MEMS/NEMS表面3-D轮廓测量中基于模板的相位解包裹方法 被引量：2

1

作者 黄玉波 栗大超 +3 位作者 胡小唐 胡春光 张文栋 徐临燕 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1488-1492,共5页

相位解包裹是使用相移显微干涉法测量MEMS/NEMS表面3-D轮廓时的重要步骤.本文针对普通的相位解包裹方法在复杂轮廓或包含非理想数据区的表面轮廓测量中的局限性,提出一种基于模板的广度优先搜索相位展开方法.通过模板的使用,先将非相容... 相位解包裹是使用相移显微干涉法测量MEMS/NEMS表面3-D轮廓时的重要步骤.本文针对普通的相位解包裹方法在复杂轮廓或包含非理想数据区的表面轮廓测量中的局限性,提出一种基于模板的广度优先搜索相位展开方法.通过模板的使用,先将非相容区域标记出来,在相位解包裹的过程中绕过这些区域,即可得到准确可靠的相位展开结果.通过具体的应用实例可以证明,使用不同模板可以根据不同应用的需要灵活而准确地实现微纳结构表面3-D轮廓测量中的相位展开. 展开更多

关键词 MEMS/NEMS 表面轮廓测量 模板 相位解包裹 边缘检测

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表面轮廓参数测量的数字滤波 被引量：1

2

作者 赵学智 赖兴余 +1 位作者 叶邦彦 鄢春艳 《江西农业大学学报》 CAS CSCD 1998年第2期252-255,共4页

通过对加工表面轮廓特征的分析，讨论了在表面轮廓参数测量中，表面波度的影响以及对其排除的必要性和重要性。介绍了在表面轮廓测量中一种数字滤波的方法，并进行了实例分析。

关键词 表面轮廓测量 表面波度 数字滤波

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激光干涉接触式轴承表面轮廓综合测量 被引量：2

3

作者 孙艳玲 谢铁邦 《轴承》 北大核心 2006年第4期33-36,共4页

介绍了一种可用于测量滚动轴承曲面形貌的表面轮廓综合测量仪,在测量中应使杠杆处于平衡位置,以减小测量力;用衍射光栅干涉位移传感器作为位移测量系统代替传统的电感位移传感器;z向工作台采用粗、细两级驱动定位,利用步进电机驱动斜面... 介绍了一种可用于测量滚动轴承曲面形貌的表面轮廓综合测量仪,在测量中应使杠杆处于平衡位置,以减小测量力;用衍射光栅干涉位移传感器作为位移测量系统代替传统的电感位移传感器;z向工作台采用粗、细两级驱动定位,利用步进电机驱动斜面导轨进行粗级定位以扩大量程,压电陶瓷做微位移驱动实现精密定位以提高测量精度。论述了该仪器的整体结构、测量原理、工作台的定位控制以及衍射光栅干涉信号的处理。 展开更多

关键词 滚动轴承 表面轮廓测量仪 衍射光栅 压电陶瓷

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三维表面轮廓的白光干涉垂直扫描测量方法的研究 被引量：2

4

作者 汪洁 常素萍 谢铁邦 《计量学报》 CSCD 北大核心 2006年第z1期160-163,共4页

基于白光干涉垂直扫描轮廓测量原理,研制出一种以6JA干涉显微镜为基础,配合自带计量衍射光栅测量系统的精密垂直位移工作台,从而实现大范围、高精度三维表面轮廓测量的方法.实验结果表明,采用白光干涉垂直扫描轮廓测量方法,可满足测量... 基于白光干涉垂直扫描轮廓测量原理,研制出一种以6JA干涉显微镜为基础,配合自带计量衍射光栅测量系统的精密垂直位移工作台,从而实现大范围、高精度三维表面轮廓测量的方法.实验结果表明,采用白光干涉垂直扫描轮廓测量方法,可满足测量解析度及精度达到纳米等级的同时,其垂直测量范围可达80μm的三维表面轮廓测量要求. 展开更多

