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基于运动误差的3-D表面形貌检测方法: 1; 作者乔冠尧徐嘉忆赵春雨《东北大学学报(自然科学版)》 CSCD 北大核心 2024年第12期1726-1733,共8页; 主轴运动误差会降低被加工表面的质量和被加工轮廓的动态精度.通过对数控车床主轴运动误差的分析和研究,提出了一种基于运动误差的车削工件3-D表面形貌检测方法 .仿真结果表明,该检测方法在求解主轴回转误差和工件表面形貌时具有很高的... 展开更多; 关键词主轴运动误差表面形貌检测误差分离表面重构误差分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

微球表面形貌检测中的偏心误差分析与修正: 2; 作者卢丙辉刘国栋 +2 位作者孙和义刘炳国陈凤东《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期2794-2802,共9页; 由于使用传统的误差修正方法进行微球形貌检测会有过大的残差,本文提出了一种新的偏心误差修正方法来提高微球表面形貌检测的精度和效率。在分析了横向偏心和轴向偏心引入光程差数学模型的基础上,推导了偏心误差的高阶近似模型,提出了... 展开更多; 关键词表面形貌检测微球偏心误差 Zernike多项式拟合; 在线阅读下载PDF 职称材料

车削工件2-D表面形貌检测方法研究: 3; 作者赵春雨程大众耿浩博《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第9期1299-1305,1328,共8页; 主轴回转误差影响车削工件的加工精度,本文通过对主轴回转误差的分析和研究,提出了一种基于回转误差的车削工件2-D表面形貌检测方法,并建立了车削过程数学模型.MATLAB仿真结果表明,主轴径向回转误差会影响工件的车削半径和表面形貌,进... 展开更多; 关键词主轴回转误差表面形貌检测同轴度误差圆度误差表面粗糙度; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于NSST的镀锡基板表面形貌多尺度分析: 4; 作者朱亚陈建钧《工具技术》北大核心 2023年第1期89-94,共6页; 提出了基于非下采样剪切波变换的镀锡基板表面形貌分析方法。将非下采样剪切波变换与高斯滤波、二维离散小波和二维双树复小波进行对比,验证了其优异的幅频特性和平移不变性;基于低频子带能量、低频重构表面峭度以及重构表面与原始表面... 展开更多; 关键词镀锡基板表面形貌检测非下采样剪切波变换特征参数; 在线阅读下载PDF 职称材料

彩色共焦系统可调制色散物镜设计被引量：9: 5; 作者崔长彩李煌 +1 位作者余卿叶瑞芳《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期875-883,共9页; 针对彩色共焦距测量系统中测量范围和分辨率的调制问题,采用色散和聚焦功能分离的思路设计了一款色散物镜,其色散功能由纯球面折射透镜组成的色散管镜来实现,聚焦功能则采用商业物镜实现。使用ZEMAX软件对色散管镜的结构、材料及像差进... 展开更多; 关键词表面形貌检测彩色共聚焦色散物镜轴向色散轴向分辨率; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种大F数微透镜阵列的制备方法被引量：3: 6; 作者刘鑫张满 +2 位作者史立芳曹阿秀邓启凌《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期32-37,共6页; 针对大F数(大于10)微透镜阵列难以制备的现状,提出了一种制备大F数微透镜阵列的方法.首先采用传统光刻胶热熔法及刻蚀技术制作出成形的微透镜阵列,再将一层具有较高粘滞系数的光刻胶均匀地涂覆在该微透镜阵列上,在光刻胶的粘滞作用以及... 展开更多; 关键词微透镜阵列大F数光刻胶粘滞性表面张力表面形貌检测面形控制; 在线阅读下载PDF 职称材料

色散聚焦分离式彩色共聚焦测量系统研究被引量：3: 7; 作者余卿张学典崔长彩《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期100-107,共8页; 为了满足先进制造工艺的对检测技术越来越高的要求,对材料表面的测量既有高精度的要求,同时也有快速检测的需求。彩色共聚焦测量技术从原理上避免了轴向扫描过程,与传统的激光共聚焦技术相比,具有明显的测量速度优势,可针对大尺寸的被... 展开更多; 关键词彩色共聚焦测量光学表面形貌检测测量范围调制测量精度调制; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于运动误差的3-D表面形貌检测方法: 1; 作者乔冠尧徐嘉忆赵春雨; 机构东北大学机械工程与自动化学院; 出处《东北大学学报(自然科学版)》 CSCD 北大核心 2024年第12期1726-1733,共8页; 基金国家自然科学基金资助项目(52475092)。; 文摘主轴运动误差会降低被加工表面的质量和被加工轮廓的动态精度.通过对数控车床主轴运动误差的分析和研究,提出了一种基于运动误差的车削工件3-D表面形貌检测方法 .仿真结果表明,该检测方法在求解主轴回转误差和工件表面形貌时具有很高的计算精度,可将工件表面形貌与主轴径向跳动误差和倾角摆动误差分离.为了验证该检测方法的可靠性,搭建了3-D表面形貌检测平台采集实验数据,之后通过分离算法得到了工件表面形貌数据和数控车床主轴运动误差.