基于几何模型的表面微加工MEMS工艺层模型生成 被引量：3

1

作者 李建华 高曙明 刘玉生 《计算机集成制造系统-CIMS》 EI CSCD 北大核心 2003年第12期1126-1131,共6页

现有微机电系统设计中所存在的一个重要问题是,设计人员需要通过工艺和版图设计来完成几何设计,因此难以用于复杂器件的设计。研究了表面微加工MEMS几何模型到工艺层模型的自动转化,旨在实现MEMS器件几何设计和工艺规划的分离,给出了表... 现有微机电系统设计中所存在的一个重要问题是,设计人员需要通过工艺和版图设计来完成几何设计,因此难以用于复杂器件的设计。研究了表面微加工MEMS几何模型到工艺层模型的自动转化,旨在实现MEMS器件几何设计和工艺规划的分离,给出了表面微机械加工的工艺特征的定义和分类方法,并简要介绍了工艺特征的自动识别过程,重点研究了基于工艺特征模型的工艺层模型自动生成方法。最后给出了试验结果。 展开更多

关键词 微机电系统 几何模型 表面微加工 MEMS 工艺层模型

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表面微加工MEMS器件工艺层模型可制造性评价 被引量：2

2

作者 李建华 刘玉生 高曙明 《浙江大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1669-1674,1681,共7页

针对基于实体模型生成的微电机系统(MEMS)器件工艺层模型难以完全保证可制造性的问题,结合标准的表面微加工工艺,从可释放性、上下可结合性和腐蚀可制造性等方面分析了产生可制造问题的原因,并给出了可制造性评价方法.基于可制造性评价... 针对基于实体模型生成的微电机系统(MEMS)器件工艺层模型难以完全保证可制造性的问题,结合标准的表面微加工工艺,从可释放性、上下可结合性和腐蚀可制造性等方面分析了产生可制造问题的原因,并给出了可制造性评价方法.基于可制造性评价结果,进一步提出了一种生成改进建议的方法.实例分析表明,所提出的工艺层模型可制造性评价方法提高了MEMS器件的可制造性评价质量与效率,并使得设计人员能够更早地发现与更改设计中存在的可制造性问题. 展开更多

关键词 微机电系统 计算机辅助设计 工艺层模型 可制造性评价 表面微加工

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表面微加工中镍的微电铸 被引量：1

3

作者 吕文龙 陈义华 孙道恒 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期407-409,共3页

介绍了微电铸工艺的基本原理以及脉冲电铸的特点.搭键了电铸实验系统,通过对Watts镍电解液的成分实验得到了一种性能较好的成分配比.利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等MEMS结构,得到了一组较有价值... 介绍了微电铸工艺的基本原理以及脉冲电铸的特点.搭键了电铸实验系统,通过对Watts镍电解液的成分实验得到了一种性能较好的成分配比.利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等MEMS结构,得到了一组较有价值的电铸参数,对电铸中存在的问题进行了阐述.实验结果表明,采用方波脉冲电铸能够得到晶粒粗细均匀、硬度和应力符合设计要求的悬臂梁等MEMS结构. 展开更多

关键词 微电铸 脉冲 表面微加工 镍

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面向表面微加工工艺的微器件设计框架的研究

4

作者 闫向彤 江平宇 《机床与液压》 北大核心 2002年第2期13-16,共4页

本文以微器件设计为对象,对微硅表面制造驱动的微器件并行设计方法学及相应的计算机辅助设计工具的开发逻辑进行了研究。提出了采用基于三层Ｗｅｂ－ＡＳＰ集成框架实现ｅ－ＣＡＤ原型工具的编程方案。其中,并行任务流管理与控制、微器... 本文以微器件设计为对象,对微硅表面制造驱动的微器件并行设计方法学及相应的计算机辅助设计工具的开发逻辑进行了研究。提出了采用基于三层Ｗｅｂ－ＡＳＰ集成框架实现ｅ－ＣＡＤ原型工具的编程方案。其中,并行任务流管理与控制、微器件实例及设计资源库、微加工工艺规划及仿真、微器件设计评价等是该系统实现的关键要素。在此基础上将建立网上微器件设计中心,并通过应用服务机制,实现对微器件设计工具使用的商务化,以达到降低设计成本、加快ＭＥＭＳ产业化之目的。 展开更多

