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多孔硅的形成及其在表面微机械技术中的应用
被引量：
1
1
作者
王新君
赖宗声
王云珍
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第6期38-41,共4页
介绍了多孔硅的基本特性及其形成的选择性，最后介绍了多孔硅在表面微机械技术中的应用。
关键词
多孔硅
形成
表面微机械技术
在线阅读
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职称材料
推动科技进步的动力之一——表面微机械技术
2
作者
吕苗
《半导体情报》
1997年第3期49-52,45,共5页
表面微机械加工是一种使机械部件微型化的工艺。传感器和致动器都是利用改进的集成电路制造技术来完成的。第一个表面微机械器件是谐振栅晶体管，大约在３０年以前就发表了。该晶体管的栅极采用了自由活动的金属悬梁，多晶硅表面微机械...
表面微机械加工是一种使机械部件微型化的工艺。传感器和致动器都是利用改进的集成电路制造技术来完成的。第一个表面微机械器件是谐振栅晶体管，大约在３０年以前就发表了。该晶体管的栅极采用了自由活动的金属悬梁，多晶硅表面微机械加工在十几年前就有报道，此后出现了许多传感器件的原型，并在最近制造出了第一只商品化的传感器。致动器，这种能向周围环境输出功率的表面微机械加工部件，已变得更加令人难以捉摸。在宏观事物中，一些无关紧要的现象在亚微米尺寸下变成了决定性的因素，如允许蚊子在水面上散步的表面张力，就是一个典型的例子。这些现象影响了正常的摩擦和损耗，尽管这些摩擦和损耗在宏观机械中是可以控制的，但当考虑微型机械部件时，就必须重新分析了，尽管存在这些难题。
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关键词
表面微机械技术
微致动
半导体
制造
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职称材料
题名
多孔硅的形成及其在表面微机械技术中的应用
被引量：
1
1
作者
王新君
赖宗声
王云珍
机构
华东师范大学电子科学技术系
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第6期38-41,共4页
基金
传感技术国家重点实验室资助
国家自然科学基金
中科院核分析技术开放研究实验室资助
文摘
介绍了多孔硅的基本特性及其形成的选择性，最后介绍了多孔硅在表面微机械技术中的应用。
关键词
多孔硅
形成
表面微机械技术
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
推动科技进步的动力之一——表面微机械技术
2
作者
吕苗
出处
《半导体情报》
1997年第3期49-52,45,共5页
文摘
表面微机械加工是一种使机械部件微型化的工艺。传感器和致动器都是利用改进的集成电路制造技术来完成的。第一个表面微机械器件是谐振栅晶体管，大约在３０年以前就发表了。该晶体管的栅极采用了自由活动的金属悬梁，多晶硅表面微机械加工在十几年前就有报道，此后出现了许多传感器件的原型，并在最近制造出了第一只商品化的传感器。致动器，这种能向周围环境输出功率的表面微机械加工部件，已变得更加令人难以捉摸。在宏观事物中，一些无关紧要的现象在亚微米尺寸下变成了决定性的因素，如允许蚊子在水面上散步的表面张力，就是一个典型的例子。这些现象影响了正常的摩擦和损耗，尽管这些摩擦和损耗在宏观机械中是可以控制的，但当考虑微型机械部件时，就必须重新分析了，尽管存在这些难题。
关键词
表面微机械技术
微致动
半导体
制造
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多孔硅的形成及其在表面微机械技术中的应用
王新君
赖宗声
王云珍
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1996
1
在线阅读
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职称材料
2
推动科技进步的动力之一——表面微机械技术
吕苗
《半导体情报》
1997
0
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职称材料
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