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预处理对不锈钢表面沉积类金刚石薄膜的影响 被引量:1
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作者 李红轩 徐洮 +3 位作者 陈建敏 周惠娣 胡丽天 刘惠文 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期545-546,共2页
关键词 预处理 不锈钢 金刚石薄膜 表面沉积类金刚石薄膜 铁质材料 DLC 化学酸处理
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铝合金表面沉积类金刚石薄膜的研究进展 被引量:6
2
作者 周佳 孙丽丽 +4 位作者 郭鹏 左潇 柯培玲 程晓英 汪爱英 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第1期113-121,共9页
类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)薄膜因其高硬度、良好的化学惰性以及优异的摩擦性能等优势,有望成为一种理想的铝合金表面防护涂层。对比了物理气相沉积(Physical vapor deposition,PVD)技术制备DLC改性材料与传统铝合金表面改性技... 类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)薄膜因其高硬度、良好的化学惰性以及优异的摩擦性能等优势,有望成为一种理想的铝合金表面防护涂层。对比了物理气相沉积(Physical vapor deposition,PVD)技术制备DLC改性材料与传统铝合金表面改性技术的优劣,概述了DLC薄膜在提升铝合金表面力学性能、减摩抗磨方面取得的最新成果,以及在复杂服役工况下面临的抗塑性变形差、易发生结合失效等瓶颈性问题。通过分析铝合金基体上生长高性能DLC薄膜的不利因素,指出界面化学结合强度低、薄膜残余应力大以及软基体/硬质薄膜的结构体系限制是导致上述问题产生的主要原因。在此基础上,重点综述了国内外研究学者为提高铝合金表面沉积DLC薄膜的膜基结合力所采取的有效措施及结果,包括:通过基体前处理增强基体力学性能与改善宏观表面缺陷;采用PVD或其他表面处理方法制备一层或多层的中间过渡层,缓解DLC薄膜与铝合金基体结构、性能之间的差异;调控DLC薄膜组分与结构以降低残余应力。最后展望了在铝合金基体表面制备DLC防护薄膜的发展趋势。 展开更多
关键词 铝合金 表面改性 金刚石薄膜 物理气相沉积 耐磨性 结合力
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涤纶材料表面类金刚石薄膜的沉积及其抗菌性能研究 被引量:16
3
作者 王进 潘长江 +2 位作者 李鹏 孙鸿 黄楠 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期563-565,共3页
 采用乙炔等离子体浸没离子注入与沉积(PIII D),对医用涤纶(PET)缝合环材料进行表面改性,Raman光谱、X射线光电子能谱(XPS)和衰减全反射傅立叶变换红外光谱(ATR FTIR)的分析结果表明:在涤纶材料表面有效地沉积了一层类金刚石(DLC)薄膜...  采用乙炔等离子体浸没离子注入与沉积(PIII D),对医用涤纶(PET)缝合环材料进行表面改性,Raman光谱、X射线光电子能谱(XPS)和衰减全反射傅立叶变换红外光谱(ATR FTIR)的分析结果表明:在涤纶材料表面有效地沉积了一层类金刚石(DLC)薄膜。原子力显微镜(AFM)的图像分析进一步证明表面平均粗糙度从58.9nm降低到11.2nm。细菌粘附实验结果证明沉积了类金刚石薄膜的表面对5种细菌———金黄色葡萄球菌(SA)、表皮葡萄球菌(SE)、大肠杆菌(EC)、绿浓杆菌(PA)和白色念珠菌(CA)的粘附均有明显抑制作用,其中从培养时间为15h的吸附情况比较来看,金黄色葡萄球菌的粘附率降低了70%,表皮葡萄球菌降低了86%。 展开更多
关键词 金刚石薄膜 细菌粘附 等离子体浸没离子注入与沉积(PIII0D) 涤纶 表面改性
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电沉析条件对钛合金表面液相沉积类金刚石薄膜的影响(英文) 被引量:2
4
作者 沈风雷 闻荻江 王红卫 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期1278-1281,共4页
