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水辅助矢量激光表面加工特性的实验研究
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作者 许佳康 王吉明 +1 位作者 欧盛美 王建磊 《激光技术》 北大核心 2025年第4期501-506,共6页
为了研究水辅助下调控矢量光场在硅片表面的加工特性,搭建了调控纳秒矢量激光水辅助表面加工系统。采用Nd:YAG脉冲调Q激光器,对厚度为3 mm的单晶硅进行激光打孔实验,在静水和水射流辅助下,对矢量激光的脉冲次数、光束的偏振态、拓扑荷... 为了研究水辅助下调控矢量光场在硅片表面的加工特性,搭建了调控纳秒矢量激光水辅助表面加工系统。采用Nd:YAG脉冲调Q激光器,对厚度为3 mm的单晶硅进行激光打孔实验,在静水和水射流辅助下,对矢量激光的脉冲次数、光束的偏振态、拓扑荷数以及水流流量对单晶硅表面加工的影响进行了系统研究。结果表明,在水辅助的情况下,热影响区和重铸层的影响基本消失,矢量光束相较于线偏振光,在高脉冲次数下会获得更大孔径;高拓扑荷数的广义柱矢量偏振光与径向和角向偏振光相比,打孔更为光滑;在水射流辅助的情况下,当水流流量超过0.8 L/min时,激光加工的孔的圆对称性会有所破坏,广义柱矢量偏振光相较于径向与角向偏振光能够更好保持孔的圆对称性。将水辅助与矢量激光相结合,可以完成更多精密加工的工作,在工业加工中具有实际应用的价值。 展开更多
关键词 激光技术 矢量光场 表面加工 水射流
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表面加工状态对Super 304H钢抗蒸汽氧化性能的影响 被引量:10
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作者 马云海 郑开云 +1 位作者 林富生 吾之英 《动力工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第7期572-580,共9页
对6种不同表面加工状态(磨床粗磨、砂轮磨削、320号砂纸研磨、600号砂纸研磨、1200号砂纸研磨和抛光)的Super 304H钢在650℃/25MPa超临界水蒸气中的氧化行为进行了研究,采用增重法对氧化1 200h后的试样单位表面上的质量变化进行了测量,... 对6种不同表面加工状态(磨床粗磨、砂轮磨削、320号砂纸研磨、600号砂纸研磨、1200号砂纸研磨和抛光)的Super 304H钢在650℃/25MPa超临界水蒸气中的氧化行为进行了研究,采用增重法对氧化1 200h后的试样单位表面上的质量变化进行了测量,采用扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)对氧化膜表面和截面形貌、微观结构和元素分布进行了分析,并利用X射线衍射仪(XRD)对氧化膜物相进行了表征.结果表明:Super 304H钢的抗蒸汽氧化性能对材料的表面加工状态比较敏感;不同表面加工状态的Super 304H钢经氧化后,试样单位表面上的质量变化、表面氧化物形态以及横截面氧化物形态差异明显;形成的典型氧化膜分内、外2层,外层氧化膜主要为Fe3O4,内层氧化膜主要为含Cr量较高的(Fe,Cr)3O4以及少量的Cr2O3;随着材料表面粗糙度的增加和比表面应变层的形成,越容易形成具有保护性的富铬氧化膜,Super 304H钢的抗蒸汽氧化性能越好. 展开更多
关键词 Super 304H钢 表面加工 蒸汽氧化 显微分析
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炭/炭复合材料飞机刹车盘表面加工质量对其磨合性能的影响 被引量:12
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作者 蒋建纯 黄伯云 熊翔 《新型炭材料》 SCIE EI CAS CSCD 2002年第2期35-40,共6页
在mm 10 0 0试验机上对炭 /炭复合材料 (CCC)飞机刹车盘 3组表面粗糙度不同的试样进行刹车模拟试验。在摩擦表面相对作切向运动时 ,摩擦表面微凸体发生弹 -塑性变形、发生磨损进入磨合状态。采用Talysurf 4仪测定了CCC刹车盘磨合前后的... 在mm 10 0 0试验机上对炭 /炭复合材料 (CCC)飞机刹车盘 3组表面粗糙度不同的试样进行刹车模拟试验。在摩擦表面相对作切向运动时 ,摩擦表面微凸体发生弹 -塑性变形、发生磨损进入磨合状态。采用Talysurf 4仪测定了CCC刹车盘磨合前后的表面形貌及其粗糙度 ,用SEM对磨损表面和磨粒形貌进行了研究。当刹车盘表面波度较小而表面微观粗糙度在Ra =12 .5 μm时 ,有利于在摩擦面上形成摩擦膜 ,使刹车副很快进入磨合状态。 展开更多