关键词 计量学 表面三维轮廓测量 垂直扫描白光干涉法

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基于贝塞尔结构光的表面轮廓三角测量系统

5

作者 孟浩 刘国忠 《激光杂志》 北大核心 2018年第4期23-26,共4页

激光三角法是表面轮廓测量与重建的常用方法。传统的激光三角测量系统采用高斯光束作为指示光源,入射光的离焦使光斑直径变大,导致测量精度降低。将贝塞尔结构光应用于激光三角测量系统中,利用贝塞尔结构光的无衍射特性,解决传统激光三... 激光三角法是表面轮廓测量与重建的常用方法。传统的激光三角测量系统采用高斯光束作为指示光源,入射光的离焦使光斑直径变大,导致测量精度降低。将贝塞尔结构光应用于激光三角测量系统中,利用贝塞尔结构光的无衍射特性,解决传统激光三角测量系统的“焦深”问题。系统利用灰色自适应加权均值滤波对贝塞尔结构光条纹图像进行预处理,采用灰度质心法对中心光斑进行定位。实验结果表明,经系统测量与重建后的工件圆弧半径与标称值之间的相对误差为3.2%。所构建的测量系统可有效实现表面三维轮廓测量与重建。 展开更多

关键词 表面轮廓测量 贝塞尔结构光 灰度质心法

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基于卡尔曼预测的差动共焦轮廓跟踪测量方法 被引量：4

6

作者 罗杰 刘子豪 +2 位作者 刘一郡 赵维谦 王允 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第3期25-32,共8页

针对轴向扫描式差动共焦测量法(ASDCM)测量轮廓效率低下问题,提出一种基于卡尔曼预测的差动共焦轮廓跟踪测量方法。该方法使用激光差动共焦轴向响应曲线数百纳米量程的线性区间实现了表面连续轮廓高精度线性传感测量,提高了测量效率;同... 针对轴向扫描式差动共焦测量法(ASDCM)测量轮廓效率低下问题,提出一种基于卡尔曼预测的差动共焦轮廓跟踪测量方法。该方法使用激光差动共焦轴向响应曲线数百纳米量程的线性区间实现了表面连续轮廓高精度线性传感测量,提高了测量效率;同时引入基于卡尔曼预测器的轮廓跟踪原理利用已测轮廓点数据对未测表面预测并跟踪,扩展了线性传感轮廓测量法测量范围。实验结果表明,该方法相对于ASDCM法测量效率提升了8倍,且实现了轮廓PV值大于线性传感测量范围的标准椭圆柱高精度跟踪测量,激光聚变靶丸内轮廓圆度重复测量标准差达3 nm。为精密元器件表面连续轮廓的高精度、快速、无损测量提供了一种高质量方法。 展开更多

关键词 卡尔曼预测 差动共焦 表面轮廓测量 激光聚变靶丸

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操纵杆控制电路在轴承表面轮廓仪中的应用

7

作者 杨晨 江纯清 +2 位作者 江玮 胡英贝 洪泽熙 《轴承》 北大核心 2010年第12期39-41,共3页

设计了一种应用于轴承表面轮廓测量仪中的操纵杆控制电路,该电路与计算机数字控制技术相结合,大大提高了仪器操作的灵活性、方便性和安全性。同时,该技术可广泛用于圆柱度仪、三坐标仪及大型圆度仪等具有二维、三维控制系统的测量仪器。

关键词 滚动轴承 表面轮廓测量仪 操纵杆 控制电路 多维控制

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基于AD598的三维表面粗糙度测量仪的研究 被引量：1

8

作者 邹华东 林胜鹏 +1 位作者 刘锴洋 张志田 《制造技术与机床》 北大核心 2021年第12期110-114,共5页

研究了一种三维表面粗糙度测量仪,该测量仪采用单桥差动式电感传感器,对电感信号的处理设计了基于AD598芯片的适应性好且性能优越的信号处理电路,在C++Builder开发环境中开发了三维表面粗糙度评定软件。采用仪器对标准粗糙度样件进行了... 研究了一种三维表面粗糙度测量仪,该测量仪采用单桥差动式电感传感器,对电感信号的处理设计了基于AD598芯片的适应性好且性能优越的信号处理电路,在C++Builder开发环境中开发了三维表面粗糙度评定软件。采用仪器对标准粗糙度样件进行了二、三维表面粗糙度测量,测量结果准确可靠。仪器实现了对工件的三维粗糙度评价,结果输出方式多样,具有较好的应用前景。 展开更多

关键词 三维表面粗糙度测量仪 AD598 表面轮廓测量

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强激光光学元件表面功率谱密度函数估计 被引量：10

9

作者 沈卫星 徐德衍 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第4期392-396,共5页

在扼要描述了光学元件表面轮廓测量中功率谱密度（ＰＳＤ）函数的基本概念、公 式和应用基础上，重点讨论了光学元件表面低频和中高频空间频率ＰＳＤ对光场分布的影响， 并给出了强激光光学元件表面ＰＳＤ函数曲线的几个实测结果。