在钛合金表面沉积类金刚石膜能改进钛合金的生物相容性,拓展其在人体植入材料中的应用。探讨了用液相电解沉积法在钛合金表面制备类金刚石薄膜的新方法。讨论了不同沉积条件对膜的影响。在1650和1850V时可以得到坚固的棕色膜。沉积36h后... 在钛合金表面沉积类金刚石膜能改进钛合金的生物相容性,拓展其在人体植入材料中的应用。探讨了用液相电解沉积法在钛合金表面制备类金刚石薄膜的新方法。讨论了不同沉积条件对膜的影响。在1650和1850V时可以得到坚固的棕色膜。沉积36h后,膜厚基本不变。沉积膜的Raman谱图表明,在1650和1850V沉积得到的是类金刚石薄膜,而在2000V时无法得到类金刚石薄膜。对膜的XPS分析表明,其主要成份是碳。XPS谱还表明在1650V时得到的膜可以将钛合金表面完全覆盖,而在1850V时则不能。以SEM分析表明在1650和1850V时得到的膜是由粒径约为400nm的小颗粒组成,而在2000V时得到只是疏松结构。并对类金刚石膜及钛合金的血液相容性进行了比较。 展开更多
关键词 金刚石薄膜 电解沉积 钛合金 血液相容性
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液相电沉积类金刚石薄膜的相关物理化学问题 被引量:10
5
作者 酒金婷 付强 +1 位作者 汪浩 朱鹤孙 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期571-578,共8页
利用液相电沉积技术制备了含氢类金刚石薄膜(DLC);讨论了应用电位和沉积碳源对沉积过程和薄膜结构的影响;结果表明有高介电常数、低粘度、分子中甲基基团直接与极性基团键合的有机液体是合适的沉积碳源;通过增加沉积电位将有利于薄... 利用液相电沉积技术制备了含氢类金刚石薄膜(DLC);讨论了应用电位和沉积碳源对沉积过程和薄膜结构的影响;结果表明有高介电常数、低粘度、分子中甲基基团直接与极性基团键合的有机液体是合适的沉积碳源;通过增加沉积电位将有利于薄膜中sp3碳的生长;最后,作者提出了液相沉积类金刚石薄膜的反应机理-极化-反应机制,在电场的作用下,有机分子被极化并在电极表面反应生成DLC薄膜和其他产物. 展开更多
关键词 液相电沉积 金刚石薄膜 物理化学 DLC薄膜 碳源 反应机理 结构
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脉冲激光沉积法沉积类金刚石薄膜的实验研究 被引量:6
6
作者 罗乐 赵读亮 +3 位作者 储雅琼 汪毅 马跃 陶汝华 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期759-763,共5页
为了研究脉冲激光沉积法中衬底温度和距离对类金刚石薄膜的影响,首先温度保持在200℃,靶和衬底间的距离分别取25.0 mm和30.0 mm来沉积类金刚石膜。其次温度保持在400℃,距离分别取25.0 mm和30.0 mm来沉积类金刚石膜。用Raman光谱仪对薄... 为了研究脉冲激光沉积法中衬底温度和距离对类金刚石薄膜的影响,首先温度保持在200℃,靶和衬底间的距离分别取25.0 mm和30.0 mm来沉积类金刚石膜。其次温度保持在400℃,距离分别取25.0 mm和30.0 mm来沉积类金刚石膜。用Raman光谱仪对薄膜的微观结构进行检测,用原子力显微镜对薄膜的表面形貌进行检测。实验结果表明:距离增加或者温度升高都会导致类金刚石薄膜的密度和sp^3/sp^2的比值减小,薄膜中石墨晶粒的数量增多和体积增大。近距离时温度的变化和低温时距离的变化对薄膜微观结构产生的影响更明显。距离和温度的变化对类金刚石薄膜的表面形貌也产生显著的影响。 展开更多
关键词 激光技术 脉冲激光沉积 金刚石薄膜 微观结构 表面形貌
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直流射频等离子体增强化学气相沉积类金刚石碳薄膜的结构及摩擦学性能研究 被引量:22
7
作者 李红轩 徐洮 +2 位作者 陈建敏 周惠娣 刘惠文 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期1-5,共5页
