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研磨方式对单晶蓝宝石亚表面损伤层深度的影响 被引量:22
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作者 王建彬 朱永伟 +2 位作者 王加顺 徐俊 左敦稳 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期1099-1104,1120,共7页
研磨过程中产生的亚表面损伤层深度是影响单晶蓝宝石抛光质量的关键因素。本文开展了游离磨料和固结磨料两种研磨方式研磨单晶蓝宝石的实验研究,采用三维形貌仪观察了加工前后的工件表面质量,运用差动腐蚀法比较了研磨方式对研磨后工件... 研磨过程中产生的亚表面损伤层深度是影响单晶蓝宝石抛光质量的关键因素。本文开展了游离磨料和固结磨料两种研磨方式研磨单晶蓝宝石的实验研究,采用三维形貌仪观察了加工前后的工件表面质量,运用差动腐蚀法比较了研磨方式对研磨后工件亚表面损伤层深度的影响。结果表明,金刚石磨料粒径分别为W 50和W 14的游离磨料研磨加工蓝宝石晶片的亚表面损伤层深度分别为48.85μm和7.02μm,而相同粒径固结磨料加工的亚表面损伤层深度分别为5.47μm和3.25μm。固结磨料研磨后的工件表面粗糙度也优于相同粒径的游离磨料加工的工件。固结磨料研磨方式对于蓝宝石单晶表面研磨质量的改善和亚表面损伤层深度的降低具有显著的效果。 展开更多
关键词 单晶蓝宝石 固结磨料 游离磨料 表面损伤层深度 表面粗糙度
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CdZnTe单晶的机械抛光及其表面损伤层的测定 被引量:9
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作者 查钢强 介万奇 +1 位作者 李强 刘永勤 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期120-122,共3页
研究了CdZnTe单晶片的机械抛光工艺。采用SiO2和MgO进行分步机械抛光后的晶片光亮平整,在光学显微镜下观察没有划伤,采用New View5000TM测得抛光后晶片的表面粗糙度Ra为8.752nm。采用X射线摇摆曲线的半峰宽表征了表面损伤程度。通过分... 研究了CdZnTe单晶片的机械抛光工艺。采用SiO2和MgO进行分步机械抛光后的晶片光亮平整,在光学显微镜下观察没有划伤,采用New View5000TM测得抛光后晶片的表面粗糙度Ra为8.752nm。采用X射线摇摆曲线的半峰宽表征了表面损伤程度。通过分析不同时间腐蚀后晶片的质量和半峰宽值,计算出机械抛光产生的表面损伤层厚度约为26.7μm。 展开更多
关键词 CDZNTE 机械抛光 X射线摇摆曲线 表面损伤层
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磨粒尺寸对FAP研抛工件亚表面损伤层深度的影响 被引量:1
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作者 戴子华 朱永伟 +3 位作者 王加顺 肖仁杰 朱琳 李军 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期2970-2977,共8页
建模分析了固结磨料研抛过程中结构因素与工艺参数对磨粒切入工件深度的影响;采用BOE分步腐蚀法测量了不同磨料粒径FAP研抛后K9玻璃、熔石英玻璃亚表面损伤层深度;建立了亚表面损伤层深度与磨粒粒径之间的相关关系。结果表明:固结磨料... 建模分析了固结磨料研抛过程中结构因素与工艺参数对磨粒切入工件深度的影响;采用BOE分步腐蚀法测量了不同磨料粒径FAP研抛后K9玻璃、熔石英玻璃亚表面损伤层深度;建立了亚表面损伤层深度与磨粒粒径之间的相关关系。结果表明:固结磨料研抛条件下,工件亚表面裂纹层深度与工件特性、研抛垫特性及磨粒尺寸相关;基于平均切深的亚表面损伤层模型与实验结果有较好的吻合度。为固结磨料研抛垫的设计与工艺参数的制订提供了理论依据。 展开更多
关键词 表面损伤层深度 固结磨料研抛 磨粒粒径 切入深度
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具有亚表面损伤层基底表面的激光减反膜设计
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作者 刘华松 刘杰 +3 位作者 王利栓 姜玉刚 冷健 季一勤 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第10期2737-2741,共5页
