计量光栅信号质量综合评价系统 被引量：9

1

作者 李红军 吴凡 刘恩海 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期35-38,共4页

光电轴角编码器中的莫尔条纹信号质量决定了整个系统的细分精度。计量光栅信号质量综合评价系统由编码器、数据采集卡和相应的软件组成,采用一种以莫尔信号离散采集和数据处理为主的数字化检测方法,实现对莫尔条纹信号质量各项指标的评... 光电轴角编码器中的莫尔条纹信号质量决定了整个系统的细分精度。计量光栅信号质量综合评价系统由编码器、数据采集卡和相应的软件组成,采用一种以莫尔信号离散采集和数据处理为主的数字化检测方法,实现对莫尔条纹信号质量各项指标的评价,对提高测量精度以及光栅系统的设计具有一定意义。 展开更多

关键词 光栅信号 质量 莫尔条纹 谐波分析 轴角编码器 计量光栅 传感器

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计量光栅空间位姿参数光场输出模型与仿真 被引量：2

2

作者 胡毅 费业泰 叶斯然 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期71-77,共7页

光栅安装或应用过程中光栅传感器指示光栅、标尺光栅相互位置发生改变,导致莫尔条纹发生畸变,直接影响着测量精度和后续处理系统的复杂程度。本文采用傅里叶频谱分析方法,建立包含指示光栅、标尺光栅位置姿态参数的光场输出模型,给出了... 光栅安装或应用过程中光栅传感器指示光栅、标尺光栅相互位置发生改变,导致莫尔条纹发生畸变,直接影响着测量精度和后续处理系统的复杂程度。本文采用傅里叶频谱分析方法,建立包含指示光栅、标尺光栅位置姿态参数的光场输出模型,给出了两栅不平行时输出光场的数学表达式,对主要影响因子进行了较详细的分析,并在Matlab中进行了仿真,给出了不同安装偏角下的莫尔条纹误差值及变化趋势,讨论了接收传感器的结构尺寸对测量结果的影响,得出了与莫尔条纹同尺度的接收系统有最小的测量误差,其结果对光栅副的精度设计和结构设计有较好的指导性。 展开更多

关键词 计量光栅 不平行 光场强度 仿真

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计量光栅辨向技术 被引量：1

3

作者 李怀琼 崔骥 《光电子技术》 CAS 1999年第4期261-264,共4页

提出了一种新的辩向技术，即在传统的用硬件实现对整周期信号进行辩向的基础上，采用软件的方法，对转动不超过一周期的信号进行辩向，以实现对计量光栅相对移动量的整周期和不足一周期的数的精确计数。

关键词 计量光栅 辨向 莫尔条纹 软件 相对移动

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曝光量对计量光栅均匀性的影响 被引量：4

4

作者 陈赟 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2005年第3期117-119,共3页

根据光栅的透射特性和曝光及显影机理,对曝光量以及计量光栅线条的黑白比和其均匀性之间的内在关系进行了分析,从理论上给出了曝光量对线条黑白比以及线条黑白比和曝光量对计量光栅均匀性的影响,为提高计量光栅的均匀性给出了理论指导... 根据光栅的透射特性和曝光及显影机理,对曝光量以及计量光栅线条的黑白比和其均匀性之间的内在关系进行了分析,从理论上给出了曝光量对线条黑白比以及线条黑白比和曝光量对计量光栅均匀性的影响,为提高计量光栅的均匀性给出了理论指导。本文给出了保持曝光量均匀的措施,实验证明,改进后刻制出的计量光栅的均匀性误差较小。 展开更多

