计量型扫描电子显微镜测控系统研究 被引量：2

1

作者 张瑞军 高思田 +3 位作者 李伟 陈本永 施玉书 李琪 《计量学报》 CSCD 北大核心 2016年第5期457-461,共5页

为了解决扫描电子显微镜（SEM）在100nm以下的微纳几何结构尺寸精确测量方面的不足，实现SEM测量值的量值传递与溯源，研制了一套计量型SEM测控系统。该系统主要由位移台运动控制模块、激光干涉位移测量模块和图像采集与处理模块组成，... 为了解决扫描电子显微镜（SEM）在100nm以下的微纳几何结构尺寸精确测量方面的不足，实现SEM测量值的量值传递与溯源，研制了一套计量型SEM测控系统。该系统主要由位移台运动控制模块、激光干涉位移测量模块和图像采集与处理模块组成，基于LabVIEW图形编程语言开发了测控系统上位机软件。对1μm×1μm二维栅格样品进行尺寸测量实验，结果表明，该计量型SEM测控系统运行稳定可靠，且在10μm测量范围内的测量值示值误差优于10nm。 展开更多

关键词 计量学 计量型扫描电子显微镜 量值溯源 运动控制模块 激光外差干涉 图像采集与处理 LabVIEW

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计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动 被引量：2

2

作者 杜晨辉 龚亮 +3 位作者 蔡小勇 殷伯华 江潮 安立宝 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期860-867,共8页

为提高计量型扫描电镜位移系统的稳定性及测量精度,对位移系统中的机械位移台进行仿真分析,获取相关振动参数。依据机械位移台工况建立模型,运用有限元方法对它进行静力及模态分析,获取机械位移台系统结构的振动参数;在模态分析的基础... 为提高计量型扫描电镜位移系统的稳定性及测量精度,对位移系统中的机械位移台进行仿真分析,获取相关振动参数。依据机械位移台工况建立模型,运用有限元方法对它进行静力及模态分析,获取机械位移台系统结构的振动参数;在模态分析的基础上对机械位移台进行谐响应分析,获取外界载荷频率与位移台上平面应力、应变、变形以及加速度之间的关系。机械位移台的静刚度为6.634×10~5 N/mm;水平X,Z两运动方向的耦合比分别为15.22%和17.63%;通过上层平面振动参数关于频率的响应曲线,得出危险频率为7 750Hz左右,即第8阶固有模态下的频率。X,Z两运动方向耦合较为明显,在对机械位移台进一步改进中,避开危险频率的同时,需对其进行位移补偿。 展开更多

关键词 计量型扫描电子显微镜 微位移台 振动 耦合位移 有限元分析

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浮雕型全息图复制镍版的扫描电子显微镜观察 被引量：1

3

作者 古平北 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 1995年第2期46-48,共3页

本文介绍复制镍版表面扫描电镜观察的结果，记录有全息图的光刻胶金属化的方法是影响全息图复制质量的关键。从复制效果看，化学喷镀镍比化学喷镀银好。

关键词 浮雕型 全息图 复制镍版 扫描电子显微镜

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利用一维光栅标样校准扫描电子显微镜方法的研究 被引量：6

4

作者 钱进 石春英 +4 位作者 谭慧萍 刘忠有 陈方毓 陈晓霞 黄晓蓉 《计量学报》 CSCD 北大核心 2010年第4期299-302,共4页

提出了扫描电子显微镜量值溯源的测量方法，对3种类型的10台电镜进行了比对实验。实验数据溯源于国家长度基准。比对实验选取显微镜的放大倍数分别为2000×、5000×、10000×、20000×和50000×所对应的标尺作为测... 提出了扫描电子显微镜量值溯源的测量方法，对3种类型的10台电镜进行了比对实验。实验数据溯源于国家长度基准。比对实验选取显微镜的放大倍数分别为2000×、5000×、10000×、20000×和50000×所对应的标尺作为测量对象。实验结果表明，有8台扫描电镜的标尺的准确度在5％的范围内与标准值符合，其余2台在6．5％的范围内与标准值符合。 展开更多

