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表面波放电狭缝天线阵优化设计
1
作者
蔡红华
聂万胜
+1 位作者
车学科
丰松江
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第1期84-89,共6页
为优化表面波放电的狭缝天线阵设计,给表面波放电装置的设计提供理论依据,对狭缝天线布局进行了理论和仿真计算分析。结果表明,宽缝辐射的电磁场比纵缝强,同相激励天线辐射的电磁场比异相激励强,更容易击穿空气产生等离子体。基于磁场...
为优化表面波放电的狭缝天线阵设计,给表面波放电装置的设计提供理论依据,对狭缝天线布局进行了理论和仿真计算分析。结果表明,宽缝辐射的电磁场比纵缝强,同相激励天线辐射的电磁场比异相激励强,更容易击穿空气产生等离子体。基于磁场强度同相分布规律对已经采用的纵缝天线阵进行改进,纵缝按照两侧交互并间隔半个波导波长布置,各个纵缝均为同相,产生等离子体效果更好。
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关键词
表面波放电
狭缝天线
优化设计
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职称材料
小型腔式微波离子源的研制
被引量：
1
2
作者
施立群
余增亮
+2 位作者
冯慧云
彭士香
胡纯栋
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第3期218-222,共5页
研制了１种用在离子束细胞刻蚀装置中的小型腔式微波离子源，它由石英放电管、同轴谐振腔和封装在管一端的二电极引出系统组成。该源由同轴腔激发起的表面波在石英管内产生等离子体柱。为了提高柱末端等离子体离子引出流密度，选用了在...
研制了１种用在离子束细胞刻蚀装置中的小型腔式微波离子源，它由石英放电管、同轴谐振腔和封装在管一端的二电极引出系统组成。该源由同轴腔激发起的表面波在石英管内产生等离子体柱。为了提高柱末端等离子体离子引出流密度，选用了在内径７．０ｍｍ直管的一端加上一内径５．０ｍｍ衬管的放电管。在微波频率为２．４５ＧＨｚ，输入功率为９３Ｗ下，氮的引出流密度分别为４８．４ｍＡ／ｃｍ２和９１．７ｍＡ／ｃｍ２。这种表面波放电等离子体源体积小、结构简单，可在较宽的压强范围内产生重复性好、工作稳定的等离子体柱。
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关键词
微波离子源
表面波放电
离子流密度
等离子体
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职称材料
题名
表面波放电狭缝天线阵优化设计
1
作者
蔡红华
聂万胜
车学科
丰松江
机构
装备学院航天装备系
出处
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第1期84-89,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(11205244)
文摘
为优化表面波放电的狭缝天线阵设计,给表面波放电装置的设计提供理论依据,对狭缝天线布局进行了理论和仿真计算分析。结果表明,宽缝辐射的电磁场比纵缝强,同相激励天线辐射的电磁场比异相激励强,更容易击穿空气产生等离子体。基于磁场强度同相分布规律对已经采用的纵缝天线阵进行改进,纵缝按照两侧交互并间隔半个波导波长布置,各个纵缝均为同相,产生等离子体效果更好。
关键词
表面波放电
狭缝天线
优化设计
Keywords
Surface wave discharge
Slot antenna
Optimization design
分类号
O532.23 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
小型腔式微波离子源的研制
被引量：
1
2
作者
施立群
余增亮
冯慧云
彭士香
胡纯栋
机构
中国科学院等离子体物理研究所
出处
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第3期218-222,共5页
文摘
研制了１种用在离子束细胞刻蚀装置中的小型腔式微波离子源，它由石英放电管、同轴谐振腔和封装在管一端的二电极引出系统组成。该源由同轴腔激发起的表面波在石英管内产生等离子体柱。为了提高柱末端等离子体离子引出流密度，选用了在内径７．０ｍｍ直管的一端加上一内径５．０ｍｍ衬管的放电管。在微波频率为２．４５ＧＨｚ，输入功率为９３Ｗ下，氮的引出流密度分别为４８．４ｍＡ／ｃｍ２和９１．７ｍＡ／ｃｍ２。这种表面波放电等离子体源体积小、结构简单，可在较宽的压强范围内产生重复性好、工作稳定的等离子体柱。
关键词
微波离子源
表面波放电
离子流密度
等离子体
Keywords
Microwave ion source Surface wave produced discharge Ion current density
分类号
O531 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
表面波放电狭缝天线阵优化设计
蔡红华
聂万胜
车学科
丰松江
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2014
0
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职称材料
2
小型腔式微波离子源的研制
施立群
余增亮
冯慧云
彭士香
胡纯栋
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997
1
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