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绝对式角位移传感器的研究综述
1
作者 张天恒 彭东林 +2 位作者 王阳阳 郑永 段正南 《仪器仪表学报》 北大核心 2025年第6期1-16,共16页
在智能控制系统的核心部件中,绝对式角位移传感器占据着至关重要的地位。其测量精度与长期运行的可靠性,直接决定了整个控制系统的性能上限。综述了基于不同物理原理的绝对式角位移传感器(电感式、光电式、电场式、磁电式),深入探究其... 在智能控制系统的核心部件中,绝对式角位移传感器占据着至关重要的地位。其测量精度与长期运行的可靠性,直接决定了整个控制系统的性能上限。综述了基于不同物理原理的绝对式角位移传感器(电感式、光电式、电场式、磁电式),深入探究其核心传感机理。阐述了各类绝对式角位移传感器的工作原理、感知电极的形状(特殊编码、环形、扇形、正弦形、花瓣形等)来适应不同的传感机理、感知单元(从栅线到栅面再到阵列)的构型特征来提高感知精度、传感媒介向多媒介耦合转变增强复杂环境的适应性、典型的绝对测量的结构特征以及当前的研究现状。在分析各自优势的同时,也明确指出其固有的局限性,同时对比分析了当前市场上主流产品的性能指标及其典型应用领域,为工程选型提供参考。剖析了在不同传感机理下,融合时空调制技术,通过在空间上周期性分布感知单元并在时间维度上进行信号扫描与解调,具备高精度与抗干扰特性的绝对式时栅角位移传感器。最后,对绝对式角位移传感器未来发展趋势进行展望。在提升传感器精度与分辨率的同时,增强在极端环境下的鲁棒性与可靠性,深化多传感器信息融合技术以满足复杂智能控制系统对多维信息感知的更高需求。 展开更多
关键词 绝对测量 传感机理 传感结构 感知电极的形状 绝对式时栅角位移传感器
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基于二次调制双通道同步的高分辨力绝对式时栅角位移传感器
2
作者 杨继森 秦小东 +2 位作者 桂强 徐杰 刘家红 《仪器仪表学报》 北大核心 2025年第2期314-324,共11页
为了在不增加传感器尺寸的前提下,提高传感器的分辨力和测量精度,并实现绝对角位移测量,以满足空间受限的工业场合应用需求,故提出了一种基于二次调制双通道同步的高分辨力绝对式时栅角位移传感器设计方案。该传感器主要由定尺、动尺和... 为了在不增加传感器尺寸的前提下,提高传感器的分辨力和测量精度,并实现绝对角位移测量,以满足空间受限的工业场合应用需求,故提出了一种基于二次调制双通道同步的高分辨力绝对式时栅角位移传感器设计方案。该传感器主要由定尺、动尺和驱动电路板组成,定尺上设置有精机码道的两路激励线圈、粗机码道的两路感应线圈、电磁耦合线圈的次级,动尺上设置有精机码道的两路感应线圈、粗机码道的两路激励线圈、电磁耦合线圈的初级,驱动电路板上设置有一组驱动信号发生电路、两组感应信号处理电路、FPGA核心电路。将动尺上精机码道的两路感应线圈与粗机码道的两路激励线圈串联在一起实现二次调制,当传感器精机码道的激励线圈上电工作时,精机码道的两路感应线圈上所感应的两路角位移电信号被调制到粗机码道上,从而实现了粗机码道与精机码道分辨力相加的目的,以此提升传感器的分辨力。同时将一路精机感应信号通过电磁耦合线圈回传到定尺端作为整周定位信号。通过FPGA同步解算这两路信号,实现绝对角位移测量。采用PCB工艺制作了外径为140 mm的传感器样机。实验结果表明,该传感器只需要一组驱动电路就能够实现绝对角位移测量,且分辨力从0.38″提升到0.2″,提高了47%,原始测量误差范围从±34.14″降低到±16.06″,降低了53%。 展开更多
关键词 角位移传感器 绝对式 二次调制 同步测量
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一种可用于扭矩测量的角位移传感器
3
作者 冉鑫阳 汤其富 +3 位作者 李森林 夏菊 赵江渝 张华 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第5期86-89,共4页