关键词 炭/炭复合材料 飞机 刹车盘 磨合性能 表面粗糙度 摩擦 磨损 刹车副 表面加工质量
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声表面波器件用Y36°切LiTaO_3晶片表面加工研究 被引量:14
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作者 夏宗仁 李春忠 崔坤 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期419-421,共3页
采用双晶摆动曲线法测量了钽酸锂晶片的加工损伤层 ,其平均值在 2 6 .2~ 5 2 .8μm之间 ;根据工序要求 ,选取加工余量为 15 0 μm左右 ,采用天然石榴石研磨粉 ,适当的磨料浓度、添加悬浮剂、分散剂以避免产生缺陷 ,并采用化学机械抛光... 采用双晶摆动曲线法测量了钽酸锂晶片的加工损伤层 ,其平均值在 2 6 .2~ 5 2 .8μm之间 ;根据工序要求 ,选取加工余量为 15 0 μm左右 ,采用天然石榴石研磨粉 ,适当的磨料浓度、添加悬浮剂、分散剂以避免产生缺陷 ,并采用化学机械抛光法 ,可获得较高加工质量的声表面波器件用Y36°切LiTaO3 展开更多
关键词 LITAO3晶体 损伤层 Beiliby层 表面波器件 锂酸锂晶片 表面加工 终端机
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考虑表面加工的疲劳缺口系数研究与应用 被引量:7
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作者 李莉 谢里阳 +1 位作者 何雪浤 梁旭 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2009年第2期1-3,7,共4页
应力集中与表面加工对疲劳强度有着显著的影响,在结构疲劳强度的估算中,起着重要的作用。通过对45钢疲劳缺口系数试验研究的数据分析,确定了应用Lipson-Juvinall公式计算考虑表面加工的疲劳缺口系数,与实际情况更相符。局部应力应变法... 应力集中与表面加工对疲劳强度有着显著的影响,在结构疲劳强度的估算中,起着重要的作用。通过对45钢疲劳缺口系数试验研究的数据分析,确定了应用Lipson-Juvinall公式计算考虑表面加工的疲劳缺口系数,与实际情况更相符。局部应力应变法应用于高周疲劳时,必须考虑表面加工与尺寸等因素对疲劳强度的影响,由此文中将考虑表面加工的疲劳缺口系数应用于修正Neuber法,计算应力集中部位的局部应力应变。并对应变寿命曲线作以修正,大大提高了局部应力应变法估算高周疲劳寿命的精度。 展开更多
关键词 缺口 疲劳缺口系数 表面加工系数 局部应力应变法 高周疲劳
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超声表面加工和硫氮共渗复合处理对35CrMo钢表面性能的影响 被引量:4
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作者 田斌 岳文 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期103-110,共8页
为了同时减少钻杆接头和对磨套管的磨损,采用超声表面加工技术和硫氮共渗技术对钻杆接头材料35CrMo钢进行复合处理。利用光学三维形貌仪、扫描电子显微镜、EDS能谱仪、显微硬度计和X射线衍射仪分别研究了试样的表面形貌、粗糙度、成分... 为了同时减少钻杆接头和对磨套管的磨损,采用超声表面加工技术和硫氮共渗技术对钻杆接头材料35CrMo钢进行复合处理。利用光学三维形貌仪、扫描电子显微镜、EDS能谱仪、显微硬度计和X射线衍射仪分别研究了试样的表面形貌、粗糙度、成分、硬度和相结构,并在水基钻井液润滑条件下采用环块磨损试验机考察了35CrMo钢和套管对磨副的磨损性能。结果表明,超声表面加工可以使35CrMo钢和硫氮共渗复合处理改性层的表面粗糙度均显著降低,进一步提高硫氮共渗改性层硬度,显著改善35CrMo钢的耐磨性能,并使对磨副套管的磨损率明显降低,钻杆接头和套管的磨损表面形貌也得到显著改善。 展开更多
关键词 超声表面加工 硫氮共渗 35CRMO钢 钻杆接头 磨损性能
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考虑表面加工缺陷的轮盘疲劳寿命分析方法 被引量:7
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作者 陆山 李波 《航空发动机》 2014年第5期7-12,共6页
