测精度,对移相菲索干涉仪的球面测量方法中影响高精度球面面形检测的压电陶瓷晶体(PZT)移相误差和电荷耦合探测器(CCD)非线性误差进行探讨.通过理论分析和数值模拟的方法分别对PZT移相误差、CCD非线性误差进行具体... 为了提高球面面形的检测精度,对移相菲索干涉仪的球面测量方法中影响高精度球面面形检测的压电陶瓷晶体(PZT)移相误差和电荷耦合探测器(CCD)非线性误差进行探讨.通过理论分析和数值模拟的方法分别对PZT移相误差、CCD非线性误差进行具体分析,着重研究PZT移相误差和CCD非线性误差的综合影响.由五步移相算法,推导得出PZT和CCD的综合误差公式,对影响综合误差大小的主要因素如CCD二次非线性系数、条纹对比度和被检面曲率半径与口径的比值等进行分析.结果表明,提出的控制PZT和CCD综合误差影响的准则和相应的减小误差影响的方法,可以提高球面面形的检测精度. 展开更多
关键词 菲索干涉仪 PZT误差 CCD非线性误差 球面面形
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眼镜、放大镜、显微镜及显微术
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《中国光学》 EI CAS 1996年第4期95-95,共1页
TH742.5 96042765相移干涉显微镜中移相误差分析=Analysis ofphase-shifting error in phase-shifting in- terferometric microscope[刊,中]/丁志华,王桂华,王之江(中科院上海光机所.上海(201800))∥计量学报.—1995,16(4).
关键词 干涉显微镜 误差分析 计量学 检测精度 显微术 中科院 误差 放大镜 上海
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Performance of M-QAM, M-DPSK and M-PSK with MRC diversity in a Nakagami-m fading channel
9
作者 Alam S.M.Shamsul Alam Choi GoangSeog 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2014年第4期1347-1352,共6页
The nature of a wireless communication channel is very unpredictable. To design a good communication link, it is required to know the statistical model of the channel accurately. The average symbol error probability(A... The nature of a wireless communication channel is very unpredictable. To design a good communication link, it is required to know the statistical model of the channel accurately. The average symbol error probability(ASER) was analyzed for different modulation schemes. A unified analytical framework was presented to obtain closed-form solutions for calculating the ASER of M-ary differential phase-shift keying(M-DPSK), coherent M-ary phase-shift keying(M-PSK), and quadrature amplitude modulation(QAM) over single or multiple Nakagami-m fading channels. Moreover, the ASER was estimated and evaluated by using the maximal ratio-combining(MRC) diversity technique. Simulation results show that an error rate of the fading channel typically depends on Nakagami parameters(m), space diversity(N), and symbol rate(M). A comparison between M-PSK, M-DPSK, and M-QAM modulation schemes was shown, and the results prove that M-ary QAM(M-QAM) demonstrates better performance compared to M-DPSK and M-PSK under all fading and non-fading conditions. 展开更多
关键词 M-ary differential phase-shift keying(M-DPSK) M-ary phase shift keying(M-PSK) Nakagami-m fading channel probability density function(PDF) symbol error rate(SER) M-ary quadrature amplitude modulation(M-QAM)
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