检索结果-维普期刊中文期刊服务平台

表面微机械加工的高长宽比矩形薄膜压力传感器被引量：1: 1; 作者张艳敏王权李昕欣《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2014年第2期14-15,19,共3页; 设计了表面微机械加工的高长宽比矩形薄膜压力传感器芯片,采用由低压化学气相沉积法(LPCVD)制备的低应力氮化硅(LS SiN)薄膜作为压力传感器芯片的核心结构层,多晶硅薄膜淀积在LS SiN薄膜上,通过结构和位置的优化设计,干法腐蚀制作形成... 展开更多; 关键词绝对压力传感器表面微机械加工矩形膜压阻芯片长期稳定性; 在线阅读下载PDF 职称材料

微机械微米／纳米加工技术现状被引量：1: 2; 作者李拴庆《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期45-49,共5页; 本文简要介绍了微机电系统制作用的基本腐蚀技术，包括各向同性腐蚀，各向异性腐蚀、牺牲层腐蚀、干法腐蚀、ＨＦ阳极腐蚀等。重点介绍了为制作三维微结构而开发出的ＬＩＧＡ工艺、磁控反应离子腐蚀、深冷干法腐蚀、干法分离、ＩＨ工艺... 展开更多; 关键词微机电系统表面微机械加工反应离子腐蚀各向异性腐蚀纳米加工各向同性腐蚀牺牲层加工技术腐蚀技术腐蚀速率; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于窄带水平集算法的三维表面工艺模拟系统（英文）: 3; 作者李宁周再发 +1 位作者黄庆安余嘉程《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第4期500-505,共6页; 表面工艺是MEMS制造的一种重要方法,实现其加工过程的计算机仿真可以为相关MEMS工艺研究和器件开发提供技术支持,减少相关MEMS产品的开发成本,缩短其开发周期。基于窄带水平集算法完成了表面加工工艺的三维表面工艺模拟系统。窄带水平... 展开更多; 关键词 MEMS 仿真系统三维表面微机械加工工艺窄带水平集; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于平面螺旋电感的微型ICP激发源被引量：5: 4; 作者王永青娄建忠 +3 位作者孙荣霞马雯唐予军蒲永妮《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期2708-2712,共5页; 随着微电子机械系统(MEMS)技术的发展,基于MEMS的光谱仪分光系统和光电检测系统研究报道日益增多,但是微型激发源的研究报道相对较少。文章介绍了一种基于表面微机械加工技术的微型电感耦合等离子体(ICP)激发源,其RF功耗在数瓦以下、氩... 展开更多; 关键词原子发射光谱表面微机械加工技术微型ICP激发源光谱仪平面螺旋电感; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于微型智能传感器的汽车轮胎压力监控系统被引量：3: 5; 作者何茂先殷晨波 +2 位作者涂善东董云海杨敏《汽车工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第8期771-773,778,共4页; 介绍了基于微型智能传感器的直接式轮胎压力监控系统的构成和原理,并讨论了微型传感器数据的读取、微机械加工等关键技术。; 关键词轮胎压力监控系统微型智能传感器微控制器表面微机械加工; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名表面微机械加工的高长宽比矩形薄膜压力传感器被引量：1: 1; 作者张艳敏王权李昕欣; 机构江苏大学机械工程学院传感技术国家重点实验室中科院上海微系统与信息技术研究所; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2014年第2期14-15,19,共3页; 基金国家自然科学基金资助项目(51175238) 镇江市工业支撑项目(GY2013011); 文摘设计了表面微机械加工的高长宽比矩形薄膜压力传感器芯片,采用由低压化学气相沉积法(LPCVD)制备的低应力氮化硅(LS SiN)薄膜作为压力传感器芯片的核心结构层,多晶硅薄膜淀积在LS SiN薄膜上,通过结构和位置的优化设计,干法腐蚀制作形成力敏电阻条。制作了压力量程从60 kPa到1 MPa的传感器芯片。试验测试了量程60 kPa压力传感器的长期稳定性,结果表明在室温环境下时,压力传感器显示了较稳定的长时输出,且用LPCVD低温二氧化硅密封的真空参考压力腔没有泄漏问题出现。该超小型传感器制造成本低,具有广泛应用的前景。; 关键词绝对压力传感器表面微机械加工矩形膜压阻芯片长期稳定性; Keywords absolute pressure sensor surface micromachine rectangular film piezoresistiance chip long-time stability; 分类号 TN303 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微机械微米／纳米加工技术现状被引量：1: 2; 作者李拴庆; 机构电子部第十三研究所; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期45-49,共5页; 文摘本文简要介绍了微机电系统制作用的基本腐蚀技术，包括各向同性腐蚀，各向异性腐蚀、牺牲层腐蚀、干法腐蚀、ＨＦ阳极腐蚀等。重点介绍了为制作三维微结构而开发出的ＬＩＧＡ工艺、磁控反应离子腐蚀、深冷干法腐蚀、干法分离、ＩＨ工艺和ＳＣＲＥＡＭＩ等三维加工技术。