关键词 计量光栅 曝光量 黑白比 均匀性

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计量光栅均匀性误差的研究 被引量：2

5

作者 董连和 车英 《长春光学精密机械学院学报》 1997年第1期21-24,共4页

本文对计量光栅制造工艺中，易引起均匀性误差的主要因素进行了分析讨论，并提出了相应控制措施。

关键词 计量光栅 均匀性误差 曝光均匀性 刻划精度

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基于CCD视频采集的计量光栅技术

6

作者 张静亚 《常熟理工学院学报》 2009年第4期78-81,共4页

介绍了一种基于CCD的计量光栅技术,建立了微距测量系统.系统由CCD摄像头采集双光栅干涉产生的莫尔条纹信号,采用视频采集卡对CCD摄像头输出的标准模拟视频信号进行A/D转换,并通过PCI接口传输到计算机,最后由计算机编写VC++上位机程序实... 介绍了一种基于CCD的计量光栅技术,建立了微距测量系统.系统由CCD摄像头采集双光栅干涉产生的莫尔条纹信号,采用视频采集卡对CCD摄像头输出的标准模拟视频信号进行A/D转换,并通过PCI接口传输到计算机,最后由计算机编写VC++上位机程序实现条纹的接收、显示和软件自动计数,并通过软件细分技术提高测量精度.经实验验证,该系统结构简单、运行稳健可靠. 展开更多

关键词 计量光栅 莫尔条纹 视频采集

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光谱法测试计量光栅参数 被引量：1

7

作者 谢红 曹向群 《浙江大学学报（自然科学版）》 CSCD 1991年第5期570-576,共7页

本文阐述光谱法测试计量光栅参数的方法,借助于测量计量光栅的功率谱强度及其相应量来推算光栅的栅距,振幅透过率分布及光栅开口比等一些光栅元件的重要参数,为研究光栅质量提供了部分依据。

关键词 光谱法 测量 莫尔测试 计量光栅

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电解加工对金属计量光栅表面粗糙度影响的研究

8

作者 王晓峰 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2012年第3期47-49,共3页

金属计量光栅通常采用电解加工的方式制作,由于具有传统K9玻璃、浮法玻璃和树脂基片等不可替代的优势,以其100%的透过率,和抗震、防尘、耐高温、耐腐蚀、重量轻的特性,被广泛应用在矿业、冶金、建材、化工、军工等行业中。电解加工是用... 金属计量光栅通常采用电解加工的方式制作,由于具有传统K9玻璃、浮法玻璃和树脂基片等不可替代的优势,以其100%的透过率,和抗震、防尘、耐高温、耐腐蚀、重量轻的特性,被广泛应用在矿业、冶金、建材、化工、军工等行业中。电解加工是用电解方法使金属阳极溶解,可以获得较高的刻线准确度,但有时粗糙度有所下降。本文主要探讨电解加工对金属计量光栅表面粗糙度的影响,为提高金属计量光栅的表面质量提供机理参考。 展开更多

关键词 金属计量光栅 表面粗糙度 电解加工 电导率

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提高计量光栅尺分辨率的几种细分方法 被引量：5

9

作者 刘保录 《兰州工业高等专科学校学报》 1995年第2期23-27,共5页

本文论述了提高计量光栅尺分辨率的几种细分方法,重点介绍了由二片集成电路实现的四倍频,判向电路的组成。

关键词 伺服系统 判向电路 二片集成电路 四倍频 细分方法 计量光栅尺 分辨率

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计量圆光栅的制作工艺及质量参数研究 被引量：8

10

作者 陈赟 李艳茹 张红胜 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2012年第3期40-43,共4页

计量圆光栅是光电编码器中的核心元件,它的精度直接影响光电编码器的精度,因此,制作出高精度的计量圆光栅是研制高精度光电编码器的前提。详细介绍了计量圆光栅的制作工艺和衡量计量圆光栅质量的参数,并通过实验对计量圆光栅的制作工艺... 计量圆光栅是光电编码器中的核心元件,它的精度直接影响光电编码器的精度,因此,制作出高精度的计量圆光栅是研制高精度光电编码器的前提。详细介绍了计量圆光栅的制作工艺和衡量计量圆光栅质量的参数,并通过实验对计量圆光栅的制作工艺和质量参数进行了对比,为设计高精度角度传感器提供了一定的理论参考。 展开更多

关键词 计量圆光栅 制作工艺 刻划精度 均匀性

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一种光栅计量的单片机处理方法 被引量：1

11

作者 朱孝立 《合肥工业大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1998年第S1期135-139,共5页

