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基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器
被引量：
2
1
作者
魏长征
周伟
李昕欣
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2011年第11期4-7,共4页
文中介绍了一种以表面微机械技术制造的带有片上静电自检测功能的压阻式加速度传感器。该芯片制造利用了表面微机械加工技术,以低应力氮化硅薄膜为结构材料,多晶硅作为压阻材料,引入了准LIGA的电镀铜工艺,实现了一款低成本、与IC制造工...
文中介绍了一种以表面微机械技术制造的带有片上静电自检测功能的压阻式加速度传感器。该芯片制造利用了表面微机械加工技术,以低应力氮化硅薄膜为结构材料,多晶硅作为压阻材料,引入了准LIGA的电镀铜工艺,实现了一款低成本、与IC制造工艺相兼容的压阻式加速度传感器。电镀的铜质量块使压阻输出获得了足够高的灵敏度。利用金属质量块和衬底形成的一对电极,实现了可片上检测器件是否正常工作的片上静电自检测功能。传感器测试结果表明,加速度输出灵敏度为25.1μV/g,-3 dB频率带宽为1.3 kHz.
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关键词
压阻式加速度传感器
表面微机械技术
片上静电自检测功能
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职称材料
多孔硅的形成及其在表面微机械技术中的应用
被引量：
1
2
作者
王新君
赖宗声
王云珍
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第6期38-41,共4页
介绍了多孔硅的基本特性及其形成的选择性，最后介绍了多孔硅在表面微机械技术中的应用。
关键词
多孔硅
形成
表面微机械技术
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职称材料
基于平面螺旋电感的微型ICP激发源
被引量：
5
3
作者
王永青
娄建忠
+3 位作者
孙荣霞
马雯
唐予军
蒲永妮
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第11期2708-2712,共5页
随着微电子机械系统(MEMS)技术的发展,基于MEMS的光谱仪分光系统和光电检测系统研究报道日益增多,但是微型激发源的研究报道相对较少。文章介绍了一种基于表面微机械加工技术的微型电感耦合等离子体(ICP)激发源,其RF功耗在数瓦以下、氩...
随着微电子机械系统(MEMS)技术的发展,基于MEMS的光谱仪分光系统和光电检测系统研究报道日益增多,但是微型激发源的研究报道相对较少。文章介绍了一种基于表面微机械加工技术的微型电感耦合等离子体(ICP)激发源,其RF功耗在数瓦以下、氩气消耗量远低于常规ICP激发源。阐述了这种激发源的结构、加工工艺流程及性能指标。同时还介绍了作者设计制作的基于PCB工艺的微型ICP激发源,采用了平面螺旋电感线圈和平面梳状交指电容,在100 Pa氩气气压下用13.56 MHz,3.5 W射频功率激励点燃了等离子体火炬,给出了装置的外观微型ICP火炬的照片。最后展望了该微型的ICP激发源在光谱仪中的应用前景。
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关键词
原子发射光谱
表面
微机
械
加工
技术
微型ICP激发源
光谱仪
平面螺旋电感
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职称材料
题名
基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器
被引量：
2
1
作者
魏长征
周伟
李昕欣
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
中国科学院研究生院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2011年第11期4-7,共4页
文摘
文中介绍了一种以表面微机械技术制造的带有片上静电自检测功能的压阻式加速度传感器。该芯片制造利用了表面微机械加工技术,以低应力氮化硅薄膜为结构材料,多晶硅作为压阻材料,引入了准LIGA的电镀铜工艺,实现了一款低成本、与IC制造工艺相兼容的压阻式加速度传感器。电镀的铜质量块使压阻输出获得了足够高的灵敏度。利用金属质量块和衬底形成的一对电极,实现了可片上检测器件是否正常工作的片上静电自检测功能。传感器测试结果表明,加速度输出灵敏度为25.1μV/g,-3 dB频率带宽为1.3 kHz.
关键词
压阻式加速度传感器
表面微机械技术
片上静电自检测功能
Keywords
piezoresistive acceleration sensor
surface-micromachined
on-chip electrostatic self-test function
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
多孔硅的形成及其在表面微机械技术中的应用
被引量：
1
2
作者
王新君
赖宗声
王云珍
机构
华东师范大学电子科学技术系
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第6期38-41,共4页
基金
传感技术国家重点实验室资助
国家自然科学基金
中科院核分析技术开放研究实验室资助
文摘
介绍了多孔硅的基本特性及其形成的选择性，最后介绍了多孔硅在表面微机械技术中的应用。
关键词
多孔硅
形成
表面微机械技术
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于平面螺旋电感的微型ICP激发源
被引量：
5
3
作者
王永青
娄建忠
孙荣霞
马雯
唐予军
蒲永妮
机构
河北大学电子信息工程学院
钢铁研究总院
中国人民武装警察部队学院
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第11期2708-2712,共5页
基金
河北省科技攻关计划项目(07217124)
河北省教育厅科研项目(2004408)
保定市科技与发展计划课题(06G10-2)资助
文摘
随着微电子机械系统(MEMS)技术的发展,基于MEMS的光谱仪分光系统和光电检测系统研究报道日益增多,但是微型激发源的研究报道相对较少。文章介绍了一种基于表面微机械加工技术的微型电感耦合等离子体(ICP)激发源,其RF功耗在数瓦以下、氩气消耗量远低于常规ICP激发源。阐述了这种激发源的结构、加工工艺流程及性能指标。同时还介绍了作者设计制作的基于PCB工艺的微型ICP激发源,采用了平面螺旋电感线圈和平面梳状交指电容,在100 Pa氩气气压下用13.56 MHz,3.5 W射频功率激励点燃了等离子体火炬,给出了装置的外观微型ICP火炬的照片。最后展望了该微型的ICP激发源在光谱仪中的应用前景。
关键词
原子发射光谱
表面
微机
械
加工
技术
微型ICP激发源
光谱仪
平面螺旋电感
Keywords
Atomic emission spectrum,Surface-micromaching technology,Microfabricated ICP source,Spectrometer,Planar spiral-shaped coil
分类号
TG115.3 [金属学及工艺—物理冶金]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器
魏长征
周伟
李昕欣
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2011
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
多孔硅的形成及其在表面微机械技术中的应用
王新君
赖宗声
王云珍
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1996
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
基于平面螺旋电感的微型ICP激发源
王永青
娄建忠
孙荣霞
马雯
唐予军
蒲永妮
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
5
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职称材料
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