关键词 功率谱密度函数 表面轮廓测量 强激光 光学元件

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白光轴向色差技术用于材料动态损伤测量

10

作者 彭辉 李平 +2 位作者 裴晓阳 贺红亮 祁美兰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期3008-3014,共7页

实验研究了轴向色差测试技术用于动态损伤样品截面形貌测量的可行性,对材料动态损伤的损伤程度进行了高精度的表征与量化。首先,采用基于白光轴向色差的表面轮廓测试技术,对动态冲击实验"软回收"得到的样品截面进行测量;然后... 实验研究了轴向色差测试技术用于动态损伤样品截面形貌测量的可行性,对材料动态损伤的损伤程度进行了高精度的表征与量化。首先,采用基于白光轴向色差的表面轮廓测试技术,对动态冲击实验"软回收"得到的样品截面进行测量;然后,对测试数据进行重构,获得了样品截面二维图像和表面三维轮廓形貌。最后,针对该测试方法获得的数据建立了损伤计算方法,并利用该方法计算了材料的损伤量。结果表明:该技术能对样品截面进行大范围连续测量(6.9mm×9.999mm),获得样品截面清晰的三维形貌,并且将损伤度曲线的分辨率提高到3m。得到的结果显示:基于白光轴向色差的测试技术能实现材料动态损伤的大范围、高精度连续测量,测试工作量小,计算损伤的方法简单,能有效地提高损伤度曲线的分辨率。 展开更多

关键词 白光干涉术 表面轮廓测量 轴向色差 动态损伤材料 量化分析

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基于回转密封表面微观构造缺陷所导致的功能失效及其监控

11

作者 朱正德 《汽车技术》 北大核心 2014年第9期31-34,共4页

回转轴密封面的微观构造缺陷会引起动力总成类产品内腔的工作介质外泄,从而因功能失效造成严重的质量问题。从回转密封表面微观结构的形貌特征出发,对工作介质外泄成因做了说明,描述了利用表面轮廓仪、悬线法及白光测量等3种检测方案用... 回转轴密封面的微观构造缺陷会引起动力总成类产品内腔的工作介质外泄,从而因功能失效造成严重的质量问题。从回转密封表面微观结构的形貌特征出发,对工作介质外泄成因做了说明,描述了利用表面轮廓仪、悬线法及白光测量等3种检测方案用于评定回转密封面螺线状态的测量方法。 展开更多

关键词 回转密封面 表面轮廓测量 悬线偏移法 白光干涉测量 评定标准

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铝合金板表面形貌模型的研究 被引量：2

12

作者 张伟 李志刚 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期492-495,共4页

介绍了用于测量铝合金板表面微观形貌的AF-LI型表面轮廓测量仪的基本工作原理和技术指标,并采用接触式测量法,获得了铝合金板表面形貌的详细数据,得出了形貌评定参数,在此基础上建立了基于统计学规律的铝合金板表面形貌的数学模型。

关键词 铝合金板 表面轮廓测量仪 表面形貌 数学模型

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共模抑制干涉及其应用研究

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作者 屠大维 高志民 +1 位作者 金士良 孙微远 《上海大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1995年第5期514-520,共7页

本文提出一种适合于表面微观轮廓及表面三维面形测量的共模抑制干涉技术．该项技术可以有效地克服同类仪器中环境干扰、导轨误差及光源振幅噪声的影响，具有高精度、高稳定性的特点．文中将该技术应用于表面轮廓仪作为实例进行研究，取... 本文提出一种适合于表面微观轮廓及表面三维面形测量的共模抑制干涉技术．该项技术可以有效地克服同类仪器中环境干扰、导轨误差及光源振幅噪声的影响，具有高精度、高稳定性的特点．文中将该技术应用于表面轮廓仪作为实例进行研究，取得了轮廓测量精度优于４ｎｍ，横向分辨率为１．２μｍ的结果，并且仪器结构简单、成本低，便于安装及调试，适合于车间现场在线测量，充分显示了共模抑制干涉技术的优越性能． 展开更多

关键词 干涉仪 共模抑制技术 表面面形测量 表面轮廓测量

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