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基片表面力负载对SAW谐振器的特性影响研究
被引量:
1
1
作者
孙雪梅
李平
+2 位作者
文玉梅
陈雨
郑敏
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第5期753-756,共4页
分析了SAW谐振器表面力负载对谐振器谐振频率和机械损耗产生的影响。进行了两种表面力加载方式的实验研究,对比实验结果表明:基片底面固定时,表面力负载对SAW谐振器谐振频率的影响主要与负载在基片表面产生的应力大小有关,而谐振器的机...
分析了SAW谐振器表面力负载对谐振器谐振频率和机械损耗产生的影响。进行了两种表面力加载方式的实验研究,对比实验结果表明:基片底面固定时,表面力负载对SAW谐振器谐振频率的影响主要与负载在基片表面产生的应力大小有关,而谐振器的机械损耗主要与力在基片表面的分布有关。实验结果为SAW力传感器的结构设计提供了参考。
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关键词
SAW谐振器
表面力负载
谐振频率
机械损耗
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职称材料
题名
基片表面力负载对SAW谐振器的特性影响研究
被引量:
1
1
作者
孙雪梅
李平
文玉梅
陈雨
郑敏
机构
重庆大学光电工程学院
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第5期753-756,共4页
基金
国家自然科学基金资助(50677072)
863计划资助项目(2006AA04Z337)
教育部博士点基金资助项目(20060611029)
文摘
分析了SAW谐振器表面力负载对谐振器谐振频率和机械损耗产生的影响。进行了两种表面力加载方式的实验研究,对比实验结果表明:基片底面固定时,表面力负载对SAW谐振器谐振频率的影响主要与负载在基片表面产生的应力大小有关,而谐振器的机械损耗主要与力在基片表面的分布有关。实验结果为SAW力传感器的结构设计提供了参考。
关键词
SAW谐振器
表面力负载
谐振频率
机械损耗
Keywords
SAW resonator
surface force loading
resonant frequency
mechanical loss
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基片表面力负载对SAW谐振器的特性影响研究
孙雪梅
李平
文玉梅
陈雨
郑敏
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008
1
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