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一种高性能MEMS气体流量传感器设计
被引量：
5
1
作者
李辉
张持健
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2014年第2期77-79,共3页
使用MEMS技术研制出一种高灵敏度热温差式流量传感器.器件采用热隔离性能良好的衬底挖空结构,且热敏电阻器与热源距离可调,保证了系统的灵敏度和响应速度.同时热敏电阻器、加热电阻器与电桥电阻器集成在传感器片内,提高了系统的稳定性....
使用MEMS技术研制出一种高灵敏度热温差式流量传感器.器件采用热隔离性能良好的衬底挖空结构,且热敏电阻器与热源距离可调,保证了系统的灵敏度和响应速度.同时热敏电阻器、加热电阻器与电桥电阻器集成在传感器片内,提高了系统的稳定性.实验表明：合适的电阻器间距可以获得较高的灵敏度,而在0～20 mL/min的量程范围内系统线性度较好,因此,在生化检测、医疗等领域具有良好的推广前景.
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关键词
气体流量传感器
MEMS
热温差原理
衬底挖空结构
灵敏度
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职称材料
题名
一种高性能MEMS气体流量传感器设计
被引量：
5
1
作者
李辉
张持健
机构
安徽师范大学物理与电子信息学院
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2014年第2期77-79,共3页
基金
安徽省高等学校省级自然科学研究项目(KJ2013Z094)
安徽师范大学科研培育基金资助项目(160-721244)
文摘
使用MEMS技术研制出一种高灵敏度热温差式流量传感器.器件采用热隔离性能良好的衬底挖空结构,且热敏电阻器与热源距离可调,保证了系统的灵敏度和响应速度.同时热敏电阻器、加热电阻器与电桥电阻器集成在传感器片内,提高了系统的稳定性.实验表明：合适的电阻器间距可以获得较高的灵敏度,而在0～20 mL/min的量程范围内系统线性度较好,因此,在生化检测、医疗等领域具有良好的推广前景.
关键词
气体流量传感器
MEMS
热温差原理
衬底挖空结构
灵敏度
Keywords
gas flow sensor
MEMS
differential calorimetric principle
substrate hollowed out structure
sensitivity
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种高性能MEMS气体流量传感器设计
李辉
张持健
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2014
5
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