利用直流射频等离子增强化学气相沉积技术在单晶硅表面制备了类金刚石碳薄膜.采用Raman光谱、红外光谱、X射线光电子能谱和原子力显微镜等研究了薄膜的微观结构和表面形貌,在UMT-2MT型摩擦磨损试验机上考察了薄膜在不同载荷与滑动速度... 利用直流射频等离子增强化学气相沉积技术在单晶硅表面制备了类金刚石碳薄膜.采用Raman光谱、红外光谱、X射线光电子能谱和原子力显微镜等研究了薄膜的微观结构和表面形貌,在UMT-2MT型摩擦磨损试验机上考察了薄膜在不同载荷与滑动速度下的摩擦学性能.结果表明:所制备的类金刚石碳薄膜具有典型的类金刚石结构特征,薄膜均匀、致密,表面粗糙度小,硬度较高;薄膜与Si3N4陶瓷球对摩时显示出良好的抗磨减摩性能;随着试验载荷与滑动速度的提高,薄膜的摩擦系数降低,耐磨寿命降低;薄膜的减摩抗磨性能同其在Si3N4陶瓷球偶件磨损表面形成的转移膜相关. 展开更多
关键词 直流射频等离子增强化学气相沉积 金刚石薄膜 结构 摩擦学性能
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单源低能离子束辅助沉积类金刚石薄膜摩擦性能的研究 被引量:12
8
作者 朱宏 柳襄怀 +3 位作者 任琮欣 邹世昌 刘惠文 张绪寿 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第2期118-125,共8页
目前,制各类金刚石薄膜的方法很多,然而其中的多数在沉积过程中都需要基体具有比较高的温度,这就不可避免地会对耐温性能较差的材料造成损伤,或使机械零部件发生变形和尺寸变化.因此,利用单源低能离子束辅助沉积法制备了非晶碳薄... 目前,制各类金刚石薄膜的方法很多,然而其中的多数在沉积过程中都需要基体具有比较高的温度,这就不可避免地会对耐温性能较差的材料造成损伤,或使机械零部件发生变形和尺寸变化.因此,利用单源低能离子束辅助沉积法制备了非晶碳薄膜,并且利用喇曼光谱和俄歇电子能谱研究了薄膜的结构,发现其为无定形的类金刚石薄膜,薄膜中的碳原子成键主要是sp2杂化键.研究表明,随着离子能量和束流的增大,薄膜的显微硬度、摩擦系数和寿命都增大.由于这种方法制备的类金刚石薄膜的含氢量较少,膜中sp2杂化键较多,性能更接近于石墨,故其摩擦性能较好.研究结果对深入认识类金刚石簿膜结构和在改进磁盘表面耐磨保护涂层等薄膜润滑性能方面,都具有重要的指导意义和实用价值。 展开更多
关键词 离子束辅助沉积 金刚石薄膜 摩擦性能
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脉冲激光沉积制备类金刚石薄膜的结构和光学性质 被引量:6
9
作者 刘毅 林晓东 +2 位作者 张磊 张麟 陈弟虎 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期357-360,共4页
采用脉冲激光沉积方法在Si(100)衬底上制备了类金刚石薄膜,利用椭圆偏振光谱,拉曼光谱及X光电子能谱研究了衬底温度对薄膜的结构和光学性质的影响。结果表明较低衬底温度制备的薄膜的光学常数具有典型的类金刚石特征。衬底温度的升高导... 采用脉冲激光沉积方法在Si(100)衬底上制备了类金刚石薄膜,利用椭圆偏振光谱,拉曼光谱及X光电子能谱研究了衬底温度对薄膜的结构和光学性质的影响。结果表明较低衬底温度制备的薄膜的光学常数具有典型的类金刚石特征。衬底温度的升高导致了薄膜的有序化,使得薄膜的sp3键成分改变,从而影响了薄膜的光学常数。衬底温度过高,导致薄膜严重石墨化,表面粗糙度增加,不利于制备高质量类金刚石薄膜。 展开更多
关键词 金刚石薄膜 脉冲激光沉积 结构 光学性质
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不锈钢衬底两面同时液相电沉积类金刚石薄膜及其沉积机理研究 被引量:5
10
作者 李瑞山 冯有才 +3 位作者 王璇 张培增 谢二庆 杨华 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期56-60,共5页
为了利用液相电沉积技术实现在金属衬底表面全方位电沉积类金刚石(DLC)薄膜,采用不同尺度的不锈钢片作为衬底,在表面电沉积了DLC薄膜,利用X射线光电子能谱、Raman光谱和扫描电子显微镜分别对衬底两面薄膜的化学成分、微观结构和表面形... 为了利用液相电沉积技术实现在金属衬底表面全方位电沉积类金刚石(DLC)薄膜,采用不同尺度的不锈钢片作为衬底,在表面电沉积了DLC薄膜,利用X射线光电子能谱、Raman光谱和扫描电子显微镜分别对衬底两面薄膜的化学成分、微观结构和表面形貌进行了分析。结果显示:对于尺度大于石墨阳极的不锈钢衬底,仅在衬底正对着阳极的一面实现了DLC薄膜的沉积;而对于尺度小于阳极的不锈钢衬底,在衬底两面都有DLC薄膜沉积,且两面薄膜结构相似,形貌相近。利用准静态电场理论对实验结果进行了解释,提出在金属衬底表面实现液相电沉积DLC薄膜的前提条件是存在垂直于衬底表面的电场分量,为进一步实现在复杂形状的导电性衬底表面沉积DLC薄膜提供了理论依据。 展开更多
