期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
非晶态合金薄膜铜衬底超精密抛光的实验研究
被引量：
2
1
作者
朱从容
吕冰海
+1 位作者
邓乾发
任尹飞
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2011年第1期58-61,共4页
本文采用聚氨酯抛光盘和绒布抛光垫对铜衬底进行超精密抛光工艺研究,对铜衬底的表面粗糙度、材料去除率以及铜衬底表面组织结构变化过程进行了研究,并讨论了铜衬底在超精密抛光时,不同抛光条件对其表面粗糙度和材料去除率的影响,以及抛...
本文采用聚氨酯抛光盘和绒布抛光垫对铜衬底进行超精密抛光工艺研究,对铜衬底的表面粗糙度、材料去除率以及铜衬底表面组织结构变化过程进行了研究,并讨论了铜衬底在超精密抛光时,不同抛光条件对其表面粗糙度和材料去除率的影响,以及抛光压力对铜衬底的表面形成过程的影响。结果表明,采用聚氨酯抛光盘和绒布抛光垫可以消除划痕,抛光后的铜衬底表面粗糙度可达Ra6 nm。
展开更多
关键词
合金薄膜
铜衬底
超精抛光
表面形成过程
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
非晶态合金薄膜铜衬底超精密抛光的实验研究
被引量：
2
1
作者
朱从容
吕冰海
邓乾发
任尹飞
机构
浙江海洋学院机电工程学院
湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心
浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室
舟山市电力修造厂
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2011年第1期58-61,共4页
基金
浙江省教育厅科研项目(20070324)
文摘
本文采用聚氨酯抛光盘和绒布抛光垫对铜衬底进行超精密抛光工艺研究,对铜衬底的表面粗糙度、材料去除率以及铜衬底表面组织结构变化过程进行了研究,并讨论了铜衬底在超精密抛光时,不同抛光条件对其表面粗糙度和材料去除率的影响,以及抛光压力对铜衬底的表面形成过程的影响。结果表明,采用聚氨酯抛光盘和绒布抛光垫可以消除划痕,抛光后的铜衬底表面粗糙度可达Ra6 nm。
关键词
合金薄膜
铜衬底
超精抛光
表面形成过程
Keywords
alloy films
copper substrate
uhraprecision lapping
surface formation
分类号
TQ164 [化学工程—高温制品工业]
TG74 [金属学及工艺—刀具与模具]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
非晶态合金薄膜铜衬底超精密抛光的实验研究
朱从容
吕冰海
邓乾发
任尹飞
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2011
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