关键词 表面微加工工艺 微器件 并行设计 应用服务 WEB-ASP 微机电系统 CHD

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面向Top-Down设计流的表面微加工掩膜推导方法 被引量：2

5

作者 刘峥 江平宇 《计算机辅助设计与图形学学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第6期798-803,共6页

针对表面硅微加工,运用层模型间几何元素运算获得粗掩膜的基本数据.采用工艺约束修演得到精掩膜,解决了多层刻蚀与可加工性问题,并进行模型重构,以校正设计模型的工艺不合理性.应用协同的方法解决了设计端模块与工艺端模块的集成问题,... 针对表面硅微加工,运用层模型间几何元素运算获得粗掩膜的基本数据.采用工艺约束修演得到精掩膜,解决了多层刻蚀与可加工性问题,并进行模型重构,以校正设计模型的工艺不合理性.应用协同的方法解决了设计端模块与工艺端模块的集成问题,最终得到优化的设计模型和掩膜序列. 展开更多

关键词 微器件 掩膜推导 Top—Down 工艺模型 表面微加工

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表面微加工MEMS三维模型的局部变动

6

作者 凌浩 李建华 +2 位作者 刘玉生 郭卫斌 何高奇 《华东理工大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期474-482,共9页

现有的微机电系统(MEMS)设计中缺乏面向优化的MEMS器件变动方法。针对表面微加工MEMS,在可制造性分析的基础上提出了表面微加工MEMS三维模型的局部变动方法。该方法首先在表面微加工MEMS三维模型上选定设计关注面,设计人员对所选定的设... 现有的微机电系统(MEMS)设计中缺乏面向优化的MEMS器件变动方法。针对表面微加工MEMS,在可制造性分析的基础上提出了表面微加工MEMS三维模型的局部变动方法。该方法首先在表面微加工MEMS三维模型上选定设计关注面,设计人员对所选定的设计关注面进行变动操作;变动设计后根据变动类型基于可制造性分析自动映射和传播变动到表面微加工MEMS三维模型;在三维模型更新后,通过传播定位了该变动操作所要修改的掩模,更新该掩模文件,实现工艺模型和几何模型的一致性。实例测试结果表明:该方法能够有效地实现三维模型的局部变动,从而提高了MEMS设计人员的效率。 展开更多

关键词 表面微加工 微机电系统 变动 掩模映射

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土壤表面微形貌加工对红壤坡面侵蚀定量调控 被引量：3

7

作者 张智泓 王晓阳 +4 位作者 佟金 赖庆辉 张兆国 高旭航 STEPHEN CARR 《排灌机械工程学报》 EI CSCD 北大核心 2017年第8期700-708,730,共10页

为科学地量化分析和准确评估土壤表面微形貌加工整地措施对红壤丘陵区坡耕地的土壤侵蚀调控作用,以衡量土壤表面微形貌加工作业对云南省红壤丘陵区坡耕地的适用性和有效性,进行了人工模拟降雨(240 min,55 mm/h),在不同坡面坡度(7.5°... 为科学地量化分析和准确评估土壤表面微形貌加工整地措施对红壤丘陵区坡耕地的土壤侵蚀调控作用,以衡量土壤表面微形貌加工作业对云南省红壤丘陵区坡耕地的适用性和有效性,进行了人工模拟降雨(240 min,55 mm/h),在不同坡面坡度(7.5°,9.0°,12.0°和15.0°)条件的试验小区进行径流试验,将产流量、产沙量和产流时间作为关键参数进行了测定.研究结果表明,在不同坡度的坡面,与控制组(土壤表面无微坑)相比,经土壤表面微形貌加工作业后的地表均可明显延长产流时间、减少产流量和产沙量,产流时间最大可延长51.18%,产流量最多可减小43.04%,产沙量最多减小25.14%.本研究可为南方红壤丘陵区坡耕地水力侵蚀的防治提供新的方法和数据基础. 展开更多

关键词 土壤表面微形貌加工 降雨集蓄 水土流失 侵蚀 产流 产沙 模拟降雨

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土壤表面微形貌加工技术及其在南方丘陵山区坡耕地的应用前景 被引量：1