关键词 金刚石薄膜 沉积 全方位沉积
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真空弧源沉积类金刚石薄膜及其性能研究 被引量:6
11
作者 冷永祥 黄楠 +3 位作者 孙鸿 陈俊英 万国江 王进 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期229-230,共2页
采用真空孤源沉积技术在钛舍金及Si(100)表面合成DlLC薄膜,通入不同的氩气,控制DLC薄膜中的SP3/SP2比值。研究表明,薄膜硬度可达96GPa,随着氩气流量的增加,薄膜的硬度先增加,后有明显降低。随着氩气流量的增加,类金刚石薄膜中,SP2键增加... 采用真空孤源沉积技术在钛舍金及Si(100)表面合成DlLC薄膜,通入不同的氩气,控制DLC薄膜中的SP3/SP2比值。研究表明,薄膜硬度可达96GPa,随着氩气流量的增加,薄膜的硬度先增加,后有明显降低。随着氩气流量的增加,类金刚石薄膜中,SP2键增加,SP3键减少,而血液相容性明显提高。DLC薄膜具有优异的耐磨性,摩擦系数低,与钛合金基体结合牢固。 展开更多
关键词 真空弧源沉积 金刚石薄膜 血液相容性 纳米硬度 耐磨性 生物材料
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基于RFPECVD方法不锈钢上沉积类金刚石薄膜的机械与摩擦特性 被引量:16
12
作者 蔺增 巴德纯 +1 位作者 王志 闻立时 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期77-80,共4页
讨论用射频等离子体增强化学气相沉积 (RFPECVD)工艺 ,在室温下实现在 1Cr18Ni9Ti不锈钢基底上镀类金刚石(DLC)膜。为提高DLC膜的结合力 ,首先在不锈钢基底上沉积Ti/TiN/TiC功能梯度膜。借助所设计的界面过渡层 ,成功地在不锈钢基底上... 讨论用射频等离子体增强化学气相沉积 (RFPECVD)工艺 ,在室温下实现在 1Cr18Ni9Ti不锈钢基底上镀类金刚石(DLC)膜。为提高DLC膜的结合力 ,首先在不锈钢基底上沉积Ti/TiN/TiC功能梯度膜。借助所设计的界面过渡层 ,成功地在不锈钢基底上沉积了一定厚度的DLC膜。通过优化沉积参数 ,所沉积的DLC膜在与 10 0Cr6钢球对磨时摩擦系数低于 0 0 2 0。在摩擦过程中DLC膜的磨损机制借助SEM、Raman分析进行了研究。 展开更多
关键词 RFPECVD法 不锈钢 金刚石薄膜 射频等离子体增强化学气相沉积 DLC 摩擦系数
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金属等离子体浸没离子注入与沉积技术合成类金刚石薄膜研究 被引量:5
13
作者 刘洪喜 汤宝寅 +3 位作者 王浪平 王小峰 于永澔 孙韬 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期372-376,共5页
采用金属等离子体浸没离子注入与沉积技术在 9Cr18轴承钢基体表面合成了类金刚石薄膜。研究了注入脉宽和工作气压对合成薄膜性能及化学组成的影响 ;通过激光Raman光谱、维氏硬度、针盘试验和电化学腐蚀等测试手段分别表征了合成薄膜后... 采用金属等离子体浸没离子注入与沉积技术在 9Cr18轴承钢基体表面合成了类金刚石薄膜。研究了注入脉宽和工作气压对合成薄膜性能及化学组成的影响 ;通过激光Raman光谱、维氏硬度、针盘试验和电化学腐蚀等测试手段分别表征了合成薄膜后试样表面的化学组成和微观结构、显微硬度、摩擦磨损性能和抗腐蚀性能。结果表明 :合成薄膜后 ,试样的显微硬度增大了 88 7% ,摩擦磨损和抗腐蚀性能也明显改善。 展开更多
关键词 等离子体浸没离子注入 沉积技术 金属 显微硬度 维氏硬度 钢基体 表面 金刚石薄膜 合成 RAMAN光谱
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316不锈钢表面沉积厚类金刚石膜层的性能研究 被引量:9
14
作者 杨发展 沈丽如 +2 位作者 高翚 刘海峰 王世庆 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第15期1994-1997,共4页
