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四探针Mapping自动测试仪中电阻率温度系数的规范化拟合多项式的应用
被引量：
4
1
作者
孙以材
孟庆浩
+2 位作者
宫云梅
赵卫萍
武建平
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第8期1438-1441,共4页
本文回顾了单晶硅及扩散硅的电阻率温度系数(TCR)的实验结果,认为美国ASTM的TCR曲线是比较完整,确切的.利用我们开发的规范化多项式拟合方法,可将它表示成五阶多项式.将它存入具图像识别四探针定位功能自动测试系统的计算机中后,可以立...
本文回顾了单晶硅及扩散硅的电阻率温度系数(TCR)的实验结果,认为美国ASTM的TCR曲线是比较完整,确切的.利用我们开发的规范化多项式拟合方法,可将它表示成五阶多项式.将它存入具图像识别四探针定位功能自动测试系统的计算机中后,可以立即得到折合到23℃的硅单晶断面的电阻率分布.本文阐述了规范化拟合的原理,给出了单晶硅的TCR的拟合结果.
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关键词
半导体材料电阻率温度系数
电阻率分布
规范化多项式拟合
非线性函数
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职称材料
题名
四探针Mapping自动测试仪中电阻率温度系数的规范化拟合多项式的应用
被引量：
4
1
作者
孙以材
孟庆浩
宫云梅
赵卫萍
武建平
机构
河北工业大学微电子所
天津大学自动化学院
出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第8期1438-1441,共4页
基金
河北省重点学科
河北省自然科学基金(No.602076)
天津市自然科学基金(No.013602011)
文摘
本文回顾了单晶硅及扩散硅的电阻率温度系数(TCR)的实验结果,认为美国ASTM的TCR曲线是比较完整,确切的.利用我们开发的规范化多项式拟合方法,可将它表示成五阶多项式.将它存入具图像识别四探针定位功能自动测试系统的计算机中后,可以立即得到折合到23℃的硅单晶断面的电阻率分布.本文阐述了规范化拟合的原理,给出了单晶硅的TCR的拟合结果.
关键词
半导体材料电阻率温度系数
电阻率分布
规范化多项式拟合
非线性函数
Keywords
semiconductor TCR
resistivity profile
reduced resistivity： normalized polynomial match
non-linear function
分类号
TN325 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
四探针Mapping自动测试仪中电阻率温度系数的规范化拟合多项式的应用
孙以材
孟庆浩
宫云梅
赵卫萍
武建平
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
4
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