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用光探针法测量表面复合速率
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作者 张峰 葛万来 +1 位作者 沈其英 吴雅美 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第12期1590-1594,共5页
通过系统的研究分析,建立了应用光探针的光电(PC)测量方法,应用镜像法和点源产生近似原理建立了物理模型,并进行了系统的理论分析.导出了光电流与表面复合速率相应关系的计算公式,确定了可进行电量测量的实验装置.采用此方法... 通过系统的研究分析,建立了应用光探针的光电(PC)测量方法,应用镜像法和点源产生近似原理建立了物理模型,并进行了系统的理论分析.导出了光电流与表面复合速率相应关系的计算公式,确定了可进行电量测量的实验装置.采用此方法,测量了台面型高压硅半导体器件的无机钝化和有机保护界面的表面复合速率.通过测量结果和计算结果的归一化比较,获得了其表面复合速率. 展开更多
关键词 光电测量 表面复合速率 光探针法 半导体
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PERC太阳电池发射极表面优化设计与模拟 被引量:1
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作者 刘文峰 周子游 +1 位作者 黄海龙 赵增超 《太阳能》 2019年第8期29-35,共7页
通过模型计算,分析了发射极表面对PERC太阳电池转换效率的影响;然后设计了不同条件下的扩散和热氧化工艺实验,得到了最高转换效率达22.30%的PERC太阳电池;并对实验结果进行拟合,优化后的扩散和热氧化工艺降低了发射极表面复合速率,提高... 通过模型计算,分析了发射极表面对PERC太阳电池转换效率的影响;然后设计了不同条件下的扩散和热氧化工艺实验,得到了最高转换效率达22.30%的PERC太阳电池;并对实验结果进行拟合,优化后的扩散和热氧化工艺降低了发射极表面复合速率,提高了电池的转换效率。 展开更多
关键词 PERC 太阳电池 表面复合速率 转换效率 优化设计 发射极
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PEALD制备的Al_(2)O_(3)薄膜在n-TOPCon太阳电池上的钝化性能 被引量:1
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作者 于波 史金超 +4 位作者 李锋 王红芳 陈俊玉 刘克铭 于威 《半导体技术》 CAS 北大核心 2021年第5期370-375,共6页
对采用等离子体增强原子层沉积(PEALD)法制备的Al_(2)O_(3)薄膜在n型单晶硅隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)太阳电池正表面的钝化性能进行了研究。采用少数载流子寿命、X射线电子能谱(XPS)及J-V特性的测试分析,重点研究了Al_(2)O_(3)沉积温... 对采用等离子体增强原子层沉积(PEALD)法制备的Al_(2)O_(3)薄膜在n型单晶硅隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)太阳电池正表面的钝化性能进行了研究。采用少数载流子寿命、X射线电子能谱(XPS)及J-V特性的测试分析,重点研究了Al_(2)O_(3)沉积温度、薄膜厚度及薄膜形成后不同退火条件对钝化性能的影响,实现了低表面复合速率、良好钝化效果的产业化制备的Al_(2)O_(3)薄膜工艺。研究结果表明,在沉积温度为150℃、膜厚为5 nm、退火温度为450℃时,测试计算得出薄膜中O和Al的原子数之比为2.08,电池发射极正表面复合速率较低,达到了Al_(2)O_(3)钝化的最优效果,并且分析了Al_(2)O_(3)薄膜的化学态和形成机理。利用其Al_(2)O_(3)薄膜工艺制备的n型单晶硅TOPCon太阳电池开路电压提升了8 mV,电池的平均光电转换效率达到了23.30%。 展开更多
关键词 隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)太阳电池 表面复合速率 钝化 退火 Al_(2)O_(3)
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