采用脉冲辉光放电等离子体气相沉积法在316不锈钢表面沉积膜层较厚的类金刚石膜层。利用拉曼光谱仪(Raman)、X射线光电子能谱仪(XPS)、傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)、光学显微镜、显微硬度计和摩擦磨损实验机分别对膜层组成和微观结构... 采用脉冲辉光放电等离子体气相沉积法在316不锈钢表面沉积膜层较厚的类金刚石膜层。利用拉曼光谱仪(Raman)、X射线光电子能谱仪(XPS)、傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)、光学显微镜、显微硬度计和摩擦磨损实验机分别对膜层组成和微观结构及机械性能进行了表征。研究发现,通过脉冲辉光放电等离子体气相沉积法,在316不锈钢表面制备的类金刚石膜层光滑致密;Raman分析得到的ID/IG和IT/IG比值分别为0.72和0.22;FT-IR分析可知膜层含有较多的CHx组成的sp3键;摩擦磨损试验得到膜层的摩擦系数低至0.100,XPS分析膜层sp3含量高达60.7%和光学显微镜测量膜层的厚度达到7mm。由此可知沉积类金刚石膜层后,可以显著地改善316不锈钢表面的机械性能。 展开更多
关键词 316不锈钢 金刚石膜层 等离子体气相沉积 表面性能
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沉积气压对类金刚石薄膜结构和性能的影响 被引量:6
15
作者 凌晓 俞树荣 张俊彦 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第6期1878-1882,共5页
以纯甲烷为反应气体,采用等离子增强化学气相沉积技术通过改变沉积气压在316L不锈钢表面制备了一系列的类金刚石薄膜。薄膜结构、机械性能和摩擦学性能分别通过拉曼光谱仪(Raman)、纳米压痕仪(Nano-indententorⅡ)和往复球盘摩擦磨损试... 以纯甲烷为反应气体,采用等离子增强化学气相沉积技术通过改变沉积气压在316L不锈钢表面制备了一系列的类金刚石薄膜。薄膜结构、机械性能和摩擦学性能分别通过拉曼光谱仪(Raman)、纳米压痕仪(Nano-indententorⅡ)和往复球盘摩擦磨损试验仪获得。研究结果表明,随着沉积气压从7 Pa增加到15 Pa,薄膜的sp3含量和机械性能明显增加,而摩擦学性能显著降低。随着沉积气压从15 Pa增加到31 Pa,薄膜的sp3含量和机械性能明显降低,而摩擦学性能却显著增加。 展开更多
关键词 金刚石薄膜 沉积气压 结构 性能
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超高分子量聚乙烯表面沉积类金刚石膜的摩擦磨损性能 被引量:7
16
作者 孙彦敏 王庆良 +1 位作者 张磊 沈涵 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期45-50,共6页
利用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术在超高分子量聚乙烯(UHMWPE)表面制备类金刚石(DLC)膜,用激光拉曼(Raman)光谱仪和扫描电子显微镜(SEM)分析了DLC膜的形貌及结构特征,纳米硬度法测定DLC膜的纳米硬度。并在UMT-Ⅱ型摩擦... 利用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术在超高分子量聚乙烯(UHMWPE)表面制备类金刚石(DLC)膜,用激光拉曼(Raman)光谱仪和扫描电子显微镜(SEM)分析了DLC膜的形貌及结构特征,纳米硬度法测定DLC膜的纳米硬度。并在UMT-Ⅱ型摩擦磨损试验机上评价了DLC膜在牛血清溶液润滑条件下的摩擦磨损性能。结果表明,UHMWPE表面制备的DLC膜具有典型类金刚石薄膜的Raman光谱特征,属含氢a-C:H膜。表面沉积DLC膜可有效提高UHMWPE的表面硬度,改善表面润湿性能。25%牛血清润滑条件下,DLC膜UHMWPE的摩擦因数有所升高,但磨损率则有明显下降。UHMWPE磨损表面存在严重的犁削磨损和塑性变形,DLC膜磨损表面主要以剥层磨损为主。 展开更多
关键词 UHMWPE 金刚石薄膜 等离子体增强化学气相沉积 摩擦磨损
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用等离子体增强化学气相沉积技术制备类金刚石碳薄膜的摩擦磨损性能研究 被引量:5
17
