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高压MOS晶体管双峰衬底电流分析及优化
被引量:
2
1
作者
王俊
董业民
+3 位作者
邹欣
邵丽
李文军
杨华岳
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期316-319,共4页
利用0.15μm标准CMOS工艺制造出了工作电压为30V的双扩散漏端MOS晶体管。观察到DDDMOS的衬底电流-栅压曲线有两个峰。实验表明,DDDMOS衬底电流的第二个峰对器件的可靠性有一定的影响。利用TCAD模拟解释了DDDMOS第二个衬底电流峰的形成机...
利用0.15μm标准CMOS工艺制造出了工作电压为30V的双扩散漏端MOS晶体管。观察到DDDMOS的衬底电流-栅压曲线有两个峰。实验表明,DDDMOS衬底电流的第二个峰对器件的可靠性有一定的影响。利用TCAD模拟解释了DDDMOS第二个衬底电流峰的形成机制,并通过求解泊松方程和电流连续性方程分析了器件的物理和几何参数与第二个衬底电流峰之间的关系。根据分析的结果优化了制造工艺,降低了DDDMOS的衬底电流,提高了器件的可靠性。
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关键词
高压器件
衬底电流
优化工艺
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职称材料
纳米级MOSFET衬底电流的偏置依赖性建模
2
作者
王林
王军
王丹丹
《电子技术应用》
北大核心
2016年第10期37-39,共3页
衬底电流是纳米级MOSFET电学性质分析的重要基础,也是集成电路设计的先决条件。建立精确的衬底电流模型是分析MOSFET器件及电路可靠性和进行电路设计所必需的。基于热载流子效应建立了一个常规结构纳米级MOSFET衬底电流的解析模型,并将...
衬底电流是纳米级MOSFET电学性质分析的重要基础,也是集成电路设计的先决条件。建立精确的衬底电流模型是分析MOSFET器件及电路可靠性和进行电路设计所必需的。基于热载流子效应建立了一个常规结构纳米级MOSFET衬底电流的解析模型,并将模型的仿真结果与实验结果相比较,验证了模型的准确性。同时对衬底电流与沟道长度和偏置电压的关系进行了分析研究,结果表明,衬底电流具有显著的沟道长度与偏置依赖性。
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关键词
衬底电流
纳米级MOSFET
偏置依赖性
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职称材料
双极值衬底电流对高压MOS器件退化的影响
3
作者
刘博
王磊
+3 位作者
冯志刚
王俊
李文军
程秀兰
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期247-250,共4页
基于0.18μm高压n型DEMOS(drain extended MOS)器件,报道了在衬底电流Isub两种极值条件下作高压器件的热载流子应力实验,结果发现器件电学性能参数(如线性区电流、开态电阻、最大电导和饱和漏电流)随应力时间有着明显退化。通过TCAD分...
基于0.18μm高压n型DEMOS(drain extended MOS)器件,报道了在衬底电流Isub两种极值条件下作高压器件的热载流子应力实验,结果发现器件电学性能参数(如线性区电流、开态电阻、最大电导和饱和漏电流)随应力时间有着明显退化。通过TCAD分析表明,这主要是由于持续电压负载引起器件内部界面态的变化和电子注入场氧层,进而改变了器件不同区域内部电场分布所致。同时模拟研究还表明,在Isub第一极大值条件下应力所致的器件退化,主要是由器件漏/沟道耗尽区域的电场强度增加引起的;而在Isub第二极值条件下的应力诱发器件退化,则主要是由漏端欧姆接触附近的电场加强所致。
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关键词
高压器件
扩展漏端MOS
衬底电流
热载流子注入
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职称材料
一种抗热载流子退化效应的新型CMOS电路结构
被引量:
4
4
作者
陈勇
杨谟华
+3 位作者
于奇
王向展
李竟春
谢孟贤
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第5期65-67,共3页
本文在分析MOSFET衬底电流原理的基础上 ,提出了一种新型抗热载流子退化效应的CMOS数字电路结构 .即通过在受热载流子退化效应较严重的NMOSFET漏极串联一肖特基二级管 ,来减小其所受电应力 .经SPICE及电路可靠性模拟软件BERT2 .0对倒相...
本文在分析MOSFET衬底电流原理的基础上 ,提出了一种新型抗热载流子退化效应的CMOS数字电路结构 .即通过在受热载流子退化效应较严重的NMOSFET漏极串联一肖特基二级管 ,来减小其所受电应力 .经SPICE及电路可靠性模拟软件BERT2 .0对倒相器的模拟结果表明 :该结构使衬底电流降低约 5 0 % ,器件的热载流子退化效应明显改善而不会增加电路延迟 ;且该电路结构中肖特基二级管可在NMOSFET漏极直接制作肖特基金半接触来方便地实现 ,工艺简明可行又无须增加芯片面积 .
