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应用Mg离子注入获得高表面空穴载流子浓度P-型GaN(英文)
1
作者
龙涛
杨志坚
张国义
《北京大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第5期701-704,共4页
应用Mg离子注入MOCVD法生长掺杂Mg的GaN中 ,在经过 80 0℃ ,1h的退火后 ,获得高空穴载流子浓度 (8 2 8× 10 17cm-3 )的P 型GaN。
关键词
MOCVD
离子注入
表面空穴载流子浓度
镁掺杂
P-型CaN
半导体
氮化钙
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职称材料
题名
应用Mg离子注入获得高表面空穴载流子浓度P-型GaN(英文)
1
作者
龙涛
杨志坚
张国义
机构
北京大学物理学系
出处
《北京大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第5期701-704,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目 (6 97896 0 1
6 9876 0 0 2 )
文摘
应用Mg离子注入MOCVD法生长掺杂Mg的GaN中 ,在经过 80 0℃ ,1h的退火后 ,获得高空穴载流子浓度 (8 2 8× 10 17cm-3 )的P 型GaN。
关键词
MOCVD
离子注入
表面空穴载流子浓度
镁掺杂
P-型CaN
半导体
氮化钙
Keywords
MOCVD
ion implantation
Mg\|doped GaN
分类号
TN305.3 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
应用Mg离子注入获得高表面空穴载流子浓度P-型GaN(英文)
龙涛
杨志坚
张国义
《北京大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2001
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