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低噪声触针式表面粗糙度探测系统及测量不确定度分析
被引量：
5
1
作者
史舟淼
张树
+2 位作者
施玉书
皮磊
胡佳成
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022年第9期1122-1127,共6页
为了提升现有触针式表面粗糙度测量仪的计量能力,从降低仪器噪声水平的角度出发,研制了具有低噪声、无阿贝误差特性的触针式表面粗糙度探测系统。该系统采用样品扫描的方式进行接触测量,利用高精度电容传感器对触针的垂直运动进行实时测...
为了提升现有触针式表面粗糙度测量仪的计量能力,从降低仪器噪声水平的角度出发,研制了具有低噪声、无阿贝误差特性的触针式表面粗糙度探测系统。该系统采用样品扫描的方式进行接触测量,利用高精度电容传感器对触针的垂直运动进行实时测量,从而表征被测物的真实微观表面,实现了纳米尺度测量下的低噪声水平。系统使用校准触针式表面粗糙度测量仪的标准样板进行R_(a)测量和不确定度评估,结果表明:对Type C3标准样板测量的扩展不确定度U=2.8 nm(k=2)。
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关键词
计量学
表面粗糙度
触针式测量仪
低噪声探测系统
Type
C3标准样板
不确定度
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职称材料
题名
低噪声触针式表面粗糙度探测系统及测量不确定度分析
被引量：
5
1
作者
史舟淼
张树
施玉书
皮磊
胡佳成
机构
中国计量大学
中国计量科学研究院
深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022年第9期1122-1127,共6页
基金
国家重点研发项目(2018YFF0212300)
质量技术基础能力建设(ANL2003)。
文摘
为了提升现有触针式表面粗糙度测量仪的计量能力,从降低仪器噪声水平的角度出发,研制了具有低噪声、无阿贝误差特性的触针式表面粗糙度探测系统。该系统采用样品扫描的方式进行接触测量,利用高精度电容传感器对触针的垂直运动进行实时测量,从而表征被测物的真实微观表面,实现了纳米尺度测量下的低噪声水平。系统使用校准触针式表面粗糙度测量仪的标准样板进行R_(a)测量和不确定度评估,结果表明:对Type C3标准样板测量的扩展不确定度U=2.8 nm(k=2)。
关键词
计量学
表面粗糙度
触针式测量仪
低噪声探测系统
Type
C3标准样板
不确定度
Keywords
metrology
stylus surface roughness measurement instrument
low noise probing system
type C3 standard sample
uncertainty
分类号
TB921 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
低噪声触针式表面粗糙度探测系统及测量不确定度分析
史舟淼
张树
施玉书
皮磊
胡佳成
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022
5
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