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基片表面力负载对SAW谐振器的特性影响研究 被引量:1
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作者 孙雪梅 李平 +2 位作者 文玉梅 陈雨 郑敏 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期753-756,共4页
分析了SAW谐振器表面力负载对谐振器谐振频率和机械损耗产生的影响。进行了两种表面力加载方式的实验研究,对比实验结果表明:基片底面固定时,表面力负载对SAW谐振器谐振频率的影响主要与负载在基片表面产生的应力大小有关,而谐振器的机... 分析了SAW谐振器表面力负载对谐振器谐振频率和机械损耗产生的影响。进行了两种表面力加载方式的实验研究,对比实验结果表明:基片底面固定时,表面力负载对SAW谐振器谐振频率的影响主要与负载在基片表面产生的应力大小有关,而谐振器的机械损耗主要与力在基片表面的分布有关。实验结果为SAW力传感器的结构设计提供了参考。 展开更多
关键词 SAW谐振器 表面力负载 谐振频率 机械损耗
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