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表面波等离子体沉积类金刚石膜结构的Raman光谱和XPS分析
被引量：
12
1
作者
黄卫东
詹如娟
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期512-514,共3页
本文使用Raman光谱和X 射线光电子能谱 (XPS)的分析方法对表面波等离子体沉积的类金刚石(DLC)薄膜的结构进行了研究。采用 4峰的高斯解谱的方法对不同沉积时间的膜的Raman谱进行处理 ,并由此对膜中sp3键的百分含量PD 进行了定量计算 ;...
本文使用Raman光谱和X 射线光电子能谱 (XPS)的分析方法对表面波等离子体沉积的类金刚石(DLC)薄膜的结构进行了研究。采用 4峰的高斯解谱的方法对不同沉积时间的膜的Raman谱进行处理 ,并由此对膜中sp3键的百分含量PD 进行了定量计算 ;同时还采用 3峰的高斯解谱方法对不同沉积时间的膜的光电子能谱进行处理 ,也对膜中sp3键的百分含量进行了计算。两种方法均得到膜中sp3含量在 2 0 %～ 4 0 %之间 ,且随沉积时间的增加而增加。
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关键词
表面波等离子体沉积
类金刚石膜
结构
XPS
类金刚石
RAMAN光谱
X-射线光电子能谱
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职称材料
题名
表面波等离子体沉积类金刚石膜结构的Raman光谱和XPS分析
被引量：
12
1
作者
黄卫东
詹如娟
机构
中国科学院结构分析开放实验室
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期512-514,共3页
基金
国家自然科学基金重点项目资助 (No. 1 98350 30 )
文摘
本文使用Raman光谱和X 射线光电子能谱 (XPS)的分析方法对表面波等离子体沉积的类金刚石(DLC)薄膜的结构进行了研究。采用 4峰的高斯解谱的方法对不同沉积时间的膜的Raman谱进行处理 ,并由此对膜中sp3键的百分含量PD 进行了定量计算 ;同时还采用 3峰的高斯解谱方法对不同沉积时间的膜的光电子能谱进行处理 ,也对膜中sp3键的百分含量进行了计算。两种方法均得到膜中sp3含量在 2 0 %～ 4 0 %之间 ,且随沉积时间的增加而增加。
关键词
表面波等离子体沉积
类金刚石膜
结构
XPS
类金刚石
RAMAN光谱
X-射线光电子能谱
Keywords
diamond-like carbon
Raman spectrum
XpS
sp(3)
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
O484.5 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
表面波等离子体沉积类金刚石膜结构的Raman光谱和XPS分析
黄卫东
詹如娟
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
12
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