针对当前非接触式扭矩测量方法大多在旋转轴两端分别安装传感器导致一致性差、成本高、安装困难等问题,开展一种可用于扭矩测量的双转子同步耦合型电磁感应式角位移传感器研究。传感器由1个定子和2个转子组成,2个转子与定子之间均通过... 针对当前非接触式扭矩测量方法大多在旋转轴两端分别安装传感器导致一致性差、成本高、安装困难等问题,开展一种可用于扭矩测量的双转子同步耦合型电磁感应式角位移传感器研究。传感器由1个定子和2个转子组成,2个转子与定子之间均通过电磁感应耦合,使定子同时输出关于2个转子的位移信息,并且可以通过两转子位移差测量扭矩。介绍了传感器结构、工作原理、仿真实验与样机实验。实验结果表明,该传感器2个转子对极内测量误差分别为-9.35″~19.46″和-13.75″~22.89″,分辨率为0.93″,测扭矩分辨率为0.057 Nm,测扭矩误差为-0.8~1.21 Nm。 展开更多
关键词 角位移传感器 扭矩测量 双转子 同步耦合 电磁感应
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单相激励电容式时栅角位移传感器研究 被引量：2
4
作者 高忠华 胡帅 +2 位作者 汪强 付敏 冯济琴 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期130-137,共8页
针对现有多相激励时栅角位移传感器在小体积时无法设置更多极对数进一步提升稳定性,导致精度和动态性能指标无法得到提升等问题,提出一种单相激励电容式时栅角位移测量方法。该方法采用单相激励耦合成四路空间正交的驻波信号,通过电路... 针对现有多相激励时栅角位移传感器在小体积时无法设置更多极对数进一步提升稳定性,导致精度和动态性能指标无法得到提升等问题,提出一种单相激励电容式时栅角位移测量方法。该方法采用单相激励耦合成四路空间正交的驻波信号,通过电路实现行波构造,从而实现角位移测量。文中介绍了多相激励时栅传感器存在的问题、单相激励时栅的测量原理,完成了传感器样机的研制,并通过实验验证该原理的有效性。实验结果表明,相同尺寸和相同电极数量情况下,单相激励传感器的精度和动态性能指标优于多相激励传感器,单相激励传感器精度为±20″,稳定性为10″,400 rpm转速下速度波动为±1.25%,跟随误差为±2.5″,满足直驱电机的使用要求。 展开更多
关键词 电容式时栅 单相激励 多相激励 角位移传感器 行波构造
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基于误差函数相位偏移的电场式时栅角位移传感器自标定 被引量：2
5
作者 于治成 黎自豪 +2 位作者 蒲红吉 吴昶亮 展丙男 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第18期2803-2813,共11页
比对标定对于传感器测量精度的保持和提升具有重要意义,但其易受现场环境限制,且成本昂贵。电场式时栅精度不断刷新,寻找外部参考基准也变得日益困难。针对这一难题,提出了以圆周封闭原则为基准,利用傅里叶级数的平移定律,将电场式时栅... 比对标定对于传感器测量精度的保持和提升具有重要意义,但其易受现场环境限制,且成本昂贵。电场式时栅精度不断刷新,寻找外部参考基准也变得日益困难。针对这一难题,提出了以圆周封闭原则为基准,利用傅里叶级数的平移定律,将电场式时栅的误差序列值以2π/n角位移值进行移相,利用具有不同移相次数的误差序列值进行频谱分析,互相补偿缺失的谐波分量,最终利用各次谐波分量重构传感器误差函数的自标定方法。并据此设计、搭建了相应的自标定实验平台。实验结果表明,该自标定方法对于电场式时栅角位移传感器中所包含的周期性误差补偿效果显著。对极内,使用该自标定方法与用光栅作为参考基准所获得的标定精度基本相当,两者误差为0.05",对极内误差下降67%;整周范围内,两者误差为0.15",整周误差下降80%。该自标定方法相比于传统的比对标定法在效率、应用范围及标定成本方面均拥有显著优势。 展开更多
关键词 电场式 角位移传感器 自标定 误差移相 谐波分量
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电感式角位移传感器技术综述 被引量：17
6
作者 秦毅 王阳阳 +2 位作者 彭东林 陈锡侯 武亮 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第11期1-14,共14页