关键词 计量学 扫描电子显微镜 纳米光栅 线距标准装置 一维光栅 长度基准

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用扫描电子显微镜观测聚丙烯酰胺与悬浮介质结合的表面结构 被引量：1

5

作者 王萍 《石油化工》 CAS CSCD 北大核心 1995年第6期418-421,共4页

研究了聚丙烯酰胺（ＰＡＭ）絮凝机理与微观结构。用扫描电子显微镜观测了ＰＡＭ的絮凝过程。ＰＡＭ既显示出高分子的网状结构，也显示出本身特有的线性伸展的长链。ＰＡＭ的水解度由１０％－２０％变化时，ＰＡＭ特有的线性长链结构减... 研究了聚丙烯酰胺（ＰＡＭ）絮凝机理与微观结构。用扫描电子显微镜观测了ＰＡＭ的絮凝过程。ＰＡＭ既显示出高分子的网状结构，也显示出本身特有的线性伸展的长链。ＰＡＭ的水解度由１０％－２０％变化时，ＰＡＭ特有的线性长链结构减少，絮凝效果下降。探讨了ＰＡＭ表面结构的变化对絮凝作用的影响。 展开更多

关键词 扫描电子显微镜 测定 聚丙烯胺 水解型

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用于扫描电子显微镜校准的10μm格栅样板 被引量：3

6

作者 张晓东 赵琳 +3 位作者 李锁印 韩志国 许晓青 吴爱华 《计量学报》 CSCD 北大核心 2022年第12期1544-1548,共5页

扫描电子显微镜是半导体领域用于关键尺寸测量的重要仪器。为了保证仪器量值的准确和一致,需要对扫描电子显微镜进行校准。首先,针对校准规范中提到的正交畸变和线性失真度参数,采用半导体工艺,研制了一种标称值为10μm的格栅样板。其次... 扫描电子显微镜是半导体领域用于关键尺寸测量的重要仪器。为了保证仪器量值的准确和一致,需要对扫描电子显微镜进行校准。首先,针对校准规范中提到的正交畸变和线性失真度参数,采用半导体工艺,研制了一种标称值为10μm的格栅样板。其次,为了准确评价格栅特征的一致性,研究了一种矩形检测算法。测量过程中,使用该算法对样板的格栅特征进行测量,并把使用原子力显微镜获取的测量数据作为参考值。实验结果显示:矩形检测算法能够快速检测出格栅特征,测试数据稳定在6 nm以内。此外,研制的格栅样板一致性好,一致性参数控制在0.2以内,能够应用于扫描电子显微镜的校准。 展开更多

关键词 计量学 格栅样板 扫描电子显微镜 矩形检测算法 原子力显微镜 校准

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P2型钠离子电池正极材料Na_(0.66)Mn_(0.675)Ni_(0.1625)Co_(0.1625)O_2的表面重构及其演变的电子显微表征 被引量：2

7

作者 黄威 邬春阳 +2 位作者 曾跃武 金传洪 张泽 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2016年第6期1489-1494,共6页

采用球差校正扫描透射电子显微镜(STEM)、X射线能谱(EDS)等分析手段表征了高温固相法合成的Na_(0.66)Mn_(0.675)Ni_(0.1625)Co_(0.1625)O_2钠离子过渡金属氧化物正极材料。X射线衍射(XRD)结果表明该材料为结晶性良好的P2型钠离子层状氧... 采用球差校正扫描透射电子显微镜(STEM)、X射线能谱(EDS)等分析手段表征了高温固相法合成的Na_(0.66)Mn_(0.675)Ni_(0.1625)Co_(0.1625)O_2钠离子过渡金属氧化物正极材料。X射线衍射(XRD)结果表明该材料为结晶性良好的P2型钠离子层状氧化物(P6_3/mmc)。原子尺度的结构与成分分析显示材料表面存在宽度约为1-2 nm的表面重构层,重构区域内存在大量晶格畸变与反位缺陷,并伴有一定程度的成分偏析——表面富钴(Co)、缺镍(Ni)。进一步研究表明这些表面重构区域在时效过程中会发生明显的"退化",即初始表面重构层宽度会进一步扩展至5-10 nm,部分区域钠离子耗尽,由层状结构转变为尖晶石(Spinel,Fdm)与岩盐相(rocksalt,Fmm)共存的结构。 展开更多