光栅传感器信号处理电路通常比较复杂,该研究在分析光栅计量的辨向、细分原理后提出一种采用PIC16C622单片机为核心的信号处理方案。利用单片机的硬、软件资源,实现了对脉冲信号的整形、辨向、细分和计数译码功能,具有成本低、可靠性高... 光栅传感器信号处理电路通常比较复杂,该研究在分析光栅计量的辨向、细分原理后提出一种采用PIC16C622单片机为核心的信号处理方案。利用单片机的硬、软件资源,实现了对脉冲信号的整形、辨向、细分和计数译码功能,具有成本低、可靠性高的特点。 展开更多

关键词 计量光栅 单片机 检测系统

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液态油墨制作计量圆光栅的研究

12

作者 李艳茹 陈赟 +1 位作者 张红胜 王晓峰 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2012年第3期44-46,共3页

液态油墨又称液态感光油墨,是一种特殊的紫外油墨,通过紫外曝光后固化,和玻璃、金属、塑料薄膜等材料有较好的附着力和牢固度,广泛应用于高精密度电路板、多层板电路的内层蚀刻、各种精密金属标牌腐蚀与电镀印制工艺等行业。但它直接用... 液态油墨又称液态感光油墨,是一种特殊的紫外油墨,通过紫外曝光后固化,和玻璃、金属、塑料薄膜等材料有较好的附着力和牢固度,广泛应用于高精密度电路板、多层板电路的内层蚀刻、各种精密金属标牌腐蚀与电镀印制工艺等行业。但它直接用于制作计量圆光栅未见报道,通过对液态油墨复制工艺的研究,及计量圆光栅制作工艺的对比,详细介绍了液态油墨制作计量圆光栅的制作工艺,试验证明液态油墨制作计量圆光栅是可行的。 展开更多

关键词 液态油墨 计量圆光栅 制作工艺

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光栅莫尔条纹细分及辨向方法研究 被引量：13

13

作者 何安国 喻洪麟 +1 位作者 朱传新 王远干 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2007年第10期45-49,共5页

提出了一些新的基于数字处理技术的莫尔信号细分及辨向方法。单光栅副莫尔条纹采用差值细分方法;双光栅副莫尔条纹采用乘积细分法。将信号进行区间划来实现辨向。实验采用DSP器件内置的高速A/D模块实现数/模转换,利用DSP专用指令实现信... 提出了一些新的基于数字处理技术的莫尔信号细分及辨向方法。单光栅副莫尔条纹采用差值细分方法;双光栅副莫尔条纹采用乘积细分法。将信号进行区间划来实现辨向。实验采用DSP器件内置的高速A/D模块实现数/模转换,利用DSP专用指令实现信号的滤波、细分和辨向。实验结果表明,单光栅副和多光栅副的细分精度分别为3″和0.3″。 展开更多

关键词 莫尔条纹 数字信号处理器 计量光栅

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高精度多种进制圆光栅制造方法的研究

14

作者 徐杜 黄尚廉 杨冠玲 《量子电子学》 CAS CSCD 1995年第1期70-74,共5页

本文提出了一种用于ＣＡＭ系统的最小公倍数法，以及用该方法研制的多种进制增量式圆光栅ＣＡＭ刻划系统．应用该方法有效地解决了多种进制增量式圆光栅和多种进制指示光栅的刻划难题，实现了在一种进制的光电图刻线机上刻划多种进制圆... 本文提出了一种用于ＣＡＭ系统的最小公倍数法，以及用该方法研制的多种进制增量式圆光栅ＣＡＭ刻划系统．应用该方法有效地解决了多种进制增量式圆光栅和多种进制指示光栅的刻划难题，实现了在一种进制的光电图刻线机上刻划多种进制圆光栅。另外，详细介绍了其实现方法，以及用于该ＣＡＭ系统的硬件和软件． 展开更多

关键词 计量光栅 多种进制 增量式 圆光栅 制造

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长光栅莫尔条纹的光电信号特性

15

作者 陈西园 《辽宁石油化工大学学报》 CAS 1993年第2期56-59,共4页

本文给出了长光栅莫尔条纹光电信号的函数形式,并对此函数进行频谱分析.在此基础上较详细地讨论了它的正弦性和对比度.