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关键词
MOSFET
衬底电流
热载流子效应
CMOS电路结构
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职称材料
一种适用于MEMS麦克风的新型恒压电荷泵设计
被引量:
1
5
作者
张文杰
杨凤
+2 位作者
段杰斌
谢亮
金湘亮
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第3期300-304,共5页
实现了一种新型恒压输出电荷泵电路,通过选择合理的电荷泵结构能有效抑制反向电流及衬底电流,并通过一种负反馈稳压电路得到低纹波且不随电源电压变化的稳压输出,非常适用于MEMS麦克风。该电路采用MIXIC0.35μm标准CMOS工艺实现,测试结...
实现了一种新型恒压输出电荷泵电路,通过选择合理的电荷泵结构能有效抑制反向电流及衬底电流,并通过一种负反馈稳压电路得到低纹波且不随电源电压变化的稳压输出,非常适用于MEMS麦克风。该电路采用MIXIC0.35μm标准CMOS工艺实现,测试结果表明该电路能自适应2.8~3.6V的电源电压变化,输出稳定的9V直流电压。
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关键词
电荷泵
衬底电流
辅助金属氧化物半导体场效应晶体管
恒压输出
微机电系统麦克风
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职称材料
VDMOS器件高温热载流子效应的研究
6
作者
储晓磊
高珊
李尚君
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第1期39-44,共6页
用二维器件仿真软件Silvaco-Atlas模拟了VDMOS器件工作时产热分布,观察到高温区集中分布在沟道末端及积累层区域。仿真了自加热效应情形下的输出特性曲线,图像显示曲线在达到饱和点后随漏电压增大有下降趋势。结合理论揭示了自加热效应...
用二维器件仿真软件Silvaco-Atlas模拟了VDMOS器件工作时产热分布,观察到高温区集中分布在沟道末端及积累层区域。仿真了自加热效应情形下的输出特性曲线,图像显示曲线在达到饱和点后随漏电压增大有下降趋势。结合理论揭示了自加热效应造成器件电学参数退化机理。通过建立衬底电流模型,分析了衬底电流受偏置电压和温度影响的变化过程。结果表明:在偏置电压固定时,衬底电流随温度升高呈先下降后升高的变化过程;在高温和高偏置电压下衬底电流有指数上升趋势,而且正比于阈值电压、饱和漏电流以及传输特性等电学特性的退化。
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关键词
垂直双扩散金属氧化物半导体
自加热效应
衬底电流
热载流子效应
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职称材料
题名
高压MOS晶体管双峰衬底电流分析及优化
被引量:
2
1
作者
王俊
董业民
邹欣
邵丽
李文军
杨华岳
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
上海宏力半导体制造有限公司
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期316-319,共4页
文摘
利用0.15μm标准CMOS工艺制造出了工作电压为30V的双扩散漏端MOS晶体管。观察到DDDMOS的衬底电流-栅压曲线有两个峰。实验表明,DDDMOS衬底电流的第二个峰对器件的可靠性有一定的影响。利用TCAD模拟解释了DDDMOS第二个衬底电流峰的形成机制,并通过求解泊松方程和电流连续性方程分析了器件的物理和几何参数与第二个衬底电流峰之间的关系。根据分析的结果优化了制造工艺,降低了DDDMOS的衬底电流,提高了器件的可靠性。
关键词
高压器件
衬底电流
优化工艺
Keywords
high-voltage device
substrate current
process optimization
分类号
TN433 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
纳米级MOSFET衬底电流的偏置依赖性建模
2
作者
王林
王军
王丹丹
机构
西南科技大学信息工程学院
出处
《电子技术应用》
北大核心
2016年第10期37-39,共3页
文摘
衬底电流是纳米级MOSFET电学性质分析的重要基础,也是集成电路设计的先决条件。建立精确的衬底电流模型是分析MOSFET器件及电路可靠性和进行电路设计所必需的。基于热载流子效应建立了一个常规结构纳米级MOSFET衬底电流的解析模型,并将模型的仿真结果与实验结果相比较,验证了模型的准确性。同时对衬底电流与沟道长度和偏置电压的关系进行了分析研究,结果表明,衬底电流具有显著的沟道长度与偏置依赖性。
关键词
衬底电流
纳米级MOSFET
偏置依赖性
Keywords
substrate current
nanoscale MOSFET
bias dependence
分类号
TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
双极值衬底电流对高压MOS器件退化的影响
3
作者
刘博
王磊
冯志刚
王俊
李文军
程秀兰
机构
上海交通大学微电子学院
上海宏力半导体制造有限公司
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期247-250,共4页
文摘
基于0.18μm高压n型DEMOS(drain extended MOS)器件,报道了在衬底电流Isub两种极值条件下作高压器件的热载流子应力实验,结果发现器件电学性能参数(如线性区电流、开态电阻、最大电导和饱和漏电流)随应力时间有着明显退化。通过TCAD分析表明,这主要是由于持续电压负载引起器件内部界面态的变化和电子注入场氧层,进而改变了器件不同区域内部电场分布所致。同时模拟研究还表明,在Isub第一极大值条件下应力所致的器件退化,主要是由器件漏/沟道耗尽区域的电场强度增加引起的;而在Isub第二极值条件下的应力诱发器件退化,则主要是由漏端欧姆接触附近的电场加强所致。
关键词
高压器件
扩展漏端MOS
衬底电流
热载流子注入
Keywords
high voltage device
drain extended MOS
substrate current
hot carrier injection
分类号
TN386 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
一种抗热载流子退化效应的新型CMOS电路结构
被引量:
4
4
作者
陈勇
杨谟华
于奇
王向展
李竟春
谢孟贤
机构
电子科技大学微电子科学与工程系
出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第5期65-67,共3页
基金
国家自然科学基金资助课题
国防预研项目资助课题
文摘
本文在分析MOSFET衬底电流原理的基础上 ,提出了一种新型抗热载流子退化效应的CMOS数字电路结构 .即通过在受热载流子退化效应较严重的NMOSFET漏极串联一肖特基二级管 ,来减小其所受电应力 .经SPICE及电路可靠性模拟软件BERT2 .0对倒相器的模拟结果表明 :该结构使衬底电流降低约 5 0 % ,器件的热载流子退化效应明显改善而不会增加电路延迟 ;且该电路结构中肖特基二级管可在NMOSFET漏极直接制作肖特基金半接触来方便地实现 ,工艺简明可行又无须增加芯片面积 .
