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单晶硅反射镜激光能量吸收系数与衬底表面质量的关联
被引量：
4
1
作者
田野
戴一帆
+4 位作者
石峰
彭小强
韩凯
朱志武
万稳
《国防科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第6期26-29,共4页
高能激光系统中,单晶硅基底反射镜的能量吸收系数是影响系统性能的关键指标。衬底加工质量对镀膜后元件激光能量吸收系数影响显著。通过测试不同衬底粗糙度、划痕密度的单晶硅反射元件,分析衬底表面典型加工特征(粗糙度、划痕)对激光能...
高能激光系统中,单晶硅基底反射镜的能量吸收系数是影响系统性能的关键指标。衬底加工质量对镀膜后元件激光能量吸收系数影响显著。通过测试不同衬底粗糙度、划痕密度的单晶硅反射元件,分析衬底表面典型加工特征(粗糙度、划痕)对激光能量吸收系数的影响规律,认为粗糙度与吸收系数正相关,粗糙度均方根从0.668nm降低至0.345nm会使吸收系数降低28.0%。少量划痕对吸收系数的直接影响并不明显,吸收系数均值变化在3.1%以内。但表面划痕会诱发激光损伤,划痕密度较大时会引起后续能量吸收持续增大,辐照400s后,吸收系数较辐照100s时增大18.3%。
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关键词
单晶硅
激光能量吸收系数
衬底表面质量
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职称材料
题名
单晶硅反射镜激光能量吸收系数与衬底表面质量的关联
被引量：
4
1
作者
田野
戴一帆
石峰
彭小强
韩凯
朱志武
万稳
机构
国防科技大学机电工程与自动化学院
超精密加工技术湖南省重点实验室
国防科技大学光电科学与工程学院
出处
《国防科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第6期26-29,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(91023042)
文摘
高能激光系统中,单晶硅基底反射镜的能量吸收系数是影响系统性能的关键指标。衬底加工质量对镀膜后元件激光能量吸收系数影响显著。通过测试不同衬底粗糙度、划痕密度的单晶硅反射元件,分析衬底表面典型加工特征(粗糙度、划痕)对激光能量吸收系数的影响规律,认为粗糙度与吸收系数正相关,粗糙度均方根从0.668nm降低至0.345nm会使吸收系数降低28.0%。少量划痕对吸收系数的直接影响并不明显,吸收系数均值变化在3.1%以内。但表面划痕会诱发激光损伤,划痕密度较大时会引起后续能量吸收持续增大,辐照400s后,吸收系数较辐照100s时增大18.3%。
关键词
单晶硅
激光能量吸收系数
衬底表面质量
Keywords
mono-crystalline silicon
laser energy absorption rate
substrate surface quality
分类号
TN95 [电子电信—信号与信息处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
单晶硅反射镜激光能量吸收系数与衬底表面质量的关联
田野
戴一帆
石峰
彭小强
韩凯
朱志武
万稳
《国防科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
4
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