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激光直写中误差校正迭代方法的改进(英文)
被引量：
1
1
作者
张山
谭久彬
+1 位作者
王雷
程陶
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期317-325,共9页
为了进一步校正激光直写中的邻近效应,对误差校正迭代方法进行了完善。用虚拟的高分辨力声光调制器对直写图案进行校正,然后将曝光量数据转换圆整为低分辨力声光调制器对应的曝光量数据,消除了低分辨力声光调制器校正直写图案时出现的...
为了进一步校正激光直写中的邻近效应,对误差校正迭代方法进行了完善。用虚拟的高分辨力声光调制器对直写图案进行校正,然后将曝光量数据转换圆整为低分辨力声光调制器对应的曝光量数据,消除了低分辨力声光调制器校正直写图案时出现的退化现象;调制各误差区域重心最邻近光点的曝光量,以整体图案误差最小为判断标准进行串行寻优,解决了当被调制光点附近的图案正、负误差个数相等时无法进一步校正的问题。以无心方框图为例进行的仿真实验表明,使用低分辨力声光调制器时,改进的误差校正迭代方法能用于校正邻近效应,校正后图案误差相对原始误差减小了91.78%;使用高分辨力声光调制器时,图案误差相对原始误差减小了92.32%,继续应用本文方法校正后,图案误差相对原始误差可又减小1%。
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关键词
激光直写
邻近效应
误差校正迭代法
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职称材料
题名
激光直写中误差校正迭代方法的改进(英文)
被引量：
1
1
作者
张山
谭久彬
王雷
程陶
机构
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期317-325,共9页
基金
Supported by National Natural Science Foundation of China(Grant No.50675052)
文摘
为了进一步校正激光直写中的邻近效应,对误差校正迭代方法进行了完善。用虚拟的高分辨力声光调制器对直写图案进行校正,然后将曝光量数据转换圆整为低分辨力声光调制器对应的曝光量数据,消除了低分辨力声光调制器校正直写图案时出现的退化现象;调制各误差区域重心最邻近光点的曝光量,以整体图案误差最小为判断标准进行串行寻优,解决了当被调制光点附近的图案正、负误差个数相等时无法进一步校正的问题。以无心方框图为例进行的仿真实验表明,使用低分辨力声光调制器时,改进的误差校正迭代方法能用于校正邻近效应,校正后图案误差相对原始误差减小了91.78%;使用高分辨力声光调制器时,图案误差相对原始误差减小了92.32%,继续应用本文方法校正后,图案误差相对原始误差可又减小1%。
关键词
激光直写
邻近效应
误差校正迭代法
Keywords
laser direct writing
optical proximity effect
Iterative Error-Correction Method（IECM）
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
激光直写中误差校正迭代方法的改进(英文)
张山
谭久彬
王雷
程陶
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
1
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参考文献
引证文献
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