电感式角位移传感器具有良好的环境适应力、较高的测量精度和稳定性的优点,该类型的角位移传感器广泛应用于高端装备、电动汽车、机器人、飞行器、武器等领域。本文介绍了3种电感式角位移传感器,包括旋转变压器、感应同步器这两种典型... 电感式角位移传感器具有良好的环境适应力、较高的测量精度和稳定性的优点,该类型的角位移传感器广泛应用于高端装备、电动汽车、机器人、飞行器、武器等领域。本文介绍了3种电感式角位移传感器,包括旋转变压器、感应同步器这两种典型的电感式角位移传感器以及我国学者自主研发的磁场式时栅位移传感器。对它们的测量原理及关键技术做了详尽的综述,并分析了这些技术的优点与局限性。根据近年来电感式角位移传感器的发展现状,详细论述了电感式角位移传感器在机械、汽车、工业机器人、航空、航天和国防等领域的应用情况。最后,分析得出电感式角位移传感器技术应往高精度、高可靠性、嵌入式测量、复合功能测量、智能化等方向发展。 展开更多
关键词 角位移传感器 电感式 旋转变压器 感应同步器 磁场式时栅
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电容式角位移传感器电场有限元仿真研究 被引量：11
7
作者 徐英 张涛 +1 位作者 李敏雪 杨波 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期512-515,共4页
对电容式角位移传感器二维及三维的电场进行了有限元法分析 ,同时对不同结构参数的敏感元件进行仿真研究 。
关键词 角位移传感器 电容式 有限元仿真 敏感元件 仿真研究 三维 样机 结构参数
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基于分时复用反射电极结构的高精度绝对式时栅角位移传感器 被引量：11
8
作者 刘小康 李昌伟 +2 位作者 彭凯 于治成 冯济琴 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期23-31,共9页
提出了一种基于分时复用反射电极结构的高精度绝对式时栅角位移传感器。以增量式时栅传感器为基础,将单对极与多对极相结合,整周多对极作为精确测量部分实现高精度,整周单对极作为粗略测量部分实现绝对定位。提出了一种分时复用反射电... 提出了一种基于分时复用反射电极结构的高精度绝对式时栅角位移传感器。以增量式时栅传感器为基础,将单对极与多对极相结合,整周多对极作为精确测量部分实现高精度,整周单对极作为粗略测量部分实现绝对定位。提出了一种分时复用反射电极结构,粗测部分和精测部分共用一组反射电极和接收电极,因此结构更加紧凑,便于小型化,同时动子无需引线,应用环境更广。通过分时间段对粗测部分和精测部分施加激励信号,并把不工作的电极接地,可以有效消除粗测部分和精测部分之间的串扰,保证测量精度。采用PCB技术制造了外径Φ=60 mm,内径Φ=26 mm的传感器样机。通过理论分析和结构优化,最终实验结果表明传感器的测量精度达到了±12″。 展开更多
关键词 分时复用结构 反射式 绝对式 时栅 角位移传感器
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高精度电容式角位移传感器测量方法 被引量：23
9
作者 张宇鹏 徐钰蕾 王昱棠 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第S1期147-150,共4页
为了实现对机载光电侦查平台内方位、内俯仰框架的旋转角度进行高精度的测量,建立了基于偏心原理的利用高精度电容式角位移传感器进行角位移测量的测量方法。利用检测面旋转中心与框架旋转中心的不重合所产生的一定偏心,在框架进行旋转... 为了实现对机载光电侦查平台内方位、内俯仰框架的旋转角度进行高精度的测量,建立了基于偏心原理的利用高精度电容式角位移传感器进行角位移测量的测量方法。利用检测面旋转中心与框架旋转中心的不重合所产生的一定偏心,在框架进行旋转时,检测面与电容式角位移传感器的安装面之间的距离会产生一定规律的变化。并依据此原理设计了一套实验装置。实验结果表明,框架的旋转角度在范围内时,电容式角度传感器测量的角度值与距离具有良好的的线性度。电容式角度传感器的测量精度优于15"。完全满足对机载光电侦查平台内方位和内俯仰框架进行高精度角位移测量的需要。 展开更多
关键词 电容式角位移传感器 测量 机载光电平台
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柔性变栅距光栅角位移传感器的精度分析与工艺实现 被引量：6
10