8

作者 张智泓 王晓阳 +4 位作者 佟金 赖庆辉 张兆国 高旭航 Stephen CARR 《云南农业大学学报（自然科学版）》 CSCD 北大核心 2018年第6期1163-1174,共12页

坡耕地的水土流失和季节性干旱对地区生态环境和农业生产造成严重负面影响。近年来,一种通过改变田间微观地貌以实现集雨目的的新型整地方式,即土壤表面微形貌加工在国外得到快速发展,并成为解决这一问题的关键。本文针对土壤表面微形... 坡耕地的水土流失和季节性干旱对地区生态环境和农业生产造成严重负面影响。近年来,一种通过改变田间微观地貌以实现集雨目的的新型整地方式,即土壤表面微形貌加工在国外得到快速发展,并成为解决这一问题的关键。本文针对土壤表面微形貌加工技术的作业原理、在国内外不同地区作业实现的作业效果、当前作业采用的主要机具进行了系统的描述和归纳,阐明该技术可有效控制坡耕地水土流失并提高水资源利用效率。结合南方丘陵山区坡耕地实际特点,对土壤表面微形貌加工技术的应用前景和潜在价值进行了探讨和展望,认为该技术可对云南省坡耕地降雨地表径流加以综合利用,以达到控制水土流失和缓解区域干旱缺水的双重目的。 展开更多

关键词 雨水集蓄 土壤表面微形貌加工 旱作农业 水土流失 季节性干旱

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表面加工多晶硅薄膜电阻温度系数的在线测试 被引量：1

9

作者 许高斌 汪家文 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期401-403,406,共4页

提出了一种在线提取多晶硅薄膜电阻温度系数的简单测量方法.给出了瞬态热电分析模型,综合考虑了各种散热因素如对流、辐射以及向衬底传热的影响,通过实验提取出参数.提出的方法对分析其他MEMS器件的热电特性和监控器件设计都具有实际应... 提出了一种在线提取多晶硅薄膜电阻温度系数的简单测量方法.给出了瞬态热电分析模型,综合考虑了各种散热因素如对流、辐射以及向衬底传热的影响,通过实验提取出参数.提出的方法对分析其他MEMS器件的热电特性和监控器件设计都具有实际应用价值和借鉴意义. 展开更多

关键词 电阻温度系数 多晶硅薄膜 表面微加工 在线测试

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基于多目标优化的微铣削表面粗糙度检测指标研究 被引量：2

10

作者 李文琴 许金凯 +3 位作者 于化东 张向辉 刘启蒙 于占江 《航空制造技术》 2020年第19期66-72,共7页

针对微铣削表面形貌复杂而难以准确评价的问题,提出了一种基于三维表征的表面粗糙度检测指标。首先,在主成分分析的基础上,基于灰色关联分析方法将表征意义不同的三维表面粗糙度参数Sa、Ssk和Sku转化为单一的灰色关联度作为表面粗糙度... 针对微铣削表面形貌复杂而难以准确评价的问题,提出了一种基于三维表征的表面粗糙度检测指标。首先,在主成分分析的基础上,基于灰色关联分析方法将表征意义不同的三维表面粗糙度参数Sa、Ssk和Sku转化为单一的灰色关联度作为表面粗糙度检测指标;其次,利用响应曲面法建立灰色关联度模型,分析工艺参数对灰色关联度的影响规律;最后,获取最优工艺参数组合并进行验证。结果表明,灰色关联度模型的平均相对误差为6.54%,拟合精度高,预测效果好,验证了模型的有效性;获取的最优工艺参数组合对应的灰色关联度提高了15.27%,实现了表面粗糙度和表面异常特征最小化的目的,证明了检测指标的可行性。 展开更多

关键词 表面微加工 多目标优化 灰色关联分析 响应曲面法 三维表面粗糙度 表面粗糙度检测指标

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微机电系统惯性电学开关的设计与制作 被引量：7

11

作者 杨卓青 丁桂甫 +2 位作者 蔡豪刚 刘瑞 赵小林 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1033-1036,共4页