关键词 钠离子电池 P2型层状正极材料 表面重构 扫描透射电子显微镜

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日立X-650型扫描电镜故障维修一例

8

作者 崔新明 潘力 +2 位作者 李艳茹 陈杰 崔丽 《电子显微学报》 CAS CSCD 2006年第B08期209-209,共1页

关键词 日本日立公司 故障维修 扫描电镜 650型 扫描电子显微镜 技术人员 维修经验 使用率

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DSM—950型扫描电镜维修实例

9

作者 胡天义 沈既武 《电子显微学报》 CAS CSCD 1994年第2期154-155,共2页

ＤＳＭ—９５０型扫描电镜维修实例胡天义，沈既武（湖北大学实验中心，武汉４３００６２）我校一台法国ＯＰＴＯＮ公司出产的ＤＳＭ—９５０型数字式扫描电子显微镜，从１９８８年４月安装交付使用至今，陆续出现了多次较为严重的故障... ＤＳＭ—９５０型扫描电镜维修实例胡天义，沈既武（湖北大学实验中心，武汉４３００６２）我校一台法国ＯＰＴＯＮ公司出产的ＤＳＭ—９５０型数字式扫描电子显微镜，从１９８８年４月安装交付使用至今，陆续出现了多次较为严重的故障，造成仪器不能使用。经过我们仔细检... 展开更多

关键词 电子显微镜 扫描电镜 维修 DSM-950型

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工业型煤热稳定性形成机理的实验研究 被引量：4

10

作者 张传祥 谌伦建 +1 位作者 王永建 柴一言 《煤炭学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期184-187,共4页

型煤的热稳定性是影响型煤造气的关键因素 ,提高型煤的热稳定性是型煤技术转化为生产力需要迫切解决的问题 .采用型煤热稳定性测定装置对济源、阳城两种无烟煤及加工成的型煤进行热稳定性测试 ,并用S - 5 2 0型扫描电子显微镜观察型煤... 型煤的热稳定性是影响型煤造气的关键因素 ,提高型煤的热稳定性是型煤技术转化为生产力需要迫切解决的问题 .采用型煤热稳定性测定装置对济源、阳城两种无烟煤及加工成的型煤进行热稳定性测试 ,并用S - 5 2 0型扫描电子显微镜观察型煤残焦的微观结构 。 展开更多

关键词 工业造气型煤 热稳定性 微观结构 黏结剂 S-520型 扫描电子显微镜

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白菜型油菜与海甘蓝属间杂交时花粉与柱头相互作用 被引量：2

11

作者 汤天泽 税红霞 +6 位作者 牛应泽 蒙大庆 李芝凡 胥岚 范其新 陈军 刘念 《四川农业大学学报》 CSCD 北大核心 2010年第4期459-462,共4页

采用不同化学药物处理柱头,研究白菜型油菜与海甘蓝属间杂交花粉与柱头的相互作用,利用扫描电镜观察海甘蓝花粉在雅安黄油菜柱头上的黏合与萌发过程。结果表明:赤霉素在促进花粉萌发方面效果明显,在一定程度上能克服属间杂交不亲和;甘... 采用不同化学药物处理柱头,研究白菜型油菜与海甘蓝属间杂交花粉与柱头的相互作用,利用扫描电镜观察海甘蓝花粉在雅安黄油菜柱头上的黏合与萌发过程。结果表明:赤霉素在促进花粉萌发方面效果明显,在一定程度上能克服属间杂交不亲和;甘氨酸在促进花粉与柱头的黏合方面效果明显。 展开更多

