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利用XPS平行成像技术进行材料表面微区分析
被引量：
2
1
作者
徐建
郝萍
周莹
《上海计量测试》
2017年第5期9-12,共4页
利用XPS能谱分析结合平行成像技术,在功能器件等材料微区测量方面进行了一些探索,并选取了三类比较有代表性样品,通过设计合理的方法分别对其表面微区进行了有效测量,获得较好的测量结果。
关键词
XPS
分析
平行成像技术
表面微区分析
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
利用XPS平行成像技术进行材料表面微区分析
被引量：
2
1
作者
徐建
郝萍
周莹
机构
上海市计量测试技术研究院
出处
《上海计量测试》
2017年第5期9-12,共4页
基金
上海市质量技术监督局科研项目(2015-03)
文摘
利用XPS能谱分析结合平行成像技术,在功能器件等材料微区测量方面进行了一些探索,并选取了三类比较有代表性样品,通过设计合理的方法分别对其表面微区进行了有效测量,获得较好的测量结果。
关键词
XPS
分析
平行成像技术
表面微区分析
Keywords
XPS analysis
parallel imaging technique
surface microanalysis
分类号
O657.62 [理学—分析化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
利用XPS平行成像技术进行材料表面微区分析
徐建
郝萍
周莹
《上海计量测试》
2017
2
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职称材料
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