光学材料的亚表面损伤层(SSD)是激光光学领域内的研究热点之一。亚表面损伤层的存在将导致其表面薄膜特性发生变化,尤其是在高精度低损耗激光薄膜的设计与制造中亚表面损伤层必须给予考虑。文中研究了亚表面损伤层的物理特性,并借助于... 光学材料的亚表面损伤层(SSD)是激光光学领域内的研究热点之一。亚表面损伤层的存在将导致其表面薄膜特性发生变化,尤其是在高精度低损耗激光薄膜的设计与制造中亚表面损伤层必须给予考虑。文中研究了亚表面损伤层的物理特性,并借助于椭圆偏振仪测量基底表面的椭偏光谱,反演计算出SSD的物理厚度和折射率梯度。通过计算得到了亚表面的深度和梯度对激光减反膜反射率光谱的影响,证明了亚表面深度对反射率的影响具有周期效应。在考虑亚表面损伤层的深度和梯度存在的基础上,对激光减反膜的设计进行了理论修正,数值实验结果证明通过膜系的修正可以实现633 nm处的零反射。 展开更多
关键词 激光减反膜 表面损伤层 椭偏光谱 折射率梯度
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低亚表面损伤石英光学基底的加工和检测技术 被引量:14
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作者 马彬 沈正祥 +5 位作者 张众 贺鹏飞 季一勤 刘华松 刘丹丹 王占山 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期2181-2185,共5页
制备低亚表面损伤的超光滑光学基底,是获得高损伤阈值薄膜的前提条件。针对石英材料在不同加工工序中引入亚表面损伤层的差异,首先利用共焦显微成像结合光散射的层析扫描技术,对W10和W5牌号SiC磨料研磨后的亚表面缺陷进行了检测,讨论了... 制备低亚表面损伤的超光滑光学基底,是获得高损伤阈值薄膜的前提条件。针对石英材料在不同加工工序中引入亚表面损伤层的差异,首先利用共焦显微成像结合光散射的层析扫描技术,对W10和W5牌号SiC磨料研磨后的亚表面缺陷进行了检测,讨论了缺陷尺寸与散射信号强度、磨料粒径与损伤层深度间的对应关系;同时,采用化学腐蚀处理技术对抛光后样品的亚表面形貌进行了刻蚀研究,分析了化学反应生成物和亚表面缺陷对刻蚀速率的影响、不同深度下亚表面缺陷的分布特征,以及均方根粗糙度与刻蚀深度间的联系。根据各道加工工艺的不同采用了相应的亚表面检测技术,由此来确定下一道加工工序,合理的去除深度,最终获得了极低亚表面损伤的超光滑光学基底。 展开更多
关键词 表面损伤层 共焦显微成像 光散射 化学腐蚀 刻蚀速率
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单晶表面加工损伤的评价方法 被引量:4
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作者 彭晶 包生祥 马丽丽 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期101-104,共4页
单晶表面加工损伤是衡量工艺水平以及单晶片质量的一个主要参数。综述对单晶表面加工损伤进行分析评价的各种方法,对各种分析方法的基本原理、主要特点及应用做了概要介绍。由于单晶表面损伤以及表面残余应力存在一定的梯度及各种表征... 单晶表面加工损伤是衡量工艺水平以及单晶片质量的一个主要参数。综述对单晶表面加工损伤进行分析评价的各种方法,对各种分析方法的基本原理、主要特点及应用做了概要介绍。由于单晶表面损伤以及表面残余应力存在一定的梯度及各种表征方法的作用机理、作用深度不尽相同,因此不同的评价方法对同一样品的分析往往会出现差异。根据不同的分析目的,给出了选择分析手段的建议。 展开更多
关键词 单晶 表面损伤层 分析评价
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玻化砖和花岗石磨抛加工表面特性分析 被引量:1
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作者 秦哲 王成勇 袁慧 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第15期1609-1613,共5页
采用偏光显微分析、X射线衍射分析和X射线光电子能谱分析等测试手段,对玻化砖和花岗石磨抛加工后材料表面的组成、结构和生成机理进行了研究。结果表明:在不同的加工条件下,材料被加工表面均存在平均厚度为60-80μm的表面损伤层,它... 采用偏光显微分析、X射线衍射分析和X射线光电子能谱分析等测试手段,对玻化砖和花岗石磨抛加工后材料表面的组成、结构和生成机理进行了研究。结果表明:在不同的加工条件下,材料被加工表面均存在平均厚度为60-80μm的表面损伤层,它由加工过程中微观裂纹形成的纳米尺寸的破碎矿物颗粒组成;磨粒和工件材料之间的机械作用引起了材料表面各元素电子结合能的增大,未发现加工表面生成过程中存在化学作用和产生新物质。 展开更多
关键词 玻化砖 花岗石 表面损伤层 磨抛
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β-Ga_(2)O_(3)晶体金刚石线锯切割的表面质量研究 被引量:1
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作者 李晖 高鹏程 +4 位作者 程红娟 王英民 高飞 张弛 王磊 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2022年第12期2040-2047,2062,共9页