关键词 计量光栅 光电信号特性 正弦性 对比度

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几何量与光栅技术进展

16

作者 马品仲 《上海计量测试》 1994年第2期22-23,共2页

随着现代化大生产的发展,现代高科技大型工程项目(如大型天文望远镜等)的研制,迫切盼望解决高精度、高效率、自动化计量仪器。从而,各种自动在线测量仪器,精确测量各种大型高精度复杂零部件(如大规模集成电路等)新仪器应运而生,其计量... 随着现代化大生产的发展,现代高科技大型工程项目(如大型天文望远镜等)的研制,迫切盼望解决高精度、高效率、自动化计量仪器。从而,各种自动在线测量仪器,精确测量各种大型高精度复杂零部件(如大规模集成电路等)新仪器应运而生,其计量范围可大到几十米到毫微米级,并要求相应的高精度和高可靠性作保证。用光学法构成的不接触,高灵敏度、高精度实时处理系统极大地促进了二维和三维自动测量和在线计量,并已广泛地应用于静动态的几何量计量中。微电子技术同光学和精密机械相结合,使仪器性能,结构、效率可靠性和智能化程度得到提高,标准化、系列化、组合化和小型化的仪器设计,极大地提高了仪器的经济效益和社会效益。 展开更多

关键词 几何量 光栅 计量光栅

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二维空间扫描角同步光栅的原理和设计(下)

17

作者 杜志辉 《红外技术》 CSCD 1992年第6期19-23,共5页

6 光栅光学系统的设计光栅光学系统是指形成莫尔条纹和拾取莫尔条纹信号的光学系统和光电接收元件。其作用是把标尺光栅的位移转换成光电元件的输出信号。我们采用直接接收式光学系统,其基本组成如图6所示。特点是结构简单、紧凑、调整... 6 光栅光学系统的设计光栅光学系统是指形成莫尔条纹和拾取莫尔条纹信号的光学系统和光电接收元件。其作用是把标尺光栅的位移转换成光电元件的输出信号。我们采用直接接收式光学系统,其基本组成如图6所示。特点是结构简单、紧凑、调整使用方便。下面简述其设计参数的确定法。6.1 标尺光栅设计参数的确定由总体要求,每帧热图像由401条扫描线组成,因而计数用的标尺圆光栅需有401条线。圆光栅的节圆由结构决定取为15.3mm,则节圆上的节距角δ为25′55.96″,相应的节圆上的线宽度为0.12mm。此圆光栅盘装在垂直扫描8面转镜的转轴上。 展开更多

关键词 计量光栅 莫尔条纹 红外成像系统

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二维空间扫描角同步光栅的原理和设计(上)

18

作者 杜志辉 《红外技术》 CSCD 1992年第5期16-20,共5页

结合热像仪的总体要求,本文详细地描述了同步计量光栅的原理、形成、特点以及设计和装调所必须的一些数学公式的推导。较全面地阐述了实际应用的光栅光学系统的具体设计和调试方法,最后提出了非等分圆光栅的计算程序和刻制方法。

关键词 计量光栅 莫尔条纹 红外成像系统

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数字式可编程锁相环光栅信号倍频器

19

作者 薛廷安 《上海机械学院学报》 1990年第4期73-77,共5页

用微型计算机控制锁相环(PLL)可对计量光栅信号进行数字倍频。用这种技术产生的角度定标脉冲去量度齿轮传动链误差比用时钟脉冲合理,有助于提高光栅仪器的动态检测精度。

关键词 计量光栅 锁相环 倍频器 测量

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光栅、计算机技术在精密测量中的应用

20

作者 徐鸿宝 陈义荣 张立 《石油工业技术监督》 1995年第11期25-27,共3页

衍射光栅用于光谱分析和光波波长测量已有一百多年的历史,而包括衍射光栅和几何光栅在内的计量光栅用于直线和角度测量则是本世纪发展起来的。

关键词 计量光栅 计算机 精密测量

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