为了将表面加工状态引入零构件概率寿命分析中,提出并建立了考虑表面加工缺陷的轮盘疲劳寿命分析方法。将孔的表面加工缺陷简化为表面裂纹和/或角裂纹,导出裂纹深度密度函数;借助裂纹应力强度因子经验公式及有限元分析,提出轮盘孔边裂... 为了将表面加工状态引入零构件概率寿命分析中,提出并建立了考虑表面加工缺陷的轮盘疲劳寿命分析方法。将孔的表面加工缺陷简化为表面裂纹和/或角裂纹,导出裂纹深度密度函数;借助裂纹应力强度因子经验公式及有限元分析,提出轮盘孔边裂纹应力强度因子计算的推广经验公式方法。建立了3种考虑表面缺陷尺度分布时轮盘概率寿命计算方法。以钛合金盘为例,在获得的表面缺陷分布条件下,计算了给定寿命的轮盘疲劳寿命失效概率及故障率。仿真结果表明:采用该方法可以将表面加工缺陷对疲劳寿命的影响引入构件寿命评估体系。 展开更多
关键词 表面加工缺陷 疲劳寿命 应力强度因子 裂纹扩展 失效概率 故障率 轮盘
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具有特殊外观效果的松木家具的基材构成与表面加工工艺 被引量:2
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作者 唐立华 刘文金 《林产工业》 北大核心 2008年第6期54-55,共2页
松木家具市场占有量在日益增大,但在人们的心目中,松木家具一直被认为是一种“低档家具”。
关键词 松木家具 表面加工工艺 外观效果 基材
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大尺寸集成电路和硅片表面加工技术 被引量:2
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作者 陈杰 高诚辉 《现代制造工程》 CSCD 2007年第11期127-131,共5页
随着半导体技术的发展,特别是大尺寸硅片在集成电路中的应用,对硅片表面平整度及加工精度提出了越来越高的要求。根据当前硅片向直径400mm以上及特征线宽0.07μm发展的趋势,主要介绍以在线电解修整(Electrolytic In-process Dressing,EL... 随着半导体技术的发展,特别是大尺寸硅片在集成电路中的应用,对硅片表面平整度及加工精度提出了越来越高的要求。根据当前硅片向直径400mm以上及特征线宽0.07μm发展的趋势,主要介绍以在线电解修整(Electrolytic In-process Dressing,ELID)磨削和化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing,CMP)等复合加工为主的几种硅片表面加工技术,并简要说明其加工机理和应用。 展开更多
关键词 硅片表面加工 ELID磨削 工件旋转式磨削 化学机械抛光
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软包装材料的表面加工方式 被引量:1
10
作者 彭文华 《包装工程》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期217-219,共3页
随着国内印刷包装业的发展,为了提高包装的档次,许多软包装材料厂家需要对一些软包装材料作进一步的表面深加工等处理。本文作者向大家介绍了几种软包装材料常用的表面加工工艺及其应用场合,供广大软包装表面加工厂家和相关包装设备制... 随着国内印刷包装业的发展,为了提高包装的档次,许多软包装材料厂家需要对一些软包装材料作进一步的表面深加工等处理。本文作者向大家介绍了几种软包装材料常用的表面加工工艺及其应用场合,供广大软包装表面加工厂家和相关包装设备制造厂家的技术人员参考。 展开更多
关键词 软包装材料 表面加工 应用
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碲镉汞晶片表面加工损伤的电化学腐蚀观察方法 被引量:2
11
作者 姚英 《红外与激光技术》 CSCD 1995年第2期30-34,共5页
本文报道一种新的观察碲镉汞(CMT)晶片表面加工损伤的方法──电化学腐蚀法。文中讨论了电化学腐蚀法的原理,给出了实验结果。实验表明:机械磨抛的CMT晶片表面的加工损伤可用电化学腐蚀法清楚地揭示出来;磨抛产生的机械划痕... 本文报道一种新的观察碲镉汞(CMT)晶片表面加工损伤的方法──电化学腐蚀法。文中讨论了电化学腐蚀法的原理,给出了实验结果。实验表明:机械磨抛的CMT晶片表面的加工损伤可用电化学腐蚀法清楚地揭示出来;磨抛产生的机械划痕在电化学腐蚀前后一一对应,而且腐蚀后可清晰、直观地看到腐蚀前看不见的机械划痕;结合化学腐蚀的方法测量了一定磨抛条件下W3.5磨料在CMT晶片表面产生的最大加工损伤深度约32~40pm;机械磨抛产生的划痕和其在表面留下的应力沟道区是CMT晶片表面在磨抛加工中受到损伤的主要机构。分析认为平均损伤深度主要影响磨抛CMT晶片的表面复合速度,而最大加工损伤深度则对CMT器件、特别是多元器件性能参数的均匀性影响比较大;故控制好CMT晶片表面加工的最大损伤深度也是制备性能均匀的CMT多元探测器的一个重要环节。 展开更多