关键词
MOSFET
衬底电流
热载流子效应
CMOS电路结构
Keywords
MOSFET substrate current
Hot carrier effect
BERT
schottky contact
new CMOS circuits structure
分类号
TN432 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
一种适用于MEMS麦克风的新型恒压电荷泵设计
被引量:
1
5
作者
张文杰
杨凤
段杰斌
谢亮
金湘亮
机构
湘潭大学材料与光电物理学院
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第3期300-304,共5页
基金
国家科技重大专项资助项目(2011ZX05008-005-04-02)
教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-11-0975)
文摘
实现了一种新型恒压输出电荷泵电路,通过选择合理的电荷泵结构能有效抑制反向电流及衬底电流,并通过一种负反馈稳压电路得到低纹波且不随电源电压变化的稳压输出,非常适用于MEMS麦克风。该电路采用MIXIC0.35μm标准CMOS工艺实现,测试结果表明该电路能自适应2.8~3.6V的电源电压变化,输出稳定的9V直流电压。
关键词
电荷泵
衬底电流
辅助金属氧化物半导体场效应晶体管
恒压输出
微机电系统麦克风
Keywords
charge pump
substrate current
auxiliary MOSFET
constant voltage output
MEMS microphone
分类号
TN386.2 [电子电信—物理电子学]
TN431.1 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
VDMOS器件高温热载流子效应的研究
6
作者
储晓磊
高珊
李尚君
机构
安徽大学电子信息工程学院
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第1期39-44,共6页
基金
国家核高基重大专项资助项目(2010ZX0103 0-001-001-004)
文摘
用二维器件仿真软件Silvaco-Atlas模拟了VDMOS器件工作时产热分布,观察到高温区集中分布在沟道末端及积累层区域。仿真了自加热效应情形下的输出特性曲线,图像显示曲线在达到饱和点后随漏电压增大有下降趋势。结合理论揭示了自加热效应造成器件电学参数退化机理。通过建立衬底电流模型,分析了衬底电流受偏置电压和温度影响的变化过程。结果表明:在偏置电压固定时,衬底电流随温度升高呈先下降后升高的变化过程;在高温和高偏置电压下衬底电流有指数上升趋势,而且正比于阈值电压、饱和漏电流以及传输特性等电学特性的退化。
关键词
垂直双扩散金属氧化物半导体
自加热效应
衬底电流
热载流子效应
Keywords
vertical double-diffused MOS(VDMOS)
self-heating effect
substrate current
hot carrier effect
分类号
TN386 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高压MOS晶体管双峰衬底电流分析及优化
王俊
董业民
邹欣
邵丽
李文军
杨华岳
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008
2
在线阅读
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职称材料
2
纳米级MOSFET衬底电流的偏置依赖性建模
王林
王军
王丹丹
《电子技术应用》
北大核心
2016
0
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职称材料
3
双极值衬底电流对高压MOS器件退化的影响
刘博
王磊
冯志刚
王俊
李文军
程秀兰
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2009
0
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职称材料
4
一种抗热载流子退化效应的新型CMOS电路结构
陈勇
杨谟华
于奇
王向展
李竟春
谢孟贤
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000
4
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职称材料
5
一种适用于MEMS麦克风的新型恒压电荷泵设计
张文杰
杨凤
段杰斌
谢亮
金湘亮
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2013
1
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职称材料
6
VDMOS器件高温热载流子效应的研究
储晓磊
高珊
李尚君
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2016
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职称材料
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