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题名计量圆光栅的制作工艺及质量参数研究
被引量：8
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作者
陈赟
李艳茹
张红胜
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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出处
《长春理工大学学报（自然科学版）》
2012年第3期40-43,共4页
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基金
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所三期创新(Y00332H100)
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文摘
计量圆光栅是光电编码器中的核心元件,它的精度直接影响光电编码器的精度,因此,制作出高精度的计量圆光栅是研制高精度光电编码器的前提。详细介绍了计量圆光栅的制作工艺和衡量计量圆光栅质量的参数,并通过实验对计量圆光栅的制作工艺和质量参数进行了对比,为设计高精度角度传感器提供了一定的理论参考。
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关键词
计量圆光栅
制作工艺
刻划精度
均匀性
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Keywords
metrology circular grating
fabrication technology
photolithography precision
accuracy
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分类号
TH741.6
[机械工程—光学工程]
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题名液态油墨制作计量圆光栅的研究
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作者
李艳茹
陈赟
张红胜
王晓峰
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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出处
《长春理工大学学报（自然科学版）》
2012年第3期44-46,共3页
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基金
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所三期创新(Y00332H100)
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文摘
液态油墨又称液态感光油墨,是一种特殊的紫外油墨,通过紫外曝光后固化,和玻璃、金属、塑料薄膜等材料有较好的附着力和牢固度,广泛应用于高精密度电路板、多层板电路的内层蚀刻、各种精密金属标牌腐蚀与电镀印制工艺等行业。但它直接用于制作计量圆光栅未见报道,通过对液态油墨复制工艺的研究,及计量圆光栅制作工艺的对比,详细介绍了液态油墨制作计量圆光栅的制作工艺,试验证明液态油墨制作计量圆光栅是可行的。
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关键词
液态油墨
计量圆光栅
制作工艺
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Keywords
liquid ink
melrology circular grating
fabrication technology
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分类号
TH741.6
[机械工程—光学工程]
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题名大尺寸玻璃网格板制作工艺的研究
- 3
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作者
陈赟
张红胜
李艳茹
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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出处
《长春理工大学学报（自然科学版）》
2013年第1期10-12,共3页
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基金
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所三期创新项目(Y00332H100)
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文摘
玻璃网格板是一种相互垂直的纵、横刻线的二维线纹标准器,用来检测航测仪器、遥感仪器和各类二维坐标测量仪器的精度,因此,它的精度直接影响待检仪器的精度。结合计量圆光栅的制作工艺,详细介绍了基于光刻胶的玻璃网格板新型制作工艺,检验结果表明该种工艺制作的玻璃网格板线条均匀,280mm内刻线间距精度小于1μm。
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关键词
玻璃网格板
计量圆光栅
制作工艺
光刻胶
刻线间距
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Keywords
glass grid board
metrology circular grating
fabrication technology
photo-resist
interval between scribed lines
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分类号
V261.4
[航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]
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