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Pockels效应表面电荷测量中电荷反演算法的研究 被引量:15
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作者 穆海宝 张冠军 +1 位作者 郑楠 田中康宽 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2011年第13期135-141,共7页
Pockels效应表面电荷测量技术以其特有的技术优势逐步用于表面放电和等离子体的研究,然而如何准确获取表面电荷分布仍然是一个重要的研究课题。对Pockels效应表面电荷测量技术中的表面电荷反演算法进行研究,采用二维傅里叶变换将测量信... Pockels效应表面电荷测量技术以其特有的技术优势逐步用于表面放电和等离子体的研究,然而如何准确获取表面电荷分布仍然是一个重要的研究课题。对Pockels效应表面电荷测量技术中的表面电荷反演算法进行研究,采用二维傅里叶变换将测量信号和表面电荷的复杂关系转换到频域中进行计算,并采用维纳滤波算法进行信号处理。计算结果和传统算法的计算结果进行了对比,结果表明,改进算法在数值计算过程中考虑材料厚度、介电特性及不同位置电荷影响等因素,计算方法更为合理。该方法可用于不同材料表面电荷的测量计算。另外,算法中维纳滤波器是计算算法中关键的组成部分,对降低系统噪声,提高数值计算的稳定性能够起到很重要的作用。 展开更多
关键词 POCKELS效应 表面电荷测量 二维傅里叶变换 维纳滤波
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真空环境下介质表面电荷分布的测量方法 被引量:12
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作者 张要强 郑晓泉 +2 位作者 刘晓东 曲文波 马丽婵 《绝缘材料》 CAS 2006年第3期61-63,72,共4页
对比分析了真空中介质表面电荷分布测量中三类较实用的方法:表面电位法、静电容探头法、普克尔斯效应反射法,阐述了真空中介质表面电荷测量方法的研究新成果,最后提出了这一领域留待解决的新问题。
关键词 表面电荷测量 表面电位 静电容 普克尔斯效应
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基于静电力显微镜的绝缘体表面电荷微纳米尺度测量系统 被引量:6
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作者 赵慧斌 韩立 王秀凤 《绝缘材料》 CAS 2007年第2期66-68,共3页
基于静电力显微镜(EFM)设计了一套在微纳米尺度下观察研究电介质表面电荷的系统。该系统设有温度和湿度调节系统,可实现不同气体环境,并可模拟紫外照射功能。该系统为电介质表面电荷的研究提供了一种新的手段,为从微观尺度解释表面电荷... 基于静电力显微镜(EFM)设计了一套在微纳米尺度下观察研究电介质表面电荷的系统。该系统设有温度和湿度调节系统,可实现不同气体环境,并可模拟紫外照射功能。该系统为电介质表面电荷的研究提供了一种新的手段,为从微观尺度解释表面电荷的生成和行为特性提供了新的途径。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 SPM 绝缘材料 表面电荷测量
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气体放电表面电荷和空间电荷测量方法 被引量:5
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作者 任春荣 《电子测量技术》 2009年第11期46-50,共5页
气体放电是气体具有导体性质和作用的一种现象。目前广泛应用于机械加工、化工生产、材料制备和环境保护等领域。放电电荷量作为气体放电中的关键参数,其精确性关系到放电系统的控制和实际应用效果。从表面电荷和空间电荷两个方面阐述... 气体放电是气体具有导体性质和作用的一种现象。目前广泛应用于机械加工、化工生产、材料制备和环境保护等领域。放电电荷量作为气体放电中的关键参数,其精确性关系到放电系统的控制和实际应用效果。从表面电荷和空间电荷两个方面阐述了气体放电系统中常用电荷测量方法的测量原理、探头结构。在此基础上分析了各种测量方法的测量准确性和实际应用情况。 展开更多
关键词 气体放电 表面电荷测量 空间电荷测量
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绝缘体表面电荷的开尔文探针力显微镜测量方法 被引量:3
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作者 何月 何鹏 +2 位作者 幸代鹏 曾慧中 张万里 《电子测量技术》 2018年第12期91-95,共5页
研究了一种基于开环模式开尔文探针力显微镜的表面电荷测量方法。该方法能够避免闭环模式开尔文探针力显微镜中外加直流偏压对电荷测量的影响。研究了针尖-样品间距、交流电压、比例系数等参数对电势测量的影响,优化了开环模式开尔文探... 研究了一种基于开环模式开尔文探针力显微镜的表面电荷测量方法。该方法能够避免闭环模式开尔文探针力显微镜中外加直流偏压对电荷测量的影响。研究了针尖-样品间距、交流电压、比例系数等参数对电势测量的影响,优化了开环模式开尔文探针力显微镜电荷测量方法,并将该方法运用于反射镜薄膜表面电荷积累特性的研究。实验结果表明针尖-样品间距直接影响开环模式开尔文探针力显微镜电荷测量的准确性,当针尖-样品间距控制在100nm时,实验成功检测到反射镜在等离子环境中的表面电荷积累效应,并且实现高于100nC/cm2的电荷分辨率,这对反射镜薄膜在等离子环境下损耗增加机制的研究具有重要意义。 展开更多
关键词 开尔文探针力显微镜 绝缘体材料 表面电荷测量 反射镜薄膜
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