基于非硅表面微加工技术,给出了微机电系统惯性电学开关的一种新式设计,该设计采用两端悬空固定的多孔弹性梁作为固定电极,由连体蛇形弹簧连接悬空的质量块作为可动电极,可动电极位于支撑层和弹性梁之间,该结构在保证微开关具有足够灵... 基于非硅表面微加工技术,给出了微机电系统惯性电学开关的一种新式设计,该设计采用两端悬空固定的多孔弹性梁作为固定电极,由连体蛇形弹簧连接悬空的质量块作为可动电极,可动电极位于支撑层和弹性梁之间,该结构在保证微开关具有足够灵敏度的同时,可有效提高两电极间的接触效果和器件的抗冲击保护。使用成本较低的多次叠层电镀镍的方法制作了设计的微型惯性开关,并对其元器件进行了试验测试,结果表明:开关在100g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.40ms和12μs,与有限元动力学仿真结果吻合较好,表现出较高的灵敏度和良好接触效果。 展开更多

关键词 非硅表面微加工 微型惯性开关 设计与制作 微机电系统(MEMS)

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神经记录用硅基多通道微电极探针的设计与制造 被引量：3

12

作者 张若昕 隋晓红 +1 位作者 裴为华 陈弘达 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1404-1406,1410,共4页

为了从中枢神经系统记录电信号,半导体加工技术已经被用于微电极探针的制造.介绍了一种硅基探针的设计和制造工艺流程.我们已经制造出15μm厚,3mm长,100μm宽的记录用探针,每根探针含有7个记录点,间隔120μm.在制造过程中使用微机械系统... 为了从中枢神经系统记录电信号,半导体加工技术已经被用于微电极探针的制造.介绍了一种硅基探针的设计和制造工艺流程.我们已经制造出15μm厚,3mm长,100μm宽的记录用探针,每根探针含有7个记录点,间隔120μm.在制造过程中使用微机械系统(MEMS)工艺中常用的硅表面微加工工艺:等离子增强化学气相淀积(PECVD),感应耦合等离子刻蚀(ICP)以及硅的各向异性刻蚀等.测试结果给出了探针的强度和阻抗特性. 展开更多

关键词 微电极探针 表面微加工工艺 神经记录

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静电排斥型微机电系统变形镜驱动器 被引量：6

13

作者 胡放荣 姚军 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期41-44,共4页

为了克服常规静电微机械驱动器所存在的静电吸合现象,基于非均匀分布的静电场可以产生排斥力的原理,设计了一种新型的微机电系统变形镜驱动器。驱动器由5组电极构成,最大的一组由中心质量块和位于正下方的下电极组成,其它4组分别位于各... 为了克服常规静电微机械驱动器所存在的静电吸合现象,基于非均匀分布的静电场可以产生排斥力的原理,设计了一种新型的微机电系统变形镜驱动器。驱动器由5组电极构成,最大的一组由中心质量块和位于正下方的下电极组成,其它4组分别位于各条边上。中心质量块由4根L形弹簧支撑,每根弹簧分别固定于驱动器的4个锚点。利用有限元软件对驱动器的频率响应和暂态响应特性进行了仿真,结果表明,谐振频率高达4kHz,暂态响应时间小于0.05s。利用表面硅工艺加工出了驱动器,并利用白光扫描干涉仪对驱动器的静态位移电压特性进行了测试,测得驱动器在70V激励电压下的形变量为1.4μm。 展开更多

关键词 微电子机械系统 自适应光学 静电驱动器 表面微加工

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SOI纳米光波导激光熔凝光整加工温度场的数值模拟及分析 被引量：1

14

作者 闫树斌 陈慧斌 +1 位作者 韵力宇 焦国太 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第10期94-101,共8页