作者 常海波 徐洮 +2 位作者 李红轩 张治军 刘惠文 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期298-302,共5页
利用射频-直流等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅衬底上沉积类金刚石碳薄膜,采用激光拉曼光谱仪和原子力显微镜对薄膜的结构和表面形貌进行表征,采用纳米压痕仪测定薄膜的硬度,并用UMT型微摩擦磨损试验机考察了薄膜在不同试验条件... 利用射频-直流等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅衬底上沉积类金刚石碳薄膜,采用激光拉曼光谱仪和原子力显微镜对薄膜的结构和表面形貌进行表征,采用纳米压痕仪测定薄膜的硬度,并用UMT型微摩擦磨损试验机考察了薄膜在不同试验条件下的摩擦磨损性能.结果表明:所制备的类金刚石碳薄膜表面光滑致密且硬度较高;在干摩擦条件下与GCr15钢球或Al2O3球配副时显示出良好的减摩抗磨性能,摩擦系数较低,耐磨寿命较长,而在水润滑条件下同Al2O3球配副时发生灾难性磨损. 展开更多
关键词 等离子体增强化学气相沉积 金刚石薄膜 结构 摩擦磨损性能
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衬底温度对机械瓣膜上沉积的类金刚石薄膜的影响 被引量:2
18
作者 罗乐 蒋大鹏 +3 位作者 赵读亮 严中亚 程光存 方晓东 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第4期498-502,共5页
为掌握机械瓣膜衬底温度对类金刚石薄膜的影响规律,在实验中保持其它实验参数不变,机械瓣膜衬底温度分别取室温和150℃时,用脉冲激光沉积法在机械瓣膜上制备类金刚石薄膜。用Raman光谱仪对薄膜的微观结构进行检测;用原子力显微镜对薄膜... 为掌握机械瓣膜衬底温度对类金刚石薄膜的影响规律,在实验中保持其它实验参数不变,机械瓣膜衬底温度分别取室温和150℃时,用脉冲激光沉积法在机械瓣膜上制备类金刚石薄膜。用Raman光谱仪对薄膜的微观结构进行检测;用原子力显微镜对薄膜的表面形貌和粗糙度进行检测。结果表明:当其它实验参数不变时,机械瓣膜衬底温度从室温升高到150℃时,薄膜的微观结构没有发生明显改变;薄膜表面的粗糙度减小。类金刚石薄膜和机械瓣膜衬底之间具有很好的黏附性。 展开更多
关键词 材料 金刚石薄膜 脉冲激光沉积 衬底温度 微观结构 表面形貌
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表面波等离子体沉积类金刚石膜结构的Raman光谱和XPS分析 被引量:12
19
作者 黄卫东 詹如娟 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期512-514,共3页
本文使用Raman光谱和X 射线光电子能谱 (XPS)的分析方法对表面波等离子体沉积的类金刚石(DLC)薄膜的结构进行了研究。采用 4峰的高斯解谱的方法对不同沉积时间的膜的Raman谱进行处理 ,并由此对膜中sp3键的百分含量PD 进行了定量计算 ;... 本文使用Raman光谱和X 射线光电子能谱 (XPS)的分析方法对表面波等离子体沉积的类金刚石(DLC)薄膜的结构进行了研究。采用 4峰的高斯解谱的方法对不同沉积时间的膜的Raman谱进行处理 ,并由此对膜中sp3键的百分含量PD 进行了定量计算 ;同时还采用 3峰的高斯解谱方法对不同沉积时间的膜的光电子能谱进行处理 ,也对膜中sp3键的百分含量进行了计算。两种方法均得到膜中sp3含量在 2 0 %~ 4 0 %之间 ,且随沉积时间的增加而增加。 展开更多
关键词 表面波等离子体沉积 金刚石 结构 XPS 金刚石 RAMAN光谱 X-射线光电子能谱
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液相电沉积类金刚石薄膜的研究进展 被引量:2
20
作者 江河清 张治军 +1 位作者 徐洮 刘维民 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期4-6,共3页
 概括介绍了液相电沉积技术的基本方法及原理,重点从3个方面介绍了电化学方法制备类金刚石薄膜的研究情况,并简要分析了其反应机理,最后对液相电沉积技术的发展前景进行了展望。
关键词 液相电沉积 金刚石薄膜 反应机理 进展
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