关键词 碲镉汞 表面加工损伤 电化学腐蚀 晶片
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表面加工工艺对钨-钠相容性特征的影响
12
作者 许咏丽 龙斌 +1 位作者 徐远超 李化青 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 2004年第1期43-48,共6页
试验研究了表面加工工艺不同的旋锻钨和抛光钨与钠的相容性。在600℃、含30μg/g氧的金属钠中,旋锻钨和抛光钨的失重速率分别为1×10-4mm·a-1和2×10-4mm·a-1,两种钨与钠均有良好的相容性。旋锻钨试样在钠中的腐蚀失... 试验研究了表面加工工艺不同的旋锻钨和抛光钨与钠的相容性。在600℃、含30μg/g氧的金属钠中,旋锻钨和抛光钨的失重速率分别为1×10-4mm·a-1和2×10-4mm·a-1,两种钨与钠均有良好的相容性。旋锻钨试样在钠中的腐蚀失重量随着腐蚀时间增长而减少;抛光钨试样的失重量与腐蚀时间的倒数呈线性关系。X射线衍射分析显示,腐蚀后的旋锻钨试样表面腐蚀产物为NaxWOy和WxOy,而抛光钨则仅有NaxWOy。腐蚀失重曲线的不同和腐蚀产物的差异表明,表面加工工艺造成的表面状态对钨在钠中的腐蚀特性和机理有显著影响。经高温钠腐蚀后,旋锻钨试样的晶粒长大,断裂应力和显微硬度显著降低;高温钠腐蚀对抛光钨试样的断裂应力和显微硬度似乎无明显影响。断口分析结果显示,钠腐蚀前,旋锻钨和抛光钨试样的断口形貌均呈现沿晶脆断特征;钠腐蚀后,两种钨试样的沿晶脆断特征变得更为显著,为沿晶和穿晶混合型脆性断裂。 展开更多
关键词 表面加工工艺 相容性 旋锻钨 抛光钨 洁净核能系统 ADS 冷却剂
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原子级表面加工和nm级器件制造中STM的应用
13
作者 董树忠 朱福荣 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1990年第6期379-385,共7页
本文评述了用扫描隧道电子显傲镜(STM)进行nm级表面加工的方法,现状和应用展望。用STM进行表面微细加工的方法主要有两类:一类是在STM的针尖上加电压脉冲,使针尖下的表面形成点、线或规定的图形符号;另一类是通过STM的电子束引起适当的... 本文评述了用扫描隧道电子显傲镜(STM)进行nm级表面加工的方法,现状和应用展望。用STM进行表面微细加工的方法主要有两类:一类是在STM的针尖上加电压脉冲,使针尖下的表面形成点、线或规定的图形符号;另一类是通过STM的电子束引起适当的化学反应,在针尖下的表面上淀积金属点、线。近年来已用第一类方法在Si(110)和Si(001)表面上直接写入了点的阵列,其写入密度在STM的扫描面积10×10μm^2上超过10~6。利用有机金属化合物气体在STM的针尖和表面间分解,在Si表面上淀积的金属点、线,相应的直径和线宽约25nm。将STM与固体器件工艺技术结合,已制得尺寸长2μm、宽120nm的Au-Pd合金薄膜电阻,其室温电阻值为2.5K。STM在上述领域中的应用是:修补或制造集成电路的掩模或电路;开发高密度数据存贮器;进一步缩小现有器件的尺寸,提高器件集成度;以及设计和制造以量子尺寸效应为作用基础的新器件。 展开更多
关键词 原子级 STM NM 表面加工 量子尺寸效应 有机金属化合物 器件制造 器件工艺 直接写入 薄膜电阻
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硬对偶件表面加工工艺对密封系统性能影响的试验研究
14
作者 陈国定 H.Haiser +1 位作者 W.Haas G.Lechner 《流体机械》 CSCD 北大核心 2000年第3期12-13,共2页
采用试验手段 ,研究了密封系统中硬对偶件表面加工工艺及方法对密封系统性能的影响 ,揭示了这种影响的程度及规律 。
关键词 密封系统 硬对偶件 表面加工工艺 工作性能
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基于硅表面加工工艺的射频体声波滤波器研究 被引量:3
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作者 丛鹏 刘燕翔 +1 位作者 任天令 刘理天 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2002年第1期1-3,共3页
计算并讨论了由电极 -压电薄膜 -电极的三明治结构组成的体声波谐振器在有衬底情况下的阻抗 ,特别说明了厚的支撑膜对滤波器性能的严重影响。同时比较了在制作体声波滤波器时硅的体加工工艺和表面加工工艺的优劣 。