激光表面熔凝技术可有效降低纳米光波导侧壁粗糙度进而减小光传输的散射损耗。为明确波导侧壁在KrF准分子激光表面熔凝过程的温度场演化规律,考虑材料参数随温度变化和相变潜热的影响,建立了纳米光波导侧壁激光熔凝的二维有限元数值模型... 激光表面熔凝技术可有效降低纳米光波导侧壁粗糙度进而减小光传输的散射损耗。为明确波导侧壁在KrF准分子激光表面熔凝过程的温度场演化规律,考虑材料参数随温度变化和相变潜热的影响,建立了纳米光波导侧壁激光熔凝的二维有限元数值模型,研究了熔池边界的推进行为与不同工艺参数的映射关系。结果表明:熔池形成于波导上表面与迎光侧壁夹角处;激光入射角度一定时,熔池熔深与平均能量密度正相关;熔池形貌受控于激光入射角度,随着入射角度的减小,熔池形貌由单边U形过渡为单边V形最终呈带钝角单边V形。分析表明,较大激光入射角对应的熔池形貌更有利于波导侧壁的光整加工;据此提出先确定激光入射角度以优化熔池形貌,再选取合适平均能量密度以获得足够熔化深度的工艺方法。 展开更多

关键词 激光加热 表面微加工 有限元方法 光波导 表面粗糙度

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电容式微机械超声传感器的工艺综述 被引量：9

15

作者 刘杰 陈全芳 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第8期98-109,共12页

电容式微机械超声传感器（CMUT）自出现以来,因其频谱宽、分辨率高、声阻抗匹配好等优势,在超声成像领域大有取代传统压电式传感器的趋势。围绕CMUT最主要的两种制造工艺方法,重点简述了表面微加工技术和晶圆键合技术的基本方法、工艺... 电容式微机械超声传感器（CMUT）自出现以来,因其频谱宽、分辨率高、声阻抗匹配好等优势,在超声成像领域大有取代传统压电式传感器的趋势。围绕CMUT最主要的两种制造工艺方法,重点简述了表面微加工技术和晶圆键合技术的基本方法、工艺材料、薄膜形成等相关概念,并介绍了基于这两种方法加工制造CMUT的基本流程。从表面微加工方法中薄膜的沉积材料和结构以及晶圆键合方法中键合方式和键合温度等方面进行论述,总结介绍了CMUT加工工艺的研究现状。在此基础上对CMUT加工工艺的未来进行展望,提出应从工艺温度、薄膜材料、晶圆粗糙度和粘滞现象等4个主要方面进行重点研究,从而使CMUT早日实现推广应用。 展开更多

关键词 电容式微机械超声传感器 微机电系统 表面微加工 晶圆键合

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新型复合结构电热微驱动器的研制 被引量：2

16

作者 曾文光 丁桂甫 +2 位作者 王艳 付世 蔡玉丽 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第5期117-120,共4页

在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析软件,对其基本结构形式进行了系统的仿真分析,得到了一组初步优化的器件结构参数。仿真结果表明:新型电... 在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析软件,对其基本结构形式进行了系统的仿真分析,得到了一组初步优化的器件结构参数。仿真结果表明:新型电热微驱动器有更低的能耗和更大的位移。采用非硅表面微加工技术,成功制备了新型复合结构电热微驱动器。 展开更多

关键词 聚合物 复合结构 电热微驱动器 有限元分析 非硅表面微加工

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微系统关键技术的发展概况 被引量：5

17

作者 沈叔涛 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第4期936-941,共6页

微系统技术基于微机械加工技术以及集成电路工艺方法,具有微型化、集成化、智能化、成本低、性能高、可大批量生产等优点。概述了微系统的组成和工作原理,介绍了国内外微系统技术的历史、发展现状和产业分布格局,着重阐述了几种重要的... 微系统技术基于微机械加工技术以及集成电路工艺方法,具有微型化、集成化、智能化、成本低、性能高、可大批量生产等优点。概述了微系统的组成和工作原理,介绍了国内外微系统技术的历史、发展现状和产业分布格局,着重阐述了几种重要的微结构加工技术,分析了湿法刻蚀、干法深刻蚀、表面加工技术、键合、LIGA技术、纳米压印技术以及高深宽比制造技术的原理、各自特点以及制造工艺手段,并结合目前微型器件的产品应用分析了各种技术的优势,对于微系统技术的研究具有一定价值。 展开更多

关键词 微系统 固体微加工 表面微加工 LIGA技术 高深宽比结构制造技术

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化学机械抛光技术的研究进展 被引量：59

18

作者 雷红 雒建斌 张朝辉 《上海大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 2003年第6期494-502,共9页

