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基于表面势的碳化硅基VDMOS器件模型
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作者 李秀军 刘斯扬 +1 位作者 李胜 孙伟锋 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期13-18,共6页
为了满足功率电路及系统设计对碳化硅基垂直双注入金属氧化物半导体晶体管(VDM OS)模型的需求,建立了一套基于表面势计算方法的可描述碳化硅基VDM OS器件电学特性的模型.模型包括静态部分与动态部分.静态部分不仅分别针对沟道区、积累... 为了满足功率电路及系统设计对碳化硅基垂直双注入金属氧化物半导体晶体管(VDM OS)模型的需求,建立了一套基于表面势计算方法的可描述碳化硅基VDM OS器件电学特性的模型.模型包括静态部分与动态部分.静态部分不仅分别针对沟道区、积累区、寄生结型场效应晶体管(JFET)区及N-外延层建立电流模型,还考虑了界面态对于阈值电压偏移与沟道迁移率的影响.动态部分中引入了界面陷阱对于电容的影响,完善了基于端电荷划分理论的动态模型.结果表明,所提器件模型的输出特性和转移特性的仿真结果与实测结果之间的均方根误差均小于5%,开关特性的仿真结果与实测结果之间的均方根误差小于10%. 展开更多
关键词 表面势模型 碳化硅基 VDMOS 阈值电压偏移 界面态
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深亚微米CMOS器件建模与BSIM模型 被引量:1
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作者 陈志坚 郑学仁 +1 位作者 姚若河 李斌 《微纳电子技术》 CAS 2004年第6期44-48,共5页
介绍了深亚微米CMOS器件基于电荷模型、基于表面势模型和基于电导模型的建模方法及其优缺点,并以BSIM系列模型为例,讨论了BSIM系列模型特点及半导体工艺发展对CMOS器件建模方法的影响。
关键词 深亚微米 CMOS BSIM 电荷模型 表面势模型 电导模型
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