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锥形轮廓亚波长二维表面浮雕结构的矢量衍射特性
被引量:
9
1
作者
鱼卫星
卢振武
+1 位作者
王鹏
翁志成
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第3期331-335,共5页
本文利用严格耦合波理论对多台阶逼近锥形轮廓的亚波长二维表面浮雕结构进行了计算分析 .从本文的计算结果来看 ,采用多台阶来逐步逼近锥形轮廓的亚波长零级二维表面浮雕结构具有在宽波段、大视角上能够实现抗反射 ,并且对光波的偏振态...
本文利用严格耦合波理论对多台阶逼近锥形轮廓的亚波长二维表面浮雕结构进行了计算分析 .从本文的计算结果来看 ,采用多台阶来逐步逼近锥形轮廓的亚波长零级二维表面浮雕结构具有在宽波段、大视角上能够实现抗反射 ,并且对光波的偏振态下不敏感的特性 .从而使得该结构为薄膜光学在材料的选择方面提供了极大的选择自由度 .
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关键词
抗反射
二维
表面浮雕结构
严格耦合波
多台阶逼近
锥形轮廓
矢量衍射特性
亚波长
结构
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职称材料
蚀刻表面面形的分析
被引量:
3
2
作者
张殿文
卢振武
+5 位作者
曹召良
李凤友
赵晶丽
裴舒
刘玉玲
王肇圻
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第7期887-893,共7页
采用一个有效的数学模型 ,分析了在蚀刻工艺中基底自身面形轮廓的曲线形状对基底局部区域的蚀刻速率产生的影响 ,并通过对数学模型的理论分析和计算机模拟得出受此影响而产生的面形形状 ,并将结果与实验进行对比 .利用这个数学模型对使...
采用一个有效的数学模型 ,分析了在蚀刻工艺中基底自身面形轮廓的曲线形状对基底局部区域的蚀刻速率产生的影响 ,并通过对数学模型的理论分析和计算机模拟得出受此影响而产生的面形形状 ,并将结果与实验进行对比 .利用这个数学模型对使用离子束蚀刻制作单台阶光栅的台阶与沟槽部分的表面面形随时间的演变过程进行了计算机模拟分析 ,并通过把理论结果与在实验中得到的蚀刻表面在原子力显微镜 ( AFM)下拍摄的照片进行比较 ,结果说明这种模拟分析能够保证对该问题分析所要求的精度 。
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关键词
蚀刻
表面
面形
离子束蚀刻
光栅
表面浮雕结构
准单向蚀刻效应
衍射光学元件
数学模型
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职称材料
光的干涉与衍射
3
《中国光学》
EI
CAS
2002年第1期8-11,共4页
O436.1//TH703 2002010049微角锥棱镜阵列回归反射器衍射特性=Diffractiveproperties of micro - prism retro - reflectors[刊,中]/袁景用,张延炘,王勇,陈戍,刘玥(南开大学现代光学研究所.天津(300071)),陈波(四川大学物理系.四川,成都...
O436.1//TH703 2002010049微角锥棱镜阵列回归反射器衍射特性=Diffractiveproperties of micro - prism retro - reflectors[刊,中]/袁景用,张延炘,王勇,陈戍,刘玥(南开大学现代光学研究所.天津(300071)),陈波(四川大学物理系.四川,成都(610064))∥光电子·激光.—2001,12(1).