关键词 滤波器 揩振器 微电子机械系统 体声波 射频 表面加工
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GH4169镍基高温合金表面加工硬化研究 被引量:15
16
作者 孙士雷 赵杰 +2 位作者 袁玮骏 奚望 赵灿 《工具技术》 北大核心 2016年第10期24-27,共4页
基于高速铣削GH4169镍基高温合金正交试验,借助截面法对每组加工参数下得到的材料表面进行硬度测量,记录并分析所得硬度值。通过分析可知,GH4169镍基高温合金加工性能差,加工硬化程度在110.5%-127.5%之间。通过对正交试验数据的极差分析... 基于高速铣削GH4169镍基高温合金正交试验,借助截面法对每组加工参数下得到的材料表面进行硬度测量,记录并分析所得硬度值。通过分析可知,GH4169镍基高温合金加工性能差,加工硬化程度在110.5%-127.5%之间。通过对正交试验数据的极差分析,得到对其表面加工硬化影响的主次因素依次是铣削速度、切削深度、每齿进给量。并且随着铣削速度的增加,GH4169镍基高温合金的表面加工硬化程度逐渐降低;随着切削深度的增加,高温合金的表面加工硬化程度逐渐升高;每齿进给量对高温合金的表面加工硬化的影响很小。 展开更多
关键词 GH4169镍基高温合金 正交试验 表面加工硬化 极差分析
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表面微织构铣刀切削CFRP的表面加工质量研究 被引量:2
17
作者 陈亚东 郭旭红 +3 位作者 张克栋 盖立武 郭大林 周驰驰 《工具技术》 2018年第11期40-44,共5页
传统铣削加工碳纤维增强复合材料(CFRP)时容易产生表面加工质量缺陷。为改善CFRP表面加工质量,提出在刀具前刀面加工长条状表面微织构,制备出平行于主切削刃(记作PAM)和垂直于主切削刃(记作PEM)两种类型微织构铣刀,进行CFRP端铣试验。... 传统铣削加工碳纤维增强复合材料(CFRP)时容易产生表面加工质量缺陷。为改善CFRP表面加工质量,提出在刀具前刀面加工长条状表面微织构,制备出平行于主切削刃(记作PAM)和垂直于主切削刃(记作PEM)两种类型微织构铣刀,进行CFRP端铣试验。与无织构刀具(记作NCM)铣削进行对比试验,对表面粗糙度和表面纤维剪切形貌进行分析研究,揭示两种类型的表面微织构对铣削0°、45°、90°和135°单向纤维铺层CFRP表面粗糙度及剪切方式的作用机理。结果表明:在表面微织构的作用下,PAM和PEM刀具铣削的表面粗糙度值有不同程度的降低,使得切屑纤维的弯曲程度改变,提高刀具对切屑的剪切能力,避免切屑产生的较大弯曲变形导致表面树脂或纤维的剥离。 展开更多
关键词 表面微织构 CFRP 表面加工质量 剪切形貌
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断续外圆表面加工用车刀的改进 被引量:2
18
作者 赵永生 曾庆良 《工具技术》 北大核心 2004年第8期75-76,共2页
关键词 外圆 车刀 工件表面 崩刃 车削加工 刀具耐用度 表面加工 松动 零件 振动
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零件表面加工质量的自动检测和数据库检索系统的研究 被引量:2
19
作者 张承武 文怀兴 杨莉 《机床与液压》 北大核心 2005年第5期117-118,共2页
采用多通道数据采集技术和数据库检索技术,及计算机强大的数据处理功能,设计了表面质量的多功能自动检测和智能化数据库查询系统。该系统能对零件的各种表面加工质量进行测量,也可快速查询某种加工方法所能达到的表面加工质量,以及根据... 采用多通道数据采集技术和数据库检索技术,及计算机强大的数据处理功能,设计了表面质量的多功能自动检测和智能化数据库查询系统。该系统能对零件的各种表面加工质量进行测量,也可快速查询某种加工方法所能达到的表面加工质量,以及根据要求的表面加工质量检索可采用的加工方法。 展开更多
关键词 表面加工质量 自动检测 数据库检索
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表面加工工艺对气缸套使用寿命的影响 被引量:5
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作者 张世荣 《天津工业大学学报》 CAS 2002年第4期78-80,共3页
讨论气缸套使用寿命的影响因素 ,针对挤渗碳化硅工艺、金属表面激光硬化处理工艺和镀铬工艺进行重点分析 ,说明加工工艺的重要性 ,文章并指明一味追求新工艺而忽视新工艺的局限性非但起不到提高耐磨性和耐腐蚀性的作用 。
关键词 表面加工工艺 气缸套 使用寿命 内燃机 耐磨
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