本文探究了往复式金刚石线锯的工艺参数对β-Ga_(2)O_(3)单晶沿(001)晶面切片时表面质量的影响,从压痕断裂力学理论角度探究了金刚石线锯切割β-Ga_(2)O_(3)单晶过程中磨粒行为和材料去除机理。实验从各向异性角度分析了切割方向对(001... 本文探究了往复式金刚石线锯的工艺参数对β-Ga_(2)O_(3)单晶沿(001)晶面切片时表面质量的影响,从压痕断裂力学理论角度探究了金刚石线锯切割β-Ga_(2)O_(3)单晶过程中磨粒行为和材料去除机理。实验从各向异性角度分析了切割方向对(001)面β-Ga_(2)O_(3)单晶切割片表面质量的影响,并采用SEM和SJ-210粗糙度测试仪探究了工艺参数对金刚石线锯切割后的晶片表面质量的影响。实验结果表明,增大锯丝速度或减小材料进给速度都能降低亚表面损伤层深度及表面粗糙度,有效改善晶片表面质量。 展开更多
关键词 β-Ga_(2)O_(3)晶片 金刚石线锯 切割方向 表面损伤层 表面粗糙度
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离子注入剥离铌酸锂单晶薄膜的Ar^+刻蚀研究 被引量:1
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作者 方远苹 罗文博 +4 位作者 郝昕 白晓园 曾慧中 帅垚 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第5期674-677,共4页
通过高能离子注入剥离制备的铌酸锂(LNO)单晶薄膜具备优良的电光、声光等性能,在射频器件、光波导等领域需求迫切。高能离子注入使LNO单晶薄膜表面存在损伤层,导致薄膜质量和器件性能的衰减。该文提出了Ar^+刻蚀去除LNO单晶薄膜损伤层... 通过高能离子注入剥离制备的铌酸锂(LNO)单晶薄膜具备优良的电光、声光等性能,在射频器件、光波导等领域需求迫切。高能离子注入使LNO单晶薄膜表面存在损伤层,导致薄膜质量和器件性能的衰减。该文提出了Ar^+刻蚀去除LNO单晶薄膜损伤层的方法,基于高能离子注入仿真,采用扫描电子显微镜、原子力显微镜分析了刻蚀参数对刻蚀速率、表面形貌的影响,并确定了LNO薄膜损伤层的刻蚀工艺参数。X线衍射分析表明,通过Ar^+刻蚀将LNO薄膜摇摆曲线半高宽减至接近注入前LNO单晶材料,压电力显微镜测试表明去除损伤层后的LNO单晶薄膜具备更一致的压电响应。 展开更多
关键词 铌酸锂(LNO)单晶薄膜 表面损伤层 Ar^+刻蚀 晶体质量 压电性能
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Hg_(1-x)Mn_xTe的化学抛光研究
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作者 王浩亮 孙晓燕 介万奇 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期662-665,共4页
本文根据窄禁带半导体Hg1-xMnx Te的物理、化学特性,采用不同浓度的Br2-MeOH作为抛光液对Hg1-xMnx Te进行化学抛光,发现用3%的Br2-MeOH腐蚀液时腐蚀速率平稳且容易控制,能有效去除表面划痕,得到光亮、整洁表面。AFM分析发现,化学抛光后... 本文根据窄禁带半导体Hg1-xMnx Te的物理、化学特性,采用不同浓度的Br2-MeOH作为抛光液对Hg1-xMnx Te进行化学抛光,发现用3%的Br2-MeOH腐蚀液时腐蚀速率平稳且容易控制,能有效去除表面划痕,得到光亮、整洁表面。AFM分析发现,化学抛光后表面粗糙度降低19.8%,整体均匀性提高。SEM分析发现,化学抛光后表面损伤层被全部去除。77K时,化学抛光前后的范德堡霍尔测量发现,晶片化学抛光后,电阻率增加。 展开更多
关键词 Hg1-xMnx TE 表面损伤层 腐蚀速度 平均粗糙度 电阻率
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氟化钙对单晶硅片磨削用树脂结合剂金刚石砂轮磨削性能的影响 被引量:7
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作者 丁玉龙 惠珍 +2 位作者 熊华军 赵延军 包华 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2019年第1期36-40,共5页
在单晶硅片磨削用树脂结合剂金刚石砂轮中分别添加不同体积分数的固体润滑剂氟化钙(CaF_2),评估其对砂轮表面结构、砂轮磨损量、磨床主轴电流的影响,并测量和计算单晶硅片的表面粗糙度和表面损伤层厚度。结果显示:随CaF_2用量增加,磨床... 在单晶硅片磨削用树脂结合剂金刚石砂轮中分别添加不同体积分数的固体润滑剂氟化钙(CaF_2),评估其对砂轮表面结构、砂轮磨损量、磨床主轴电流的影响,并测量和计算单晶硅片的表面粗糙度和表面损伤层厚度。结果显示:随CaF_2用量增加,磨床主轴电流、砂轮磨损量、单晶硅片的表面粗糙度值和表面损伤层厚度均下降;当CaF_2体积分数为25%时,主轴电流降至约6.4 A,砂轮磨损量降到每片0.448 6μm,单晶硅片的表面粗糙度R_a、R_y和R_z分别为0.056μm、0.382μm和0.396μm,表面损伤层厚0.559 6μm。加入CaF_2固体润滑剂可有效改善树脂金刚石砂轮的性能,提高单晶硅片表面的加工质量,且CaF_2体积分数为25%时效果最佳。 展开更多
