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计量型激光椭偏仪初始入射角校准方法的研究
被引量：
5
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作者
黎雄威
李琪
+5 位作者
纪峰
李适
李伟
黄鹭
施玉书
皮磊
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022年第5期571-577,共7页
为保证计量型激光椭偏仪测量结果的准确性,研究了一种初始入射角校准方法,通过线性位移台带动CCD相机进行一维运动,其运动轴作为空间线性辅助参考量,实现了椭偏仪的入射激光光轴与自准直仪光轴的90°校准。结果表明:采用该方法校准...
为保证计量型激光椭偏仪测量结果的准确性,研究了一种初始入射角校准方法,通过线性位移台带动CCD相机进行一维运动,其运动轴作为空间线性辅助参考量,实现了椭偏仪的入射激光光轴与自准直仪光轴的90°校准。结果表明:采用该方法校准计量型激光椭偏仪的初始入射角,光轴俯仰角偏差<0.05°,偏摆角偏差<0.09°;校准后,对标称值为102.10 nm的Si上SiO_(2)膜厚标准片进行测量,示值误差<0.4 nm,提升了计量型激光椭偏仪测量校准服务的准确性。
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关键词
计量
学
计量型激光椭偏仪
椭
偏
测量
初始入射角
校准
微纳米薄膜
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职称材料
题名
计量型激光椭偏仪初始入射角校准方法的研究
被引量：
5
1
作者
黎雄威
李琪
纪峰
李适
李伟
黄鹭
施玉书
皮磊
机构
合肥工业大学测量理论与精密仪器安徽省重点实验室
中国计量科学研究院
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022年第5期571-577,共7页
基金
国家质量基础的共性技术研究与应用(2017YFF0204705)。
文摘
为保证计量型激光椭偏仪测量结果的准确性,研究了一种初始入射角校准方法,通过线性位移台带动CCD相机进行一维运动,其运动轴作为空间线性辅助参考量,实现了椭偏仪的入射激光光轴与自准直仪光轴的90°校准。结果表明:采用该方法校准计量型激光椭偏仪的初始入射角,光轴俯仰角偏差<0.05°,偏摆角偏差<0.09°;校准后,对标称值为102.10 nm的Si上SiO_(2)膜厚标准片进行测量,示值误差<0.4 nm,提升了计量型激光椭偏仪测量校准服务的准确性。
关键词
计量
学
计量型激光椭偏仪
椭
偏
测量
初始入射角
校准
微纳米薄膜
Keywords
metrology
metrology laser ellipsometer
ellipsometry
initial incident angle
calibration
micro-nano film
分类号
TB922 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
计量型激光椭偏仪初始入射角校准方法的研究
黎雄威
李琪
纪峰
李适
李伟
黄鹭
施玉书
皮磊
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022
5
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