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衬底的Al化处理对AlN性能的影响
1
作者
贾辉
石璐珊
+1 位作者
黄鑫
叶太兵
《人工晶体学报》
CSCD
北大核心
2017年第8期1540-1544,共5页
研究了衬底的Al化处理对采用MOCVD法在c面蓝宝石衬底上高温生长Al N外延层的影响机制。通过原位监测监控整个外延生长过程,同时对Al N外延层的表面形貌和晶体质量以及应变状态进行表征研究。结果表明衬底的Al化处理导致Al N外延层的表...
研究了衬底的Al化处理对采用MOCVD法在c面蓝宝石衬底上高温生长Al N外延层的影响机制。通过原位监测监控整个外延生长过程,同时对Al N外延层的表面形貌和晶体质量以及应变状态进行表征研究。结果表明衬底的Al化处理导致Al N外延层的表面更加平整但是晶体质量下降,同时对外延层的应变也有很明显的影响。
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关键词
衬底的al化处理
MOCVD
al
N
晶体质量
应变
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职称材料
题名
衬底的Al化处理对AlN性能的影响
1
作者
贾辉
石璐珊
黄鑫
叶太兵
机构
公安海警学院基础部
宁波市科技信息研究院
出处
《人工晶体学报》
CSCD
北大核心
2017年第8期1540-1544,共5页
基金
国家自然科学基金(51146005)
亚热带建筑科学国家重点实验室开放课题项目(2010KA01)
文摘
研究了衬底的Al化处理对采用MOCVD法在c面蓝宝石衬底上高温生长Al N外延层的影响机制。通过原位监测监控整个外延生长过程,同时对Al N外延层的表面形貌和晶体质量以及应变状态进行表征研究。结果表明衬底的Al化处理导致Al N外延层的表面更加平整但是晶体质量下降,同时对外延层的应变也有很明显的影响。
关键词
衬底的al化处理
MOCVD
al
N
晶体质量
应变
Keywords
al
pre-treatment to substrate
MOCVD
al
N
cryst
al
qu
al
ity
strain
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
衬底的Al化处理对AlN性能的影响
贾辉
石璐珊
黄鑫
叶太兵
《人工晶体学报》
CSCD
北大核心
2017
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