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被动半刚性磨盘在平滑中频误差中的应用
1
作者
汉语
伍凡
+1 位作者
万勇建
房凯
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期319-322,共4页
介绍了一种去除中频误差的有效工具被动半刚性磨盘。被动半刚性磨盘由刚性基底、变形层、薄板层以及抛光层组成。这种特殊的夹层式结构使磨盘在平滑过程中具有高通滤波特性,因而能够有效去除中频误差。基于弹性力学和滤波器理论,分析了...
介绍了一种去除中频误差的有效工具被动半刚性磨盘。被动半刚性磨盘由刚性基底、变形层、薄板层以及抛光层组成。这种特殊的夹层式结构使磨盘在平滑过程中具有高通滤波特性,因而能够有效去除中频误差。基于弹性力学和滤波器理论,分析了被动半钢性磨盘的平滑机理,讨论了磨盘基本参数和误差频率之间的相互关系。以一块表面具有明显中频误差的抛物面镜为实验件,对被动半刚性磨盘的平滑能力进行验证,经过2个周期(共计75 min)的平滑后,中频误差得到了有效抑制。
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关键词
光学加工
被动半刚性磨盘
应力分析
中频误差
非球面
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职称材料
题名
被动半刚性磨盘在平滑中频误差中的应用
1
作者
汉语
伍凡
万勇建
房凯
机构
中国科学院光电技术研究所
中国科学院研究生院
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期319-322,共4页
基金
国家自然科学基金项目(60808017)
文摘
介绍了一种去除中频误差的有效工具被动半刚性磨盘。被动半刚性磨盘由刚性基底、变形层、薄板层以及抛光层组成。这种特殊的夹层式结构使磨盘在平滑过程中具有高通滤波特性,因而能够有效去除中频误差。基于弹性力学和滤波器理论,分析了被动半钢性磨盘的平滑机理,讨论了磨盘基本参数和误差频率之间的相互关系。以一块表面具有明显中频误差的抛物面镜为实验件,对被动半刚性磨盘的平滑能力进行验证,经过2个周期(共计75 min)的平滑后,中频误差得到了有效抑制。
关键词
光学加工
被动半刚性磨盘
应力分析
中频误差
非球面
Keywords
optical fabrication
passive semi-rigid lap
strain analysis
mid-frequency errors
aspheric optics
分类号
TQ171.6 [化学工程—玻璃工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
被动半刚性磨盘在平滑中频误差中的应用
汉语
伍凡
万勇建
房凯
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
0
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