期刊文献+
共找到6篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
基于广义三维有限元模型的钴基合金激光熔覆层磨损表面演化数值预测方法
1
作者 葛梦辉 辛绍杰 +1 位作者 郭彦兵 刘吉成 《热加工工艺》 北大核心 2025年第6期83-88,92,共7页
在核反应堆堆内构件的钴基合金激光熔覆层耐磨性研究中,了解磨损表面的演化尤为重要。为了提高研究效率、加强对演化机理的分析,采用了基于广义三维有限元模型的数值预测方法,并制备3组试样对模型进行验证。结果表明,在微米级摩擦深度... 在核反应堆堆内构件的钴基合金激光熔覆层耐磨性研究中,了解磨损表面的演化尤为重要。为了提高研究效率、加强对演化机理的分析,采用了基于广义三维有限元模型的数值预测方法,并制备3组试样对模型进行验证。结果表明,在微米级摩擦深度的情况下,有限元仿真结果与试验结果基本一致,磨损深度仿真误差为6.1%,磨损深度预测最大误差为5.7%,磨损宽度预测最大误差为9.3%,磨痕截面轮廓基本保持一致。分析了16组仿真数据,磨损深度受硬度H和摩擦系数μ交互影响,整体呈现随H增大、μ减小而减小的趋势。 展开更多
关键词 表面演化 磨损 钴基合金 三维有限元 数值模拟
在线阅读 下载PDF
一种可用于硅刻蚀工艺模拟的三维表面演化算法 被引量:3
2
作者 张鉴 戚昊琛 +1 位作者 徐栋梁 胡智文 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期1869-1872,共4页
针对硅微加工中的刻蚀工艺模拟应用,提出了一种基于点元网格和单位法向量的三维表面演化算法.在形成的连续曲面上,以高斯积分法得到点元步进的单位法向量,实现三维表面的构建与推进.根据典型的刻蚀工艺及其物理模型,该表面演化算法能够... 针对硅微加工中的刻蚀工艺模拟应用,提出了一种基于点元网格和单位法向量的三维表面演化算法.在形成的连续曲面上,以高斯积分法得到点元步进的单位法向量,实现三维表面的构建与推进.根据典型的刻蚀工艺及其物理模型,该表面演化算法能够用于硅等离子体刻蚀等与表面演化方向相关的工艺模拟.参照简单的各向同性刻蚀,利用该三维算法实现了不同视角的三维硅刻蚀工艺的模拟结果,通过与相关实验结果的对比,验证了这种新型三维表面演化算法对相关工艺描述的实用性与准确性. 展开更多
关键词 硅刻蚀 工艺模拟 三维 表面演化算法
在线阅读 下载PDF
热机载荷下GH4169G车削-喷丸加工表面完整性的演化机理
3
作者 何喆 李佳乐 +2 位作者 史恺宁 樊昱昌 黄新春 《中国机械工程》 北大核心 2025年第4期780-789,共10页
以航空发动机用镍基高温合金GH4169G为研究对象,开展服役条件下车削-喷丸复合加工表面完整性演化机理研究。通过模拟服役环境的热机载荷试验,分析了热载荷、机械载荷以及热机载荷对表面完整性的作用形式,建立了表面完整性控制的热机载... 以航空发动机用镍基高温合金GH4169G为研究对象,开展服役条件下车削-喷丸复合加工表面完整性演化机理研究。通过模拟服役环境的热机载荷试验,分析了热载荷、机械载荷以及热机载荷对表面完整性的作用形式,建立了表面完整性控制的热机载荷模型和基于余弦函数控制因子的残余应力及显微硬度演化模型,掌握了热机载荷作用下的残余应力松弛规律和显微硬度及表层微观组织变化规律。研究结果为掌握镍基高温合金在服役环境下加工表面完整性的演化形式提供了基础数据,进一步优化了表面完整性控制工艺。 展开更多
关键词 高温合金GH4169G 车削-喷丸复合加工 服役环境 表面完整性演化
在线阅读 下载PDF
磁控溅射SiC薄膜表面形貌演化行为研究 被引量:2
4
作者 陈晖 周细应 孙卿 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2011年第4期32-36,共5页
采用射频磁控溅射法在石英玻璃基底上沉积SiC薄膜。用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观察薄膜的表面形貌,利用粗糙度和颗粒度大小对薄膜表面形貌动态演化进行量化表征。结果表明:在100~175 W溅射功率范围内,1 000℃高温真空... 采用射频磁控溅射法在石英玻璃基底上沉积SiC薄膜。用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观察薄膜的表面形貌,利用粗糙度和颗粒度大小对薄膜表面形貌动态演化进行量化表征。结果表明:在100~175 W溅射功率范围内,1 000℃高温真空退火处理能明显减小SiC薄膜表面粗糙度,膜层表面更为平滑,颗粒大小更为均匀;随着溅射功率的增大,颗粒度的总体变化呈现先增大后减小的趋势。 展开更多
关键词 SIC薄膜 表面演化 原子力显微镜
在线阅读 下载PDF
MEMS工艺中反应离子深刻蚀硅片的数值模型研究 被引量:7
5
作者 张鉴 黄庆安 李伟华 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1426-1429,1433,共5页
反应离子深刻蚀(DRIE)是目前MEMS加工中便捷有效的主流加工工艺之一.开发较为快捷有效的工艺仿真模型与工具,对于工艺的数值预报,有着重要的作用.通过对现有表面演化算法的比较,建立了一种基于单一表面演化算法的反应离子深刻蚀模型,有... 反应离子深刻蚀(DRIE)是目前MEMS加工中便捷有效的主流加工工艺之一.开发较为快捷有效的工艺仿真模型与工具,对于工艺的数值预报,有着重要的作用.通过对现有表面演化算法的比较,建立了一种基于单一表面演化算法的反应离子深刻蚀模型,有效地解决了运算效率、材料区分等问题及对原表面演化算法稳定性的改善,并对深刻蚀中的淀积模型进行了改进.与实验结果较为一致的模拟结果验证了本文模型的有效性. 展开更多
关键词 反应离子深刻蚀 表面演化算法 模型 仿真
在线阅读 下载PDF
一种模拟土体流动的连续体数值方法 被引量:7
6
作者 张雪 盛岱超 《岩土工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期562-569,共8页
介绍了一种先进的能够处理土体流动问题的连续体数值模拟方法——粒子有限元法(PFEM)。这一方法不仅继承了传统有限元法扎实的数学理论基础(即每一个增量步分析均为经典拉格朗日有限元分析过程),同时还能绕开在大变形情况下由于固定网... 介绍了一种先进的能够处理土体流动问题的连续体数值模拟方法——粒子有限元法(PFEM)。这一方法不仅继承了传统有限元法扎实的数学理论基础(即每一个增量步分析均为经典拉格朗日有限元分析过程),同时还能绕开在大变形情况下由于固定网格拓扑结构带来的计算困难。详细阐述了粒子有限元法的基本思想以及如何基于已有的有限元法程序发展粒子有限元法,并揭示了粒子有限元法中的几个关键性技术。为验证粒子有限元法的准确性并展示其先进性,采用粒子有限元法模拟了准静态和动态颗粒柱的坍塌问题以及边坡稳定性问题。模拟结果表明:粒子有限元法特别适合于模拟包含岩土材料流固转换行为的大变形工程问题。 展开更多
关键词 粒子有限元法 任意大变形 自由表面演化 颗粒柱坍塌 山体滑坡
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部