化学机械抛光(chemicalmechanicalpolishing,简称CMP)技术几乎是迄今惟一的可以提供全局平面化的表面精加工技术,可广泛用于集成电路芯片、计算机硬磁盘、微型机械系统(MEMS)、光学玻璃等表面的平整化.该文综述了CMP技术的研究现状,指出... 化学机械抛光(chemicalmechanicalpolishing,简称CMP)技术几乎是迄今惟一的可以提供全局平面化的表面精加工技术,可广泛用于集成电路芯片、计算机硬磁盘、微型机械系统(MEMS)、光学玻璃等表面的平整化.该文综述了CMP技术的研究现状,指出了CMP急待解决的技术和理论问题,并对其发展方向进行了展望. 展开更多

关键词 表面微加工 化学机械抛光 平整化 研究进展 微电子制造 集成电路芯片 计算机硬磁盘

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凸齿镇压器与土壤相互作用的三维动态有限元分析 被引量：25

19

作者 佟金 张智泓 +2 位作者 陈东辉 张清珠 马云海 《农业工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期48-58,F0003,共12页

为分析凸齿镇压器与土壤的相互作用、预测不同的作业参数对凸齿镇压器作业效果的影响,该文利用有限元方法,在Abaqus软件中建立了凸齿镇压器与土壤相互作用的三维动态有限元模型。该模型在分析过程中使用任意拉格朗日-欧拉方法对网格进... 为分析凸齿镇压器与土壤的相互作用、预测不同的作业参数对凸齿镇压器作业效果的影响,该文利用有限元方法,在Abaqus软件中建立了凸齿镇压器与土壤相互作用的三维动态有限元模型。该模型在分析过程中使用任意拉格朗日-欧拉方法对网格进行自适应划分,以解决土体局部变形引起单元畸变而导致分析中断的问题。根据凸齿镇压器的2种工作模式,对模型设置不同的边界条件,探讨不同载荷对凸齿镇压器沉降量和所需牵引力的影响以及不同沉降量对所需载荷及牵引力的影响。搭建了基于室内土槽的凸齿镇压器牵引试验平台,通过土槽试验对有限元分析结果的有效性进行验证。结果表明,有限元求解的牵引力与实测值相对误差为3.4%,并且有限元分析模型运行结果能准确反映土壤的形貌变化特征;任意拉格朗日-欧拉方法有效解决了单元扭曲导致分析不收敛的问题;在恒定速度下,凸齿镇压器的沉降量和所需水平牵引力随着载荷的增大而增大,同样,沉降量的增大导致了所需载荷和牵引力的增加。该三维有限元模型可用于预测凸齿镇压器工作过程中的所需牵引力和土壤表面微形貌加工的作业效果,可为探索凸齿镇压器与土壤相互作用的机理,对凸齿形状进行改良与优化、以及作业条件与参数的选择提供参考依据。 展开更多

关键词 土壤 有限元方法 镇压器 机具-土壤相互作用 土壤表面微形貌加工 任意拉格朗日-欧拉方法

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基于有限元方法的凸齿镇压器运动学和动力学分析 被引量：3

20

作者 张智泓 张广凯 +4 位作者 佟金 Stephen Carr 赖庆辉 张兆国 方秋容 《安徽农业科学》 CAS 2016年第2期325-329,共5页

为探索凸齿镇压器在作业过程中的运动学和动力学特性,基于验证有效性后的有限元模型,求解了凸齿镇压器外缘点运动轨迹和速度以及加速度随时间的变化规律曲线。结果表明:轮缘点所在凸齿冲击土壤的行为并未在轮缘点竖直方向速度最大时完成... 为探索凸齿镇压器在作业过程中的运动学和动力学特性,基于验证有效性后的有限元模型,求解了凸齿镇压器外缘点运动轨迹和速度以及加速度随时间的变化规律曲线。结果表明:轮缘点所在凸齿冲击土壤的行为并未在轮缘点竖直方向速度最大时完成;凸齿镇压器轮缘外一点的绝对运动轨迹呈波动状态的余摆线形式;凸齿镇压器轮缘点在接地位置有与前进方向相反的相对滑动。 展开更多

关键词 凸齿镇压器 土壤表面微形貌加工 有限元方法 运动轨迹求解 运动学和动力学分析

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