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NEA GaAs光电阴极表面和UHV系统微颗粒污染的寻源分析与排除
被引量：
5
1
作者
陈高善
程宏昌
+4 位作者
石峰
刘晖
冯刘
任兵
成伟
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期205-210,共6页
借助于扫描电镜和能量分散X-ray能谱分析方法,对发生在超高真空(UHV)系统内,负电子亲和势GaAs光阴极表面上的金属微颗粒污染物进行了分析研究。给出了存在于表面上微颗粒污染物的性质、类型、所占比例、构成成分、形貌、几何尺寸。介绍...
借助于扫描电镜和能量分散X-ray能谱分析方法,对发生在超高真空(UHV)系统内,负电子亲和势GaAs光阴极表面上的金属微颗粒污染物进行了分析研究。给出了存在于表面上微颗粒污染物的性质、类型、所占比例、构成成分、形貌、几何尺寸。介绍了寻找、排除微颗粒污染物的方法,并由成分分析结果,找到并排除了UHV系统内Mo微颗粒污染物产生的源头。发现在UHV系统内,传递杆等可移动部件的较粗糙表面具有携带、输运、抛撒微颗染污染物的功能。对UHV系统进行了全面的清洗处理,使其恢复到了原有的正常状态。
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关键词
表面微颗粒污染
UHV系统
污染
GaAs光电阴极
表面
污染
能谱成分分析
线性传递杆
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职称材料
题名
NEA GaAs光电阴极表面和UHV系统微颗粒污染的寻源分析与排除
被引量：
5
1
作者
陈高善
程宏昌
石峰
刘晖
冯刘
任兵
成伟
机构
西安应用光学研究
所微光夜视技术国防科技重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期205-210,共6页
文摘
借助于扫描电镜和能量分散X-ray能谱分析方法,对发生在超高真空(UHV)系统内,负电子亲和势GaAs光阴极表面上的金属微颗粒污染物进行了分析研究。给出了存在于表面上微颗粒污染物的性质、类型、所占比例、构成成分、形貌、几何尺寸。介绍了寻找、排除微颗粒污染物的方法,并由成分分析结果,找到并排除了UHV系统内Mo微颗粒污染物产生的源头。发现在UHV系统内,传递杆等可移动部件的较粗糙表面具有携带、输运、抛撒微颗染污染物的功能。对UHV系统进行了全面的清洗处理,使其恢复到了原有的正常状态。
关键词
表面微颗粒污染
UHV系统
污染
GaAs光电阴极
表面
污染
能谱成分分析
线性传递杆
Keywords
The surface contaminants of micro-particle, UHV system contaminants, The surface contaminants of NEA GaAs photocathode, Spectroscopy component analysis, Linear transfer rod
分类号
TN15 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
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被引量
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1
NEA GaAs光电阴极表面和UHV系统微颗粒污染的寻源分析与排除
陈高善
程宏昌
石峰
刘晖
冯刘
任兵
成伟
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
5
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