关键词 表面结构 砂轮磨损量 表面粗糙度 表面损伤层
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Ultrasonic testing and microscopic analysis on concrete under sulfate attack and cyclic environment 被引量:7
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作者 姜磊 牛荻涛 +1 位作者 孙迎召 费倩男 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2014年第12期4723-4731,共9页
The damage process of concrete exposed to sodium sulfate attack and drying-wetting cycles was investigated. The water to binder(W/B) ratio and the concentration of sulfate solution were taken as variable parameters. T... The damage process of concrete exposed to sodium sulfate attack and drying-wetting cycles was investigated. The water to binder(W/B) ratio and the concentration of sulfate solution were taken as variable parameters. Through the experiment, visual change, relative dynamic modulus of elasticity(RDME) and the surface damage layer thickness of concrete were measured.Furthermore, SEM and thermal analysis were used to investigate the changing of microstructure and corrosion products of concrete.The test results show that the ultrasonic velocity is related to the damage layer of concrete. It approves that an increase in damage layer thickness reduces the compactness and the ultrasonic velocity. The deterioration degree of concrete could be estimated effectively by measuring the surface damage layer and the RDME of concrete. It is also found that the content of gypsum in concrete is less than that of ettringite in test, and some gypsum is checked only after a certain corrosion extent. When the concrete is with high W/B ratio or exposed to high concentration of sulfate solution, the content of ettringite first increases and then decreases with corrosion time. However, the content of gypsum increases at a steady rate. The content of corrosion products does not correspond well with the observations of RDME change, and extensive amount of corrosion products can be formed before obvious damage occurs. 展开更多
关键词 sulfate attack drying-wetting cycles damage layer thickness thermal analysis
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