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应用Mg离子注入获得高表面空穴载流子浓度P-型GaN(英文)
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作者 龙涛 杨志坚 张国义 《北京大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期701-704,共4页
应用Mg离子注入MOCVD法生长掺杂Mg的GaN中 ,在经过 80 0℃ ,1h的退火后 ,获得高空穴载流子浓度 (8 2 8× 10 17cm-3 )的P 型GaN。
关键词 MOCVD 离子注入 表面空穴载流子浓度 镁掺杂 P-型CaN 半导体 氮化钙
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