作者 包艳 杨德兴 +2 位作者 李秉实 王东辉 郑普超 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期1859-1866,共8页
研制了用于采集和反馈飞机舵面位置信息的柔性变栅距光栅角位移传感器。分析了影响传感器精度的主要因素,给出了制备过程所采用的精密成型工艺。首先,根据柱面变栅距光栅在柔性变栅距光栅角位移传感器中的核心作用,介绍了传感器的工作原... 研制了用于采集和反馈飞机舵面位置信息的柔性变栅距光栅角位移传感器。分析了影响传感器精度的主要因素,给出了制备过程所采用的精密成型工艺。首先,根据柱面变栅距光栅在柔性变栅距光栅角位移传感器中的核心作用,介绍了传感器的工作原理;分析了工艺误差对传感器精度的影响,提出了柔性变栅距光栅精密成型为柱面变栅距光栅后内表面圆度应不大于0.01 mm。在圆度对传感器精度影响的量值基础上,采用了柱面变栅距光栅精密成型工艺。最后,利用有限元仿真分析了柱面变栅距光栅精密成型工艺的可行性。实验结果表明:柱面变栅距光栅内表面圆度达到0.004 3mm,传感器的线性度达到最大工作角度的0.27%,满足了航空机载传感器的精度要求。 展开更多
关键词 柔性变栅距光栅 柱面变栅距光栅 角位移传感器 弹性凸模
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基于二次调制的高精度多圈绝对式时栅角位移传感器 被引量：12
11
作者 刘小康 柳康 +2 位作者 蒲红吉 于治成 彭凯 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第5期90-98,共9页
提出了一种基于二次调制的高精度多圈绝对式时栅角位移传感器,该传感器由单圈绝对式传感器与多圈计数模块组成。首先,采用两级单排式时栅角位移传感器构成单圈绝对式传感器,通过第一级传感器构建四路正交的行波信号,将差动的两路行波信... 提出了一种基于二次调制的高精度多圈绝对式时栅角位移传感器,该传感器由单圈绝对式传感器与多圈计数模块组成。首先,采用两级单排式时栅角位移传感器构成单圈绝对式传感器,通过第一级传感器构建四路正交的行波信号,将差动的两路行波信号直接反射,作为精测信号;同时,利用第一级四路正交的行波信号作为第二级传感器的激励信号进行二次调制,获得整周单周期信号,作为粗测信号,精测信号结合粗测信号实现高精度单圈绝对式角位移测量。在此基础上,结合韦根多圈计数模块记录圈数信息,从而实现高精度多圈绝对式角位移测量。通过印制电路板技术制作了原理样机,搭建了实验平台,并进行了测试,实验结果表明:该传感器在整周范围原始精度可达±8″,并且在上电、断电情况下实现了圈数的准确记忆。 展开更多
关键词 二次调制 多圈绝对式 时栅 角位移传感器
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时栅角位移传感器在线自标定系统 被引量：10
12
作者 高忠华 陈锡侯 彭东林 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期93-101,共9页
为解决时栅角位移传感器在实际应用中的在线标定问题,提出了一种定角平移自标定方法并设计了相应的自标定系统。该方法首先把圆周封闭的自然基准转换成定角基准,在时栅内部建立了自标定基准。然后,根据傅里叶级数的性质,将定角基准平移... 为解决时栅角位移传感器在实际应用中的在线标定问题,提出了一种定角平移自标定方法并设计了相应的自标定系统。该方法首先把圆周封闭的自然基准转换成定角基准,在时栅内部建立了自标定基准。然后,根据傅里叶级数的性质,将定角基准平移到傅里叶变换的幅值和相位中,建立了测量值之差与误差之差的函数关系。通过对测量值之差进行傅里叶分析,重构了时栅角位移传感器的误差函数。最后,讨论了影响自标定精度的误差来源,并设计了传感器的零点纠错算法。为了检验自标定效果,利用激光干涉仪实验装置与自标定系统进行了对比试验。结果表明:定角平移自标定精度为1.9″,与理论计算的自标定误差(1.5±0.5)″的结论相符。提出的自标定方法在解决时栅自身标定基准的同时,满足了精密测量领域对时栅精度和可靠性的要求。 展开更多
关键词 时栅角位移传感器 自标定 定角平移 零点纠错
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InSb 精密角位移传感器的研究 被引量：8