最后给出了个别加工、键合及ＭＥＭＣＡＤ等不可缺少的微机械微米／纳米加工技术。; 关键词微机电系统表面微机械加工反应离子腐蚀各向异性腐蚀纳米加工各向同性腐蚀牺牲层加工技术腐蚀技术腐蚀速率; 分类号 TH704 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于窄带水平集算法的三维表面工艺模拟系统（英文）: 3; 作者李宁周再发黄庆安余嘉程; 机构东南大学MEMS教育部重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第4期500-505,共6页; 基金国家863计划项目(2015AA042604); 文摘表面工艺是MEMS制造的一种重要方法,实现其加工过程的计算机仿真可以为相关MEMS工艺研究和器件开发提供技术支持,减少相关MEMS产品的开发成本,缩短其开发周期。基于窄带水平集算法完成了表面加工工艺的三维表面工艺模拟系统。窄带水平集算法稳定,计算速度快处理拓扑变形非常灵活,本文将其应用于该软件仿真系统中,并进行了一列的仿真实验,将仿真结果与实际的流片电镜图对比,验证了仿真系统的精确性。; 关键词 MEMS 仿真系统三维表面微机械加工工艺窄带水平集; Keywords MEMS MEMS simulation system surface micromachining process narrow band level set method; 分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于平面螺旋电感的微型ICP激发源被引量：5: 4; 作者王永青娄建忠孙荣霞马雯唐予军蒲永妮; 机构河北大学电子信息工程学院钢铁研究总院中国人民武装警察部队学院; 出处《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期2708-2712,共5页; 基金河北省科技攻关计划项目(07217124) 河北省教育厅科研项目(2004408) 保定市科技与发展计划课题(06G10-2)资助; 文摘随着微电子机械系统(MEMS)技术的发展,基于MEMS的光谱仪分光系统和光电检测系统研究报道日益增多,但是微型激发源的研究报道相对较少。文章介绍了一种基于表面微机械加工技术的微型电感耦合等离子体(ICP)激发源,其RF功耗在数瓦以下、氩气消耗量远低于常规ICP激发源。阐述了这种激发源的结构、加工工艺流程及性能指标。同时还介绍了作者设计制作的基于PCB工艺的微型ICP激发源,采用了平面螺旋电感线圈和平面梳状交指电容,在100 Pa氩气气压下用13.56 MHz,3.5 W射频功率激励点燃了等离子体火炬,给出了装置的外观微型ICP火炬的照片。最后展望了该微型的ICP激发源在光谱仪中的应用前景。; 关键词原子发射光谱表面微机械加工技术微型ICP激发源光谱仪平面螺旋电感; Keywords Atomic emission spectrum,Surface-micromaching technology,Microfabricated ICP source,Spectrometer,Planar spiral-shaped coil; 分类号 TG115.3 [金属学及工艺—物理冶金]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于微型智能传感器的汽车轮胎压力监控系统被引量：3: 5; 作者何茂先殷晨波涂善东董云海杨敏; 机构南京工业大学机械与动力工程学院; 出处《汽车工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第8期771-773,778,共4页; 基金江苏省自然科学基础研究基金预研项目(BK2004214)资助; 文摘介绍了基于微型智能传感器的直接式轮胎压力监控系统的构成和原理,并讨论了微型传感器数据的读取、微机械加工等关键技术。; 关键词轮胎压力监控系统微型智能传感器微控制器表面微机械加工; Keywords TPMS, Micro intelligent sensor, Micro controller, Surface micromachining; 分类号 U463.6 [机械工程—车辆工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	表面微机械加工的高长宽比矩形薄膜压力传感器	张艳敏王权李昕欣	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2014	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	微机械微米／纳米加工技术现状	李拴庆	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	1996	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于窄带水平集算法的三维表面工艺模拟系统（英文）	李宁周再发黄庆安余嘉程	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2017	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于平面螺旋电感的微型ICP激发源	王永青娄建忠孙荣霞马雯唐予军蒲永妮	《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2008	5	在线阅读下载PDF 职称材料
5	基于微型智能传感器的汽车轮胎压力监控系统	何茂先殷晨波涂善东董云海杨敏	《汽车工程》 EI CSCD 北大核心	2006	3	在线阅读下载PDF 职称材料