最后,分析了实验中异步误差和传感器误差对工件表面形貌检测结果的影响.; 关键词主轴运动误差表面形貌检测误差分离表面重构误差分析; Keywords spindle motion error surface morphology detection error separation surface reconstruction error analysis; 分类号 TH161.14 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微球表面形貌检测中的偏心误差分析与修正: 2; 作者卢丙辉刘国栋孙和义刘炳国陈凤东; 机构哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期2794-2802,共9页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.61275096 No.51275120) 哈尔滨工业大学科研创新基金资助项目(No.HIT.NSRIF201098); 文摘由于使用传统的误差修正方法进行微球形貌检测会有过大的残差,本文提出了一种新的偏心误差修正方法来提高微球表面形貌检测的精度和效率。在分析了横向偏心和轴向偏心引入光程差数学模型的基础上,推导了偏心误差的高阶近似模型,提出了小曲率半径下基于Zernike多项式拟合的偏心误差修正方法,并给出误差修正的流程及相关参数的标定方法。通过对2mm直径的微球的表面形貌检测验证了所提出误差修正方法的可行性和有效性。结果表明:相对于零条纹时的形貌误差基准,采用本文提出的方法修正后的残余形貌误差峰谷(PV)值为0.081 5λ,均方根(RMS)值为0.016 1λ,比传统方法修正效果更好,能够满足高精度微球形貌检测的需求。; 关键词表面形貌检测微球偏心误差 Zernike多项式拟合; Keywords surface topographic inspection microsphere eccentricity error Zernike polynomial fitting; 分类号 TH703 [机械工程—精密仪器及机械] TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名车削工件2-D表面形貌检测方法研究: 3; 作者赵春雨程大众耿浩博; 机构东北大学机械工程与自动化学院澳门大学科技学院; 出处《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第9期1299-1305,1328,共8页; 基金国家自然科学基金资助项目(51775094).; 文摘主轴回转误差影响车削工件的加工精度,本文通过对主轴回转误差的分析和研究,提出了一种基于回转误差的车削工件2-D表面形貌检测方法,并建立了车削过程数学模型.MATLAB仿真结果表明,主轴径向回转误差会影响工件的车削半径和表面形貌,进而造成工件的同轴度误差、圆度误差,并增大表面粗糙度.为验证所提方法的有效性,搭建了2-D表面形貌检测平台进行数据采集,得到了主轴在切深方向的回转误差和车削工件的平均半径误差.实验结果表明实验与仿真结果在特性上具有一致性,验证了方法的可行性,对机床的性能调试及提高工件的加工质量具有参考价值.; 关键词主轴回转误差表面形貌检测同轴度误差圆度误差表面粗糙度; Keywords spindle rotation error surface topography detection coaxiality error roundness error surface roughness; 分类号 TH161 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于NSST的镀锡基板表面形貌多尺度分析: 4; 作者朱亚陈建钧; 机构华东理工大学机械与动力工程学院; 出处《工具技术》北大核心 2023年第1期89-94,共6页; 基金国家自然科学基金(51675182)。; 文摘提出了基于非下采样剪切波变换的镀锡基板表面形貌分析方法。将非下采样剪切波变换与高斯滤波、二维离散小波和二维双树复小波进行对比,验证了其优异的幅频特性和平移不变性;基于低频子带能量、低频重构表面峭度以及重构表面与原始表面的均方根误差,确定非下采样剪切波变换的分解层数,并将其与二维离散小波、二维双树复小波用于基板形貌特征的重构,结果表明:非下采样剪切波变换拥有最好的重构效果。采用分水岭算法和Wolf剪枝对不同形貌特征的基板进行特征参数计算,得到表征镀锡基板表面质量的显著参数:平均峰体积Shv和平均谷体积Sdv。; 关键词镀锡基板表面形貌检测非下采样剪切波变换特征参数; Keywords tinplate inspection of surface topography non-subsampled shearlet transform feature parameters; 分类号 TG84 [金属学及工艺—公差测量技术] TH161.14 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名彩色共焦系统可调制色散物镜设计被引量：9: 5; 作者崔长彩李煌余卿叶瑞芳; 机构华侨大学制造工程研究院华侨大学机电及自动化学院上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海市现代光学系统重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期875-883,共9页; 基金福建省科技计划项目-对外合作项目(No.2015I0004) 厦门市科技计划项目-对台科技合作项目(No.3502Z20151232) 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室研究基金资助项目(No.JMTZ201503); 文摘针对彩色共焦距测量系统中测量范围和分辨率的调制问题,采用色散和聚焦功能分离的思路设计了一款色散物镜,其色散功能由纯球面折射透镜组成的色散管镜来实现,聚焦功能则采用商业物镜实现。使用ZEMAX软件对色散管镜的结构、材料及像差进行了设计及优化,仿真结果显示所设计的色散管镜在可见光范围内能获得优于230mm的轴向线性色散,实际加工的成品管镜的轴向线性色散范围可达160mm。实验测量了色散管镜及它结合不同聚焦物镜后的色散特性。