关键词 白菜型油菜 海甘蓝 属间杂交 赤霉素 甘氨酸 扫描电子显微镜

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沸石分子筛转晶的研究——4A转晶为NaY型沸石的机理 被引量：1

12

作者 须沁华 鲍书林 董家騄 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS 1982年第1期13-18,共6页

采用扫描电子显微镜、X-光衍射分析和高真空苯吸附量的测定等方法,研究了在一定的化学环境下沸石分子筛的介稳状态;探讨了不同转晶条件对沸石重新晶化的影响;分别研究了在Y型、AG_(4)型或Ω型沸石的合成条件下,加入其它型号的沸石转变为... 采用扫描电子显微镜、X-光衍射分析和高真空苯吸附量的测定等方法,研究了在一定的化学环境下沸石分子筛的介稳状态;探讨了不同转晶条件对沸石重新晶化的影响;分别研究了在Y型、AG_(4)型或Ω型沸石的合成条件下,加入其它型号的沸石转变为Y型、AG_(4)或Ω型沸石的过程;并研完了在Y型沸石合成的化学环境下,A型沸石向Y型沸石转变的过程,并探讨其机理。 展开更多

关键词 沸石分子筛 Y型沸石 扫描电子显微镜 A型沸石 转晶 高真空 介稳状态

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膨胀型阻燃剂b-MAP对聚丙烯阻燃性能的显微学研究 被引量：5

13

作者 周箭 杨辉 陈日新 《塑料工业》 CAS CSCD 北大核心 2005年第B05期159-161,共3页

膨胀型阻燃剂b -MAP与聚丙烯的相容性良好,2 5%的b MAP的添加量可以使聚丙烯UL94阻燃等级达V0级,极限氧指数为2 9.0 %。通过扫描电子显微镜对b- MAP/PP复合材料燃烧后的膨胀炭层结构进行观察,发现膨胀炭层外部堆叠紧密,内部充斥着不燃... 膨胀型阻燃剂b -MAP与聚丙烯的相容性良好,2 5%的b MAP的添加量可以使聚丙烯UL94阻燃等级达V0级,极限氧指数为2 9.0 %。通过扫描电子显微镜对b- MAP/PP复合材料燃烧后的膨胀炭层结构进行观察,发现膨胀炭层外部堆叠紧密,内部充斥着不燃性气体氨气,此种形貌结构有效地阻止了氧气和热量的透入,从而阻止材料进一步燃烧。 展开更多

关键词 膨胀型阻燃剂 聚丙烯 阻燃性能 显微学 MAP 扫描电子显微镜 PP复合材料 极限氧指数 形貌结构 相容性 添加量 层结构 不燃性 燃烧 炭层 气体 氧气

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利用SEM对钛菁钴的晶型特性及其转变的研究

14

作者 于长华 段武彪 +3 位作者 陈鹏刚 历荣 田国辉 刘宝珠 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期560-561,共2页