13
作者 胡明 张之圣 刘志刚 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1998年第2期1-3,共3页
本文介绍了以磁阻效应为工作原理的ＩｎＳｂ精密角位移传感器的设计和制作。这种传感器的主要特点是高分辨率、非接触、体积小、重量轻和使用寿命长。性能测试结果表明，在±１２°范围内，其分辨率达０．
关键词 INSB 磁阻效应 角位移传感器 悬臂梁 传感器
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差动变压器式大量程精密角位移传感器的设计 被引量：8
14
作者 柏受军 张荣标 +1 位作者 胡海燕 尹成竹 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第11期63-65,共3页
设计了一种基于差动变压器原理的大量程精密角位移传感器。阐述了差动变压器式角位移传感器的工作原理,指出了传统传感器的不足。通过衔接法,既扩大了传感器的量程,又提高了传感器的精度。最大量程为±145°,精度可达1%。同时,... 设计了一种基于差动变压器原理的大量程精密角位移传感器。阐述了差动变压器式角位移传感器的工作原理,指出了传统传感器的不足。通过衔接法,既扩大了传感器的量程,又提高了传感器的精度。最大量程为±145°,精度可达1%。同时,采用多种温度补偿措施,改善了传感器的工作特性。 展开更多
关键词 差动变压器 角位移传感器 衔接法 温度补偿
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金属管浮子流量计中电容式角位移传感器的研究 被引量：8
15
作者 徐英 张涛 姜印平 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2002年第3期40-46,共7页
本文针对新型金属管浮子流量计中电容式角位移传感器的研究 ,详细阐明电容式角位移传感器的设计方法及原理 ,并配合一种抗寄生干扰的微小电容测量电路 ,最终实现对浮子流量计中电容式角位移传感器转动角度的精确测量。在 3 0°测量... 本文针对新型金属管浮子流量计中电容式角位移传感器的研究 ,详细阐明电容式角位移传感器的设计方法及原理 ,并配合一种抗寄生干扰的微小电容测量电路 ,最终实现对浮子流量计中电容式角位移传感器转动角度的精确测量。在 3 0°测量范围内 ,可实现精度 0 0 5°。 展开更多
关键词 金属管浮子流量计 电容式角位移传感器 抗寄生干扰 误差
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转动极板悬空设计的数字电容角位移传感器及其温度特性测试 被引量：3
16
作者 徐英 吴经纬 +1 位作者 魏会兰 张涛 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期2445-2449,共5页
在比例式电容测角原理的基础上,设计了一种转动极板为金属材质且为电气悬空设计的数字型角位移传感器,满足180°的测量范围.该传感器具有本质可靠性,无需额外补偿环节,即可对环境温度,潮湿,灰尘等共模干扰具有良好的抑制作用.针对... 在比例式电容测角原理的基础上,设计了一种转动极板为金属材质且为电气悬空设计的数字型角位移传感器,满足180°的测量范围.该传感器具有本质可靠性,无需额外补偿环节,即可对环境温度,潮湿,灰尘等共模干扰具有良好的抑制作用.针对快速变化的温场,进行了基于该原理的角位移传感器的温度特性测试.在环境温度从-15℃升到+65℃,以约6℃/分钟速度变化的过程中,三台样机的最大峰峰值温漂值为0.085%/10℃,实验周期内的最大稳态温漂值为0.07%/10℃,标准不确定度小于0.1%,在以同样温变速度进行的-30℃～+80℃的宽温实验中,最大峰峰值温漂值小于0.2%/10℃.结果表明,其温漂指标优于目前基于差动测量原理的主流产品. 展开更多
关键词 数字型 角位移传感器 比例式 电容式 温漂
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偏光式角位移传感器 被引量：4
17
作者 赵永林 蔺增金 +1 位作者 马凤英 高见 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第z2期167-168,共2页
