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题名气浮支承式触针测量系统径向动态性能研究
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作者
吴运权
常素萍
吴昊
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机构
华中科技大学机械科学与工程学院
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出处
《航空制造技术》
CSCD
北大核心
2021年第6期48-54,62,共8页
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基金
国家自然科学基金(51675207)。
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文摘
触针表面形貌测量仪是生产科研中应用广泛的仪器,杠杆式触针由于其结构原因,在测量时会产生非线性误差,影响测量结果的精度。介绍了一种气浮触针式测量传感器,触针轴运动方向与位移测量方向一致,有效地避免了非线性误差;在研究中建立了气浮支承式触针测量系统的运动模型,分析了测量系统的动静态特性,研究了影响气浮支承径向动态性能的因素,进行了径向刚度和动态参数的理论仿真模拟,并通过动态特性试验测试和分析得到传感器最大扫描频率为125Hz;搭建了气浮触针式表面形貌测量系统并进行测量试验,得到传感器测量的相对误差为0.8%。
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关键词
表面形貌测量
触针位移传感器
气浮支承
径向动态性能
模态识别
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Keywords
Surface topography measurement
Stylus displacement sensor
Air bearing
Radial dynamic performance
Modal identification
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分类号
TH161.1
[机械工程—机械制造及自动化]
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题名双针表面形貌测量系统的研究
被引量：1
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作者
卢圣凤
谢铁邦
高咏生
李柱
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机构
华中科技大学精密仪器测试中心
香港科技大学机械工程系
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出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2002年第3期171-173,236,共4页
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基金
国家自然科学基金 (5 95 75 0 83 )
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文摘
介绍一种新颖的双针表面形貌测量系统 ,它将光学位移传感器和触针位移传感器巧妙地结合在一起 ,从而具有接触和非接触两种测量手段。与单一测量模式的表面形貌测量仪器相比 ,它的性能价格比更高 ,应用范围更广。该测量系统已投入实用 ,接触测量模式下其垂直测量范围和垂直分辨率分别是 1mm和 10nm ,非接触测量模式下分别是 5 0 0 μm和 3nm。实践证实 ,该系统使用灵活 。
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关键词
双针表面形貌测量系统
表面特征提取
光学位移传感器
触针位移传感器
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Keywords
Surface topography
Contact/non contact measurement
Surface characterization
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分类号
TG84
[金属学及工艺—公差测量技术]
TH74
[机械工程—光学工程]
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题名基于交叉变异PSO算法的形貌测量系统误差补偿
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作者
王浩
常素萍
张国庆
祁博洋
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机构
华中科技大学机械科学与工程学院
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出处
《工具技术》
北大核心
2024年第2期155-160,共6页
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基金
国家自然科学基金面上项目(52075222)。
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文摘
触针表面形貌测量系统具有高精度、高分辨率、稳定可靠和动态特性好等优点,在生产和科研中发挥着重要作用。但其杠杆结构造成的非线性误差,在大量程测量时会显著增大误差,影响测量精度。本文基于粒子自身的亲和力和浓度选择交叉变异提出一种新型粒子群算法,显著提高了粒子群算法的迭代速度和收敛精度。基于此粒子群算法可实现对触针表面形貌测量系统的非线性误差补偿,有效避免局部收敛,提高了补偿精度。经实验验证,通过高精度标准球冠进行标定测量,补偿误差在±0.5μm以内。
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关键词
表面形貌测量
触针位移传感器
非线性误差补偿
新型粒子群算法
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Keywords
surface topography measurement
stylus displacement sensor
nonlinear error compensation
new particle swarm optimization algorithm
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分类号
TG806
[金属学及工艺—公差测量技术]
TH161.1
[机械工程—机械制造及自动化]
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