关键词 SEM 扫描电子显微镜 钛菁钴 晶型特性 共轭体系 大环金属配合物 骨架结构

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梨小食心虫触角感受器雌雄二型的超微研究 被引量：10

15

作者 郭永福 王怡 +2 位作者 孔维娜 柴晓晗 马瑞燕 《环境昆虫学报》 CSCD 北大核心 2018年第4期950-957,共8页

梨小食心虫是果树上的一种重要害虫。本文采用扫描电子显微镜技术(SEM)对成虫离体触角外部形态进行观察,以Onagbola和Fadamiro(2008)为分类标准,对梨小食心虫的触角感受器重新进行分类。结果显示,梨小食心虫触角为线状,由柄节、梗节和... 梨小食心虫是果树上的一种重要害虫。本文采用扫描电子显微镜技术(SEM)对成虫离体触角外部形态进行观察,以Onagbola和Fadamiro(2008)为分类标准,对梨小食心虫的触角感受器重新进行分类。结果显示,梨小食心虫触角为线状,由柄节、梗节和鞭节构成,鞭节细分为38-45个亚节。雌、雄蛾共有8种触角感受器,分别为无孔栓锥形感受器、无孔B9hm's鬃毛、单孔刺形感受器、多孔毛形感受器、多孔锥形感受器、多孔腔锥形感受器、多孔耳形感受器和芽孢形感受器(只在雌蛾触角上观察到)。感受器在类型、形态和数量上存在雌雄二型现象。耳形感受器数量在雌雄间差异显著,雌雄蛾刺形感受器、栓锥形感受器、毛形感受器、锥形感受器、腔锥形感受器长度差异显著,并对其功能进行了推测。 展开更多

关键词 梨小食心虫 触角感受器 雌雄二型 扫描电子显微镜

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扫描电镜纳米颗粒粒径自动检测算法 被引量：3

16

作者 王智 李琪 +3 位作者 黄鹭 高思田 孙淼 董明利 《计量学报》 CSCD 北大核心 2020年第10期1199-1204,共6页

基于数学几何学,提出一种扫描电镜纳米颗粒粒径自动检测方法,该方法利用电镜颗粒图像的粒径分布及形状信息,采用长短轴比值和区域面积2种不同参数对颗粒是否团簇或残缺进行判断,实现筛选单个的完整颗粒,并使用MATLAB对不同粒径参数的颗... 基于数学几何学,提出一种扫描电镜纳米颗粒粒径自动检测方法,该方法利用电镜颗粒图像的粒径分布及形状信息,采用长短轴比值和区域面积2种不同参数对颗粒是否团簇或残缺进行判断,实现筛选单个的完整颗粒,并使用MATLAB对不同粒径参数的颗粒宽边缘形状进行提取,运用最小二乘法求出颗粒粒径的像素值,经转化后得到真实值,从而实现了微纳米颗粒粒径的自动检测。试验选取聚苯乙烯纳米颗粒对方法进行验证,结果表明:对于团簇残缺较少的图像,采用长短轴比值和面积2种参数进行筛选均能准确有效提取单点颗粒,但团簇残缺颗粒较多时,采用长短轴比值效果更加准确,且计算颗粒粒径与实际值吻合良好。 展开更多

关键词 计量学 粒径测量 纳米颗粒 扫描电子显微镜 长短轴比

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膨胀型阻燃剂在聚丙烯中的应用 被引量：9

17

作者 吕海波 孙伟 +2 位作者 邱丽萍 张德英 孙玉梅 《合成树脂及塑料》 EI CAS 北大核心 2005年第3期36-39,共4页

对自制的膨胀型阻燃剂(IFR)进行了颅处理并添加了协效阻燃剂等助剂,形成一种高效的膨胀型阻燃体系。通过氧指数、热重分析和扫描电子显微镜等检测手段,考察了该阻燃体系的阻燃性能和添加量、IER、硼酸锌和其他助剂最佳质量比为25∶2∶2... 对自制的膨胀型阻燃剂(IFR)进行了颅处理并添加了协效阻燃剂等助剂,形成一种高效的膨胀型阻燃体系。通过氧指数、热重分析和扫描电子显微镜等检测手段,考察了该阻燃体系的阻燃性能和添加量、IER、硼酸锌和其他助剂最佳质量比为25∶2∶2。改进后的膨胀型阻燃体系用于聚丙烯,不仅阻燃性能优良,同时还具有较好的力学性能。 展开更多

关键词 膨胀型阻燃剂 聚丙烯 膨胀型阻燃体系 扫描电子显微镜 应用 阻燃性能 检测手段 热重分析 力学性能 预处理 氧指数 添加量 IFR 质量比 硼酸锌 助剂

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Ⅳ型储氢瓶PE-HD内胆热熔焊接工艺及性能评价 被引量：4

