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基于SU-8胶的新型被动式微型阀
被引量：
3
1
作者
张丛春
郭泰
丁桂甫
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期1011-1016,共6页
为了在微流体控制系统中实现对流体流速的控制和流体的单向流动,借鉴人体心脏瓣膜的结构,设计了新型被动式微阀。选用SU-8作为被动式微型阀的结构材料,用ANSYS仿真了不同厚度(10,15,20μm)的阀门膜片在不同压力作用下的挠度与应力,进而...
为了在微流体控制系统中实现对流体流速的控制和流体的单向流动,借鉴人体心脏瓣膜的结构,设计了新型被动式微阀。选用SU-8作为被动式微型阀的结构材料,用ANSYS仿真了不同厚度(10,15,20μm)的阀门膜片在不同压力作用下的挠度与应力,进而确定了合适的阀门膜片厚度。利用微细加工技术,集成加工了微型阀,并由此确定和优化了微型阀的加工工艺。用去离子水作为介质测试了微型阀的过流特性,在正向压力为11.7kPa的压力作用下,测得A、B型被动式微阀的正向流速分别为1.66ml/min和1.35ml/min。对测试数据的分析表明,设计的微型阀有线性控制的潜能。以SU-8胶作为结构材料的微型阀不仅性能较好,同时具有生物兼容性,可扩展微型阀的应用范围。
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关键词
微电机系统
微流控
被动式微阀
SU-8
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职称材料
题名
基于SU-8胶的新型被动式微型阀
被引量：
3
1
作者
张丛春
郭泰
丁桂甫
机构
上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期1011-1016,共6页
基金
教育部创新基金资助项目(No.708037)
上海市创新平台资助项目(No.11DZ2290)
文摘
为了在微流体控制系统中实现对流体流速的控制和流体的单向流动,借鉴人体心脏瓣膜的结构,设计了新型被动式微阀。选用SU-8作为被动式微型阀的结构材料,用ANSYS仿真了不同厚度(10,15,20μm)的阀门膜片在不同压力作用下的挠度与应力,进而确定了合适的阀门膜片厚度。利用微细加工技术,集成加工了微型阀,并由此确定和优化了微型阀的加工工艺。用去离子水作为介质测试了微型阀的过流特性,在正向压力为11.7kPa的压力作用下,测得A、B型被动式微阀的正向流速分别为1.66ml/min和1.35ml/min。对测试数据的分析表明,设计的微型阀有线性控制的潜能。以SU-8胶作为结构材料的微型阀不仅性能较好,同时具有生物兼容性,可扩展微型阀的应用范围。
关键词
微电机系统
微流控
被动式微阀
SU-8
Keywords
Micro-electro-mechanical System（MEMS）
micro-fluid control
passive-micro-valve
SU-8
分类号
TH134.1 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
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作者
出处
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被引量
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1
基于SU-8胶的新型被动式微型阀
张丛春
郭泰
丁桂甫
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
3
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职称材料
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