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关键词
角锥棱镜阵列
光电子
衍射特性
半导体激光器
模拟退火算法
衍射效率
二维
表面浮雕结构
反射器
达曼光栅
杨氏干涉条纹
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职称材料
光的干涉与衍射
4
《中国光学》
EI
CAS
2002年第5期8-12,共5页
O436.1 2002053254 二维表面浮雕结构的矢量衍射分析=Vector analysisof two-dimensional surface-relief structurediffraction[刊,中]/鱼卫星,卢振武,王鹏,翁志成(中科院长春光机所应用光学国家重点实验室.吉林。
关键词
国家重点实验室
二维
表面浮雕结构
二元光学元件
蚀刻衍射光栅
应用光学
多层膜光栅
技术研究
光电子技术
中科院
现代光学仪器
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职称材料
题名
锥形轮廓亚波长二维表面浮雕结构的矢量衍射特性
被引量:
9
1
作者
鱼卫星
卢振武
王鹏
翁志成
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第3期331-335,共5页
基金
国防预研基金资助项目
文摘
本文利用严格耦合波理论对多台阶逼近锥形轮廓的亚波长二维表面浮雕结构进行了计算分析 .从本文的计算结果来看 ,采用多台阶来逐步逼近锥形轮廓的亚波长零级二维表面浮雕结构具有在宽波段、大视角上能够实现抗反射 ,并且对光波的偏振态下不敏感的特性 .从而使得该结构为薄膜光学在材料的选择方面提供了极大的选择自由度 .
关键词
抗反射
二维
表面浮雕结构
严格耦合波
多台阶逼近
锥形轮廓
矢量衍射特性
亚波长
结构
Keywords
Broadband
Great visual angle
Antrieflection two dimensional surface relief structure
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
O484.41 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
蚀刻表面面形的分析
被引量:
3
2
作者
张殿文
卢振武
曹召良
李凤友
赵晶丽
裴舒
刘玉玲
王肇圻
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
南开大学现代光学研究所
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第7期887-893,共7页
文摘
采用一个有效的数学模型 ,分析了在蚀刻工艺中基底自身面形轮廓的曲线形状对基底局部区域的蚀刻速率产生的影响 ,并通过对数学模型的理论分析和计算机模拟得出受此影响而产生的面形形状 ,并将结果与实验进行对比 .利用这个数学模型对使用离子束蚀刻制作单台阶光栅的台阶与沟槽部分的表面面形随时间的演变过程进行了计算机模拟分析 ,并通过把理论结果与在实验中得到的蚀刻表面在原子力显微镜 ( AFM)下拍摄的照片进行比较 ,结果说明这种模拟分析能够保证对该问题分析所要求的精度 。
关键词
蚀刻
表面
面形
离子束蚀刻
光栅
表面浮雕结构
准单向蚀刻效应
衍射光学元件
数学模型
Keywords
Ion beam etching
Grating
surface relief
Quasi directional effect
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
TH74 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
光的干涉与衍射
3
出处
《中国光学》
EI
CAS
2002年第1期8-11,共4页
文摘
O436.1//TH703 2002010049微角锥棱镜阵列回归反射器衍射特性=Diffractiveproperties of micro - prism retro - reflectors[刊,中]/袁景用,张延炘,王勇,陈戍,刘玥(南开大学现代光学研究所.天津(300071)),陈波(四川大学物理系.四川,成都(610064))∥光电子·激光.—2001,12(1).
关键词
角锥棱镜阵列
光电子
衍射特性
半导体激光器
模拟退火算法
衍射效率
二维
表面浮雕结构
反射器
达曼光栅
杨氏干涉条纹
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
光的干涉与衍射
4
出处
《中国光学》
EI
CAS
2002年第5期8-12,共5页
文摘
O436.1 2002053254 二维表面浮雕结构的矢量衍射分析=Vector analysisof two-dimensional surface-relief structurediffraction[刊,中]/鱼卫星,卢振武,王鹏,翁志成(中科院长春光机所应用光学国家重点实验室.吉林。
关键词
国家重点实验室
二维
表面浮雕结构
二元光学元件
蚀刻衍射光栅
应用光学
多层膜光栅
技术研究
光电子技术
中科院
现代光学仪器
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
锥形轮廓亚波长二维表面浮雕结构的矢量衍射特性
鱼卫星
卢振武
王鹏
翁志成
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
9
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职称材料
2
蚀刻表面面形的分析
张殿文
卢振武
曹召良
李凤友
赵晶丽
裴舒
刘玉玲
王肇圻
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
3
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下载PDF
职称材料
3
光的干涉与衍射
《中国光学》
EI
CAS
2002
0
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职称材料
4
光的干涉与衍射
《中国光学》
EI
CAS
2002
0
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职称材料
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