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注塑模具型腔表面阵列微结构的蚀刻技术
被引量：
1
1
作者
黄红光
郭钟宁
杨权
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第17期2356-2360,共5页
设计了一种简单的掩模,并通过控制蚀刻液的喷淋压力进行了平滑阵列微结构研究。研究发现,蚀刻液喷淋压力对微结构的加工形貌有显著影响,蚀刻深度和侧蚀量随蚀刻液喷淋压力增大而增大。研究整合了多次加工和控制喷淋压力的工艺,得到了理...
设计了一种简单的掩模,并通过控制蚀刻液的喷淋压力进行了平滑阵列微结构研究。研究发现,蚀刻液喷淋压力对微结构的加工形貌有显著影响,蚀刻深度和侧蚀量随蚀刻液喷淋压力增大而增大。研究整合了多次加工和控制喷淋压力的工艺,得到了理想的无棱边棱角、结构均匀的深度渐变型阵列微凸结构。最终在注塑模具表面上加工出宽度为200μm、深度约60μm的无棱边棱角、过渡平滑的阵列微结构。
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关键词
化学蚀刻
表面微阵列结构
蚀刻深度
侧蚀量
二次加工
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职称材料
题名
注塑模具型腔表面阵列微结构的蚀刻技术
被引量：
1
1
作者
黄红光
郭钟宁
杨权
机构
广州汽车集团股份有限公司
广东工业大学
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第17期2356-2360,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(U1134003)
文摘
设计了一种简单的掩模,并通过控制蚀刻液的喷淋压力进行了平滑阵列微结构研究。研究发现,蚀刻液喷淋压力对微结构的加工形貌有显著影响,蚀刻深度和侧蚀量随蚀刻液喷淋压力增大而增大。研究整合了多次加工和控制喷淋压力的工艺,得到了理想的无棱边棱角、结构均匀的深度渐变型阵列微凸结构。最终在注塑模具表面上加工出宽度为200μm、深度约60μm的无棱边棱角、过渡平滑的阵列微结构。
关键词
化学蚀刻
表面微阵列结构
蚀刻深度
侧蚀量
二次加工
Keywords
chemical etching
rally surface micro-structure
etching depth
undercut
secondary etching
分类号
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
注塑模具型腔表面阵列微结构的蚀刻技术
黄红光
郭钟宁
杨权
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
1
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