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圆光栅副的系统误差分析
被引量：
2
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作者
史玉苓
徐成
韦春才
《沈阳工业大学学报》
EI
CAS
1997年第1期26-28,共3页
圆光栅副的系统误差主要包括微量不等距系统误差，均匀性误差，光栅栅线刻划误差等三种误差。
关键词
误差
圆光栅副
光电编码器
角位移量传感器
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职称材料
题名
圆光栅副的系统误差分析
被引量：
2
1
作者
史玉苓
徐成
韦春才
出处
《沈阳工业大学学报》
EI
CAS
1997年第1期26-28,共3页
基金
辽宁省教委重点科研项目
文摘
圆光栅副的系统误差主要包括微量不等距系统误差，均匀性误差，光栅栅线刻划误差等三种误差。
关键词
误差
圆光栅副
光电编码器
角位移量传感器
Keywords
photoeleetrical coded clisks
errors
grating
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
圆光栅副的系统误差分析
史玉苓
徐成
韦春才
《沈阳工业大学学报》
EI
CAS
1997
2
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