期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
基于平面螺旋电感的微型ICP激发源
被引量：
5
1
作者
王永青
娄建忠
+3 位作者
孙荣霞
马雯
唐予军
蒲永妮
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第11期2708-2712,共5页
随着微电子机械系统(MEMS)技术的发展,基于MEMS的光谱仪分光系统和光电检测系统研究报道日益增多,但是微型激发源的研究报道相对较少。文章介绍了一种基于表面微机械加工技术的微型电感耦合等离子体(ICP)激发源,其RF功耗在数瓦以下、氩...
随着微电子机械系统(MEMS)技术的发展,基于MEMS的光谱仪分光系统和光电检测系统研究报道日益增多,但是微型激发源的研究报道相对较少。文章介绍了一种基于表面微机械加工技术的微型电感耦合等离子体(ICP)激发源,其RF功耗在数瓦以下、氩气消耗量远低于常规ICP激发源。阐述了这种激发源的结构、加工工艺流程及性能指标。同时还介绍了作者设计制作的基于PCB工艺的微型ICP激发源,采用了平面螺旋电感线圈和平面梳状交指电容,在100 Pa氩气气压下用13.56 MHz,3.5 W射频功率激励点燃了等离子体火炬,给出了装置的外观微型ICP火炬的照片。最后展望了该微型的ICP激发源在光谱仪中的应用前景。
展开更多
关键词
原子发射光谱
表面微机械加工技术
微型ICP激发源
光谱仪
平面螺旋电感
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
基于平面螺旋电感的微型ICP激发源
被引量：
5
1
作者
王永青
娄建忠
孙荣霞
马雯
唐予军
蒲永妮
机构
河北大学电子信息工程学院
钢铁研究总院
中国人民武装警察部队学院
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第11期2708-2712,共5页
基金
河北省科技攻关计划项目(07217124)
河北省教育厅科研项目(2004408)
保定市科技与发展计划课题(06G10-2)资助
文摘
随着微电子机械系统(MEMS)技术的发展,基于MEMS的光谱仪分光系统和光电检测系统研究报道日益增多,但是微型激发源的研究报道相对较少。文章介绍了一种基于表面微机械加工技术的微型电感耦合等离子体(ICP)激发源,其RF功耗在数瓦以下、氩气消耗量远低于常规ICP激发源。阐述了这种激发源的结构、加工工艺流程及性能指标。同时还介绍了作者设计制作的基于PCB工艺的微型ICP激发源,采用了平面螺旋电感线圈和平面梳状交指电容,在100 Pa氩气气压下用13.56 MHz,3.5 W射频功率激励点燃了等离子体火炬,给出了装置的外观微型ICP火炬的照片。最后展望了该微型的ICP激发源在光谱仪中的应用前景。
关键词
原子发射光谱
表面微机械加工技术
微型ICP激发源
光谱仪
平面螺旋电感
Keywords
Atomic emission spectrum,Surface-micromaching technology,Microfabricated ICP source,Spectrometer,Planar spiral-shaped coil
分类号
TG115.3 [金属学及工艺—物理冶金]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于平面螺旋电感的微型ICP激发源
王永青
娄建忠
孙荣霞
马雯
唐予军
蒲永妮
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