本文提出一种利用线偏振光的角位移传感器。其角分辨力优于 10 ",具有结构简单、造价低廉、易于校准、性能稳定可靠等优点。无需制作精密的机械分度部件 ,无需精密的光路设计。讨论了单片机支持下抑制光源与光探测器温漂。
关键词 偏振滤光片 角位移传感器 温漂
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优化电磁式角位移传感器线性度 被引量：3
18
作者 胡明江 王忠 +1 位作者 祁利巧 聂佳梅 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期1286-1289,共4页
理论上分析了影响角位移传感器线性度的关键因素:角位移传感器径向磁场磁感应强度.通过对影响角位移传感器径向磁场磁感应强度的各个因素:初级线圈长度和半径、偏心圆盘偏心矩和半径、初级激励电压的分析.提出了各个因素优化来提高角位... 理论上分析了影响角位移传感器线性度的关键因素:角位移传感器径向磁场磁感应强度.通过对影响角位移传感器径向磁场磁感应强度的各个因素:初级线圈长度和半径、偏心圆盘偏心矩和半径、初级激励电压的分析.提出了各个因素优化来提高角位移传感器线性度的方法,得出了角位移传感器最佳线性度的性能参数.依据柴油机电子调速系统模拟实验装置平台,优化后的角位移传感器进行了电子调速器系统内、外环模拟实验.结果表明:电子调速系统的动态响应达0.25秒,线性度为0.4%.完全满足柴油机正常调速要求. 展开更多
关键词 角位移传感器 线性度 优化 电子调速系统 角位移电磁执行器
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基于单个读数头的角位移传感器自标定方法 被引量：9
19
作者 陈锡侯 苟李 +2 位作者 官云丽 索龙博 周全 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第8期1049-1053,共5页
在保证角位移传感器自标定精度的前提下,为克服多读数头安装的一致性问题,同时尽可能避免对标定系统硬件上的苛刻要求,提出一种基于单个读数头,借助测量数据微商的傅里叶级数,实现角位移传感器自标定的方法。推导了该自标定方法引入的误... 在保证角位移传感器自标定精度的前提下,为克服多读数头安装的一致性问题,同时尽可能避免对标定系统硬件上的苛刻要求,提出一种基于单个读数头,借助测量数据微商的傅里叶级数,实现角位移传感器自标定的方法。推导了该自标定方法引入的误差,并据此提出一种对应的优化方法。将其应用于时栅角位移传感器的标定中,实验结果表明,在相同测量环境下,该自标定方法的标定精度接近借助外部参考基准的传统标定方法,达到约±0.8″;优化后的自标定方法能够有效提高标定精度与标定效率,并且在大微元长度快速标定时,其标定精度可优于传统标定方法接近5倍。 展开更多
关键词 自标定 微商 傅里叶分析 角位移传感器
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低功耗低温漂数字式电容角位移传感器 被引量：2
20
作者 张涛 位会兰 +2 位作者 徐英 刘金川 高秀娟 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期559-562,共4页
旨在研制一种测量范围为180°的新型数字式电容角位移传感器,并着重解决传感器的功耗及温漂问题．以比例式测量原理为基础,给出优化的激励模式及实施电路;根据转动极板为金属材质且电气悬空设计时计算角的象限判断标准和计算公式进... 旨在研制一种测量范围为180°的新型数字式电容角位移传感器,并着重解决传感器的功耗及温漂问题．以比例式测量原理为基础,给出优化的激励模式及实施电路;根据转动极板为金属材质且电气悬空设计时计算角的象限判断标准和计算公式进行信号处理．以超低功耗单片机作为信息处理的核心单元,既保证了运算速度,又可以实现通讯,同时有效地降低了系统功耗,实现了4～20 mA工业标准信号的远传,甚至电池供电．误差实验表明, 在-10℃～55℃范围内,传感器温漂最大值小于0．113％／10℃． 展开更多
关键词 电容式角位移传感器 比例式测量原理 激励模式 温漂特性 超低功耗
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