实验结果表明,色散管镜结合不同聚焦能力的物镜能够具有高线性度的轴向色散区域;结合4倍和10倍放大倍率的商用物镜,分别获得了1 300μm和225μm的测量范围,其轴向分辨率分别为2μm和0.4μm,实现了测量范围和分辨率的调制。; 关键词表面形貌检测彩色共聚焦色散物镜轴向色散轴向分辨率; Keywords surface topography detection chromatic confocal dispersive objective axial dispersion axial resolution; 分类号 TN247 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种大F数微透镜阵列的制备方法被引量：3: 6; 作者刘鑫张满史立芳曹阿秀邓启凌; 机构中国科学院光电技术研究所中国科学院大学; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期32-37,共6页; 基金国家自然科学基金(No.61505214) 中国科学院青年创新促进会资助~~; 文摘针对大F数(大于10)微透镜阵列难以制备的现状,提出了一种制备大F数微透镜阵列的方法.首先采用传统光刻胶热熔法及刻蚀技术制作出成形的微透镜阵列,再将一层具有较高粘滞系数的光刻胶均匀地涂覆在该微透镜阵列上,在光刻胶的粘滞作用以及烘烤过程中光刻胶自身表面张力的共同作用下,微透镜阵列的F数得到提高.采用该方法制备的二氧化硅微透镜阵列的F数达40,与传统大F数微透镜阵列的加工方法相比,该方法简便易行、制备的微透镜阵列面形良好,且只需调节光刻胶的粘滞系数,即可获得F数不同的微透镜阵列.; 关键词微透镜阵列大F数光刻胶粘滞性表面张力表面形貌检测面形控制; Keywords Microlens array High F-number Photoresist Viscosity Surface tension Surface profilemeasurement Surface profile control; 分类号 TN205 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名色散聚焦分离式彩色共聚焦测量系统研究被引量：3: 7; 作者余卿张学典崔长彩; 机构华侨大学机电及自动化学院上海理工大学光电信息与计算机工程学院现代光学系统重点实验室华侨大学制造工程研究院; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期100-107,共8页; 基金国家自然科学基金青年项目(51505162) 福建省科技计划项目-对外合作项目(2015I0004) 华侨大学中青年教师科研提升计划(ZQN-PY304)项目资助; 文摘为了满足先进制造工艺的对检测技术越来越高的要求,对材料表面的测量既有高精度的要求,同时也有快速检测的需求。彩色共聚焦测量技术从原理上避免了轴向扫描过程,与传统的激光共聚焦技术相比,具有明显的测量速度优势,可针对大尺寸的被测物表面形貌进行快速化检测。通常情况下,针对不同测量需求的被测对象,需要设计不同的彩色共聚焦系统核心部件-色散物镜,增加了系统的复杂性。针对这一情况,采用色散和聚焦分离的设计方式,通过切换物镜参数的方式,快速有效地实现不同测量需求。所设计的大范围色散元件结合不同聚焦物镜时,能实现对色散范围的调制,并以此为基础搭建了聚焦和色散分离的彩色共聚焦系统。实验结果表明,采用不同参数物镜时,可实现对量程和分辨率的调制;其中,当采用10×（NA=0.3）物镜时,可获得轴向225μm的线性色散,此时测量系统的轴向测量精度优于0.2μm。; 关键词彩色共聚焦测量光学表面形貌检测测量范围调制测量精度调制; Keywords chromatie confocal measurement optical surface topography measurement measurement range modulation measurement accuracy modulation; 分类号 TH741 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于运动误差的3-D表面形貌检测方法	乔冠尧徐嘉忆赵春雨	《东北大学学报(自然科学版)》 CSCD 北大核心	2024	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	微球表面形貌检测中的偏心误差分析与修正	卢丙辉刘国栋孙和义刘炳国陈凤东	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2015	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	车削工件2-D表面形貌检测方法研究	赵春雨程大众耿浩博	《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心	2021	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于NSST的镀锡基板表面形貌多尺度分析	朱亚陈建钧	《工具技术》北大核心	2023	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	彩色共焦系统可调制色散物镜设计	崔长彩李煌余卿叶瑞芳	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2017	9	在线阅读下载PDF 职称材料
6	一种大F数微透镜阵列的制备方法	刘鑫张满史立芳曹阿秀邓启凌	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2017	3	在线阅读下载PDF 职称材料
7	色散聚焦分离式彩色共聚焦测量系统研究	余卿张学典崔长彩	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2018	3	在线阅读下载PDF 职称材料