18

作者 袁卓伟 杨明高 +3 位作者 刘龚涵 马艺涛 肖剑 谢鹏程 《中国塑料》 CAS CSCD 北大核心 2023年第7期74-79,共6页

采用注塑、挤出再焊接的分体成型工艺,有效降低了内胆一次成型的难度。通过热熔焊接实验,研究了加热温度、焊接时间、单位面积焊接压力对焊接性能的影响构效。测试了焊接样条的拉伸性能和冲击性能,并使用扫描电子显微镜对样条焊缝的微... 采用注塑、挤出再焊接的分体成型工艺,有效降低了内胆一次成型的难度。通过热熔焊接实验,研究了加热温度、焊接时间、单位面积焊接压力对焊接性能的影响构效。测试了焊接样条的拉伸性能和冲击性能,并使用扫描电子显微镜对样条焊缝的微观结构进行观察。结果表明,塑性断裂是焊缝失效的主要形式,焊接样条的拉伸强度与母材一致,冲击强度有所提升。实验获得了最佳的焊接工艺参数,加热温度为240°C、焊接时间为60 s以及单位面积焊接压力为0.10 N/mm^(2),该工艺条件下制得的焊缝力学性能最佳。 展开更多

关键词 Ⅳ型储氢气瓶 热熔焊接 单因素实验 力学性能测试 扫描电子显微镜分析

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大尺寸航空发动机叶片的高效型面检测方法 被引量：13

19

作者 史建华 刘盼 《计量学报》 CSCD 北大核心 2018年第5期605-608,共4页

介绍了一种基于三坐标测量机的高效型面检测方法。在传统叶片型面测量方法基础上,优化了传统扫描路径,提出了分区域、曲率自适应变速扫描方法,有效地解决了大尺寸叶片传统测量方法中频繁更换测针的问题。研究了一种过度扫描策略,通过高... 介绍了一种基于三坐标测量机的高效型面检测方法。在传统叶片型面测量方法基础上,优化了传统扫描路径,提出了分区域、曲率自适应变速扫描方法,有效地解决了大尺寸叶片传统测量方法中频繁更换测针的问题。研究了一种过度扫描策略,通过高级编程对采集数据进行滤波,并采用数学拼接的方法得到完整叶型封闭曲线,用来分析叶片的几何参数。提出的大尺寸叶片检测方法在保证检测精度的同时,提高约40%的检测效率,并完善了传统检测方法叶型曲线不完整的问题。 展开更多

关键词 计量学 型面检测 发动机叶片 分区域扫描法 曲率自适应变速扫描 过度扫描策略 检测效率

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光导型碲镉汞红外器件的曲面延伸电极工艺评价

20

作者 钱大憨 贾嘉 +4 位作者 陈昱 王韡 汤亦聃 朱龙源 李向阳 《红外技术》 CSCD 北大核心 2011年第6期328-331,344,共5页

制备了一种带有曲面延伸电极结构的碲镉汞光导型红外探测器,对曲面延伸电极的抗低温冲击能力进行了研究,在9次的液氮直接冲击下曲面延伸电极完好,器件电阻无大变化。通过扫描电子显微镜(SEM)对曲面延伸电极的台阶侧面微观形貌进行观察,... 制备了一种带有曲面延伸电极结构的碲镉汞光导型红外探测器,对曲面延伸电极的抗低温冲击能力进行了研究,在9次的液氮直接冲击下曲面延伸电极完好,器件电阻无大变化。通过扫描电子显微镜(SEM)对曲面延伸电极的台阶侧面微观形貌进行观察,发现在延伸台阶的侧面有孔洞出现。通过改进镀膜工艺,延伸台阶侧面的金属薄膜致密无孔洞。这表明宏观的电阻表征对微观缺陷不敏感,对电极可靠性的表征要结合微观形貌表征进行;同时适当的薄膜制备条件可以使大台阶侧面获得致密的金属薄膜,从而获得良好的台阶覆盖性。 展开更多

关键词 曲面延伸电极 光导型碲镉汞红外探测器 电阻